• 빠르고 정확한 3D 표면 분석
  • 중요한 세부 사항을 놓치지 않는 표면 측정
  • 광 조도 측정 (TopMap Pro.Surf +)
  • 짧은 측정 시간 및 넓은 F.O.V.
  • 비침투성 측정
  • 거의 모든 표면에서 측정 작업 가능
  • 높은 안정성과 반복 정도로 임계 수치 검사
  • 70mm의 광범위한 수직 스캔 범위
  • 깊은 홀 내부와 같은 닿기 어려운 곳도 측정 가능
광학 표면 계측 품질 관리 애플리케이션
고정밀 비접촉 측정 시스템 TMS-500 TopMap Pro.Surf 및 TMS-500-R TopMap Pro.Surf +는 빠르고 효율적인 시스템이며 넓은 시야각으로 정밀 부품의 표면 특성 분석 어플리케이션에 대응합니다.백색광 간섭계 통합으로 측정 기능이 강화된 TopMap Pro.Surf 및 Pro.Surf +는 광범위한 수직 측정 범위를 사용하여 드릴 홀과 같은 각율이 심한 엣지나 단차가 큰 부품의 특성을 정확하게 파악할 수 있으며 측정 표면이 큰 워크의 경우에도 평탄도 및 평행성 매개 변수를 빠르고 뛰어난 반복 정도로 측정할 수 있습니다.
또한 공초점 센서 TopMap Pro.Surf +는 단일 측정 조도 평가 등 추가 기능을 제공합니다.

일반 기능

포지셔닝 볼륨

200 x 200 x 70㎜=0.028m3

최대 포인트

X: 1592, Y: 1200,

단일 측정

X.Y: 1910400

광학 사양

좁은 영역

넓은 영역

측정 영역

X: 22.8㎜, Y: 17.2

X, Y: 392.22

X: 44.9㎜, Y: 33.8

X, Y: 1517.62

작동 거리

13 ±3

수직 측정 범위

70

계산된 최대 각도

2.18。

1.15。

측정 지점 간격

X: 14.3㎛ Y: 14.3㎛

X: 28.2㎛ Y: 28.2㎛

측면 광학 해상도

8.4㎛

16㎛

확장 측정 범위

좁은 영역

넓은 영역

확장된 측면 범위

214㎜ x 211

228㎜ x 211

확장된 측정 영역과

데이터 감소

확장된 수직 범위

수직 측정 범위에 해당

※ TMS-500 TopMap Pro.Surf 및 TMS-500-R TopMap Pro.Surf + 모델에 대한 정보는 이니셔티브“공정 데이터 시트”광학 표면 측정 장치입니다.

성능 특성

측정 노이즈

< 0.5㎚ (매끄러운 표면)

수직 분해능

< 1.45㎚ (매끄러운 표면)

일반 사양

치수 [W x L]:

TMS-I-500 센서 헤드

350 x 678㎜2

TMS-I-500 센서 헤드 (스탠드 포함)

700 x 800㎜2

TMS-I-500 / TMS-I-500R 센서 헤드

(XY 포지셔닝 테이블 포함)

700 x 900㎜2

중량

TMS-I-500 센서 헤드

ca. 25kg

XY 포지셔닝 테이블

ca. 22kg

TMS-I-500 (스탠드 포함)

ca. 57kg

TMS-I-500-R (스탠드 포함)

ca. 69kg

전원

100…240 VAC ±10 %, 50/60 Hz

주변 온도 범위

20±3℃

작동/보관 온도

+10℃ ~ +33℃ / -10℃ ~ +65℃

상대 습도

최대 80%, 비응축

안전 등급

IEC/EN 62471:2009-03

전기 안전 등급

IEC/EN 61010-1:2011-07; EMV: IEC/EN 61326:2006-10

공급 범위

TMS-I-500 간섭계 센서 헤드 / TMS-I-500-R 간섭계 센서 헤드와

조도 센서, XY- 포지셔닝 테이블1, 19컨트롤러 유닛, 포털

스탠드, 산업용 하우징 및 TFT 모니터가 있는 19”PC, 연결 케이블,

하드락 (동글)이 있는 TMS 소프트웨어

※1 시스템 구성에 따라, TMS-500-R Pro.Surf +는 항상 포함되어 있음

기타 기능

측정 원리

백색광 간섭계 (Michelson) 스캐닝

광학 설정

텔레센트릭; 광원 : 장수명 LED, 525㎚

기타 기능

각기 다른 샘플의 반사율에 적용하기 위한 수동 필터휠과 3가지 필터;

측정 위치를 자동으로 식별하기 위한 광학 도구

데이터 형식

지형 형식 : SUR, ASCII

출력 형식 : qs-STAT, PDF, BMP, PNG, TIFF, GIF

TopMap Pro.Surf + / 추가 센서

측정 범위

400㎛

측정 원리

색채 공초점 측정 원리

작동 거리

10.8㎜

측면 분해능 10

2.6㎛

응용 프로그램별 기능

일반 평탄도 측정

데이터 수집

평가 방법

간섭계 스캐닝

간섭계 스캐닝

위상변위 4

매끄러운 표면 2

거친 표면 3

평탄도 편차

<75㎚

<125㎚

<65㎚

재현성 6

5㎚

10㎚

1.5㎚

일반 스텝 높이 측정 5

스텝 높이 공차

5㎛

50㎛

450㎛

1000㎛

2000㎛

5000㎛

재현성 6

0.008㎛

0.06㎛

0.05㎛

0.05㎛

0.05㎛

0.05㎛

스텝 높이 최대 편차 측정 7

0.02㎛

0.09㎛

0.12㎛

0.12㎛

0.21㎛

0.31㎛

확장된 측정 불확도 8

0.05㎛

0.25㎛

0.30㎛

0.30㎛

0.30㎛

0.40㎛

일반 거칠기 측정 9

조도 측정값

Ra ≥ 100㎚

1 실증에 의거한 측정 데이터 및 각기 다른 샘플 증가 단계에서의 TMS-500 TopMap Pro.Surf의 통계적 평탄도와

두 가지 상관관계 분석 절차에 사용됨. 평면경 (사용 뷰 필드의 최대 95%)에서 측정

2 상관 로그 위상의 평가

3 상관 로그 엔벨로프 평가

4 시프트 방법에서, 간섭 위상은 단계적으로 변화합니다. 단일 간섭 강도는 각 측정 지점의 위상값을 결정하므로 높이값도 함께 결정됩니다.

5 보정된 PTB 깊이 설정 표준 타입 A1 (ISO 5436-1)에서 실제 측정에 의한 대표적 성능

6 반복성 조건 하에서의 다수의 측정장치를 활용한 측정값의 변화

7 8회 측정

8 신뢰 구간에서의 95.4% (2σ)의 확률에 달하는 마진이며 이는 단일 단계에서의 측정값으로부터 도출된

표준 편차로 결정된 것임 (여러 장치로 측정했다는 조건 하에)

9 TMS-500-R TopMap ProSurf +를 사용하여 DIN EN ISO 4287에 따른 추가 조도 측정

10 측정 범위 중간에서 스폿 지름의 절반

제품 설명 및 특징
  • 빠르고 정확한 3D 표면 분석
  • 중요한 세부 사항을 놓치지 않는 표면 측정
  • 광 조도 측정 (TopMap Pro.Surf +)
  • 짧은 측정 시간 및 넓은 F.O.V.
  • 비침투성 측정
  • 거의 모든 표면에서 측정 작업 가능
  • 높은 안정성과 반복 정도로 임계 수치 검사
  • 70mm의 광범위한 수직 스캔 범위
  • 깊은 홀 내부와 같은 닿기 어려운 곳도 측정 가능
광학 표면 계측 품질 관리 애플리케이션
고정밀 비접촉 측정 시스템 TMS-500 TopMap Pro.Surf 및 TMS-500-R TopMap Pro.Surf +는 빠르고 효율적인 시스템이며 넓은 시야각으로 정밀 부품의 표면 특성 분석 어플리케이션에 대응합니다.백색광 간섭계 통합으로 측정 기능이 강화된 TopMap Pro.Surf 및 Pro.Surf +는 광범위한 수직 측정 범위를 사용하여 드릴 홀과 같은 각율이 심한 엣지나 단차가 큰 부품의 특성을 정확하게 파악할 수 있으며 측정 표면이 큰 워크의 경우에도 평탄도 및 평행성 매개 변수를 빠르고 뛰어난 반복 정도로 측정할 수 있습니다.
또한 공초점 센서 TopMap Pro.Surf +는 단일 측정 조도 평가 등 추가 기능을 제공합니다.
사양

일반 기능

포지셔닝 볼륨

200 x 200 x 70㎜=0.028m3

최대 포인트

X: 1592, Y: 1200,

단일 측정

X.Y: 1910400

광학 사양

좁은 영역

넓은 영역

측정 영역

X: 22.8㎜, Y: 17.2

X, Y: 392.22

X: 44.9㎜, Y: 33.8

X, Y: 1517.62

작동 거리

13 ±3

수직 측정 범위

70

계산된 최대 각도

2.18。

1.15。

측정 지점 간격

X: 14.3㎛ Y: 14.3㎛

X: 28.2㎛ Y: 28.2㎛

측면 광학 해상도

8.4㎛

16㎛

확장 측정 범위

좁은 영역

넓은 영역

확장된 측면 범위

214㎜ x 211

228㎜ x 211

확장된 측정 영역과

데이터 감소

확장된 수직 범위

수직 측정 범위에 해당

※ TMS-500 TopMap Pro.Surf 및 TMS-500-R TopMap Pro.Surf + 모델에 대한 정보는 이니셔티브“공정 데이터 시트”광학 표면 측정 장치입니다.

성능 특성

측정 노이즈

< 0.5㎚ (매끄러운 표면)

수직 분해능

< 1.45㎚ (매끄러운 표면)

일반 사양

치수 [W x L]:

TMS-I-500 센서 헤드

350 x 678㎜2

TMS-I-500 센서 헤드 (스탠드 포함)

700 x 800㎜2

TMS-I-500 / TMS-I-500R 센서 헤드

(XY 포지셔닝 테이블 포함)

700 x 900㎜2

중량

TMS-I-500 센서 헤드

ca. 25kg

XY 포지셔닝 테이블

ca. 22kg

TMS-I-500 (스탠드 포함)

ca. 57kg

TMS-I-500-R (스탠드 포함)

ca. 69kg

전원

100…240 VAC ±10 %, 50/60 Hz

주변 온도 범위

20±3℃

작동/보관 온도

+10℃ ~ +33℃ / -10℃ ~ +65℃

상대 습도

최대 80%, 비응축

안전 등급

IEC/EN 62471:2009-03

전기 안전 등급

IEC/EN 61010-1:2011-07; EMV: IEC/EN 61326:2006-10

공급 범위

TMS-I-500 간섭계 센서 헤드 / TMS-I-500-R 간섭계 센서 헤드와

조도 센서, XY- 포지셔닝 테이블1, 19컨트롤러 유닛, 포털

스탠드, 산업용 하우징 및 TFT 모니터가 있는 19”PC, 연결 케이블,

하드락 (동글)이 있는 TMS 소프트웨어

※1 시스템 구성에 따라, TMS-500-R Pro.Surf +는 항상 포함되어 있음

기타 기능

측정 원리

백색광 간섭계 (Michelson) 스캐닝

광학 설정

텔레센트릭; 광원 : 장수명 LED, 525㎚

기타 기능

각기 다른 샘플의 반사율에 적용하기 위한 수동 필터휠과 3가지 필터;

측정 위치를 자동으로 식별하기 위한 광학 도구

데이터 형식

지형 형식 : SUR, ASCII

출력 형식 : qs-STAT, PDF, BMP, PNG, TIFF, GIF

TopMap Pro.Surf + / 추가 센서

측정 범위

400㎛

측정 원리

색채 공초점 측정 원리

작동 거리

10.8㎜

측면 분해능 10

2.6㎛

응용 프로그램별 기능

일반 평탄도 측정

데이터 수집

평가 방법

간섭계 스캐닝

간섭계 스캐닝

위상변위 4

매끄러운 표면 2

거친 표면 3

평탄도 편차

<75㎚

<125㎚

<65㎚

재현성 6

5㎚

10㎚

1.5㎚

일반 스텝 높이 측정 5

스텝 높이 공차

5㎛

50㎛

450㎛

1000㎛

2000㎛

5000㎛

재현성 6

0.008㎛

0.06㎛

0.05㎛

0.05㎛

0.05㎛

0.05㎛

스텝 높이 최대 편차 측정 7

0.02㎛

0.09㎛

0.12㎛

0.12㎛

0.21㎛

0.31㎛

확장된 측정 불확도 8

0.05㎛

0.25㎛

0.30㎛

0.30㎛

0.30㎛

0.40㎛

일반 거칠기 측정 9

조도 측정값

Ra ≥ 100㎚

1 실증에 의거한 측정 데이터 및 각기 다른 샘플 증가 단계에서의 TMS-500 TopMap Pro.Surf의 통계적 평탄도와

두 가지 상관관계 분석 절차에 사용됨. 평면경 (사용 뷰 필드의 최대 95%)에서 측정

2 상관 로그 위상의 평가

3 상관 로그 엔벨로프 평가

4 시프트 방법에서, 간섭 위상은 단계적으로 변화합니다. 단일 간섭 강도는 각 측정 지점의 위상값을 결정하므로 높이값도 함께 결정됩니다.

5 보정된 PTB 깊이 설정 표준 타입 A1 (ISO 5436-1)에서 실제 측정에 의한 대표적 성능

6 반복성 조건 하에서의 다수의 측정장치를 활용한 측정값의 변화

7 8회 측정

8 신뢰 구간에서의 95.4% (2σ)의 확률에 달하는 마진이며 이는 단일 단계에서의 측정값으로부터 도출된

표준 편차로 결정된 것임 (여러 장치로 측정했다는 조건 하에)

9 TMS-500-R TopMap ProSurf +를 사용하여 DIN EN ISO 4287에 따른 추가 조도 측정

10 측정 범위 중간에서 스폿 지름의 절반

외형 치수