• 넓은 F.O.V.와 높은 수직 분해능, 빠른 측정
  • 텔레센트릭 렌즈를 적용, 높은 종횡비를 가진 대상체 측정 (예. 드릴 홀)
  • 컴팩트하고 유연한 설계(생산 라인 적용에 용이)
  • 사용이 쉬우며, ISO 호환 파라미터를 사용하는 소프트웨어로 생산 라인 내 자동화 어플리케이션에 적용 가능
TMS-350 TopMap In.Line은 거친 표면과 매끄러운 표면 측정 모두 적합합니다. Polytec만의 스마트 표면 스캐닝 기술로 반사율이 크게 일정치 않은 대상체도 측정이 용이합니다. TopMap은 긴 측정 영역으로, 단차가 크거나 파형도 쉽게 측정할 수 있습니다. 구조적인 표면이나 드릴 홀 내부와 같은 깊은 영역도 측정 가능합니다. 평탄도와 평행성에 대한 파라미터는 단면 또는 다수 표면을 이용하여 계산됩니다.

하드웨어

TMS-E-350 컨트롤러

TMS-I-350 간섭계

면적 [ L x W x H ]

240 mm x 140 mm x 420 mm

376 mm x 199 mm x 112.5 mm

무게

5.5kg

10kg

전원

100 ~ 240VAC ± 10%, 50/60 Hz, 최대 30W

동작 온도

+5℃ ~ +40℃

보관 온도

-10℃ ~ +65℃

상대 습도

최대 80%, 응축 없을 것

광생물학적 안전성

DIN EN 62471:2009-3

보호 종류

IP 64

전기 안정성

IEC/EN 61010-1: 2011-07, EMV: IEC/EN 61326: 2006-10

공급 범위

간섭계, 컨트롤러, TFT 모니터와 산업용 PC, 연결 케이블,

1 레퍼런스 필터, 하드락와 TMS 소프트웨어 (동글), 드라이어 카트리지

옵션 액세서리

추가 레퍼런스 필터, λ/20-플레이트, 교정 키트, 삼각대, 샘플 포지셔너,

워크스테이션

광학 사양

측정 방법

백색광 간섭계 스캐닝

이미징 시스템

텔레센트릭

광원

긴 수명 LED, λ = 525nm

카메라

CCD 카메라

한번 측정에 최대 포인트 수

X: 648, Y: 488

수직 동적 범위

500μm

작업 거리

ca. 40mm

시스템 옵션

모델

F.O.V

샘플링 간격

광학 해상도

(정확히 측정)

계산 된 최대 경사각 ※1

TMS-350 L

Ø21mm(상단과 하단을 제외)

X: 40.2μm, Y: 40.2μm

72μm

0.94°

TMS-350 M

l13.68 x 10.31mm2

X: 21.15μm, Y: 21.15μm

40μm

1.82°

TMS-350 S

6.43 x 4.84mm2

X: 9.92μm, Y: 9.92μm

17.9μm

3.80°

Z-성능 파라미터 ※1

측정 조건 ※2

공칭 샘플링 증가 (18.4μm/s)

빠른 샘플링 (134μm/s)

평가 과정

매끄러운 표면 ※3

거친 표면 ※4

매끄러운 표면 ※3

거친 표면 ※4

측정 잡음(단일 측정)
(nm)

0.35

11

0.5

13.5

대표적인 평탄도 측정 결과 ※5

측정 조건 ※2

공칭 샘플링 증가 (18.4μm/s)

빠른 샘플링 (134μm/s)

평가 과정

매끄러운 표면 ※3

거친 표면 ※4

매끄러운 표면 ※3

거친 표면 ※4

평균 평탄 편차(nm)

10.3

50

20

255

평탄도 측정의 반복성(nm)

0.72

15.7

0.75

100

※1 TMS-350의 Z 성능을 위해 경험적 측정된 일반 매개변수. 평면 거울에서의 측정 (최대 측정 영역의 95%, 간섭 대비 ≈ 1).

※2 일반적 샘플링 증가: Nyquist에 따른 코렐로그램 샘플링. 빠른 샘플링: sub-Nyquist에 따른 코렐로그램 측정 시간차 2배수.

※3 코렐로그램 패이즈(Phase) 평가

※4 코렐로그램 엔벨로프(Envelop) 평가

※4 여러 TMS-350을 사용하여 샘플 증가과 두 코렐로그램 평가를 한 평탄도 값에 대한 경험적 측정 데이터와 통계적 평가의 반올림 값. 평면 거울에서 측정(사용된 F.O.V.의 95%, 간섭 대비 ≈ 1).

PTB 보정 깊이 설정 표준 대표적인 단차 측정 ※1

표준 그루브 깊이

μm

5

50

450

반복성 ※2 (표준 편차)

μm

0.01

0.01

0.02

상대 반복성

%

0.166

0.023

0.005

재현성 ※3

(표준 편차)

μm

0.01

0.01

0.02

상대 재현성

%

0.166

0.023

0.005

확장 측정 불확실성 ※4

μm

0.05

0.05

0.23

상대 확장 측정

불확실성

%

1.0

1.0

0.05

※1 교정된 PTB 깊이에 대한 측정 작업 시, 경험적으로 결정된 표준 성능. 표준 타입 A1(ISO 5436-1), 샘플 증가 “명목 또는 “빠른 샘플링”

※2 반복적인 환경에서의 측정 작업을 수행하기 위한 다양한 측정값. 몇 가지 측정 장치의 표준에 맞추어져 있습니다..

※3 재생산 환경에서 측정 작업을 한 경우 나타난 다양한 측정값. 몇 가지 측정 장치의 평균을 측정한 것입니다.

넓은 표면의 측정 작업
단계별 높이가 다른 넓은 표면에서도 측정 작업을 한 번만 하면 됩니다(스티칭 작업 없음). 작업 범위가 광범위하기 때문에(40mm) 측정 대상은 생산 환경에서 쉽게 측정될 수 있습니다. 사용이 쉬운 Polytec의 소프트웨어는 면적 매개변수 등 다양한 방식으로 표면 데이터를 평가할 수 있습니다. 공정 품질의 경우, Qs-STAT 인터페이스가 내장되어 구체적인 응용 요건에 맞게 조정될 수 있습니다.
패턴 인식
통합 패턴 인식 알고리즘이 다양한 측정 대상의 위치에 존재하며, 각 샘플은 개별적으로 평가됩니다. 따라서 별도의 장치가 필요하지 않고, 동시에 많은 샘플들을 측정할 수 있습니다.
제품 설명 및 특징
  • 넓은 F.O.V.와 높은 수직 분해능, 빠른 측정
  • 텔레센트릭 렌즈를 적용, 높은 종횡비를 가진 대상체 측정 (예. 드릴 홀)
  • 컴팩트하고 유연한 설계(생산 라인 적용에 용이)
  • 사용이 쉬우며, ISO 호환 파라미터를 사용하는 소프트웨어로 생산 라인 내 자동화 어플리케이션에 적용 가능
TMS-350 TopMap In.Line은 거친 표면과 매끄러운 표면 측정 모두 적합합니다. Polytec만의 스마트 표면 스캐닝 기술로 반사율이 크게 일정치 않은 대상체도 측정이 용이합니다. TopMap은 긴 측정 영역으로, 단차가 크거나 파형도 쉽게 측정할 수 있습니다. 구조적인 표면이나 드릴 홀 내부와 같은 깊은 영역도 측정 가능합니다. 평탄도와 평행성에 대한 파라미터는 단면 또는 다수 표면을 이용하여 계산됩니다.
사양

하드웨어

TMS-E-350 컨트롤러

TMS-I-350 간섭계

면적 [ L x W x H ]

240 mm x 140 mm x 420 mm

376 mm x 199 mm x 112.5 mm

무게

5.5kg

10kg

전원

100 ~ 240VAC ± 10%, 50/60 Hz, 최대 30W

동작 온도

+5℃ ~ +40℃

보관 온도

-10℃ ~ +65℃

상대 습도

최대 80%, 응축 없을 것

광생물학적 안전성

DIN EN 62471:2009-3

보호 종류

IP 64

전기 안정성

IEC/EN 61010-1: 2011-07, EMV: IEC/EN 61326: 2006-10

공급 범위

간섭계, 컨트롤러, TFT 모니터와 산업용 PC, 연결 케이블,

1 레퍼런스 필터, 하드락와 TMS 소프트웨어 (동글), 드라이어 카트리지

옵션 액세서리

추가 레퍼런스 필터, λ/20-플레이트, 교정 키트, 삼각대, 샘플 포지셔너,

워크스테이션

광학 사양

측정 방법

백색광 간섭계 스캐닝

이미징 시스템

텔레센트릭

광원

긴 수명 LED, λ = 525nm

카메라

CCD 카메라

한번 측정에 최대 포인트 수

X: 648, Y: 488

수직 동적 범위

500μm

작업 거리

ca. 40mm

시스템 옵션

모델

F.O.V

샘플링 간격

광학 해상도

(정확히 측정)

계산 된 최대 경사각 ※1

TMS-350 L

Ø21mm(상단과 하단을 제외)

X: 40.2μm, Y: 40.2μm

72μm

0.94°

TMS-350 M

l13.68 x 10.31mm2

X: 21.15μm, Y: 21.15μm

40μm

1.82°

TMS-350 S

6.43 x 4.84mm2

X: 9.92μm, Y: 9.92μm

17.9μm

3.80°

Z-성능 파라미터 ※1

측정 조건 ※2

공칭 샘플링 증가 (18.4μm/s)

빠른 샘플링 (134μm/s)

평가 과정

매끄러운 표면 ※3

거친 표면 ※4

매끄러운 표면 ※3

거친 표면 ※4

측정 잡음(단일 측정)
(nm)

0.35

11

0.5

13.5

대표적인 평탄도 측정 결과 ※5

측정 조건 ※2

공칭 샘플링 증가 (18.4μm/s)

빠른 샘플링 (134μm/s)

평가 과정

매끄러운 표면 ※3

거친 표면 ※4

매끄러운 표면 ※3

거친 표면 ※4

평균 평탄 편차(nm)

10.3

50

20

255

평탄도 측정의 반복성(nm)

0.72

15.7

0.75

100

※1 TMS-350의 Z 성능을 위해 경험적 측정된 일반 매개변수. 평면 거울에서의 측정 (최대 측정 영역의 95%, 간섭 대비 ≈ 1).

※2 일반적 샘플링 증가: Nyquist에 따른 코렐로그램 샘플링. 빠른 샘플링: sub-Nyquist에 따른 코렐로그램 측정 시간차 2배수.

※3 코렐로그램 패이즈(Phase) 평가

※4 코렐로그램 엔벨로프(Envelop) 평가

※4 여러 TMS-350을 사용하여 샘플 증가과 두 코렐로그램 평가를 한 평탄도 값에 대한 경험적 측정 데이터와 통계적 평가의 반올림 값. 평면 거울에서 측정(사용된 F.O.V.의 95%, 간섭 대비 ≈ 1).

PTB 보정 깊이 설정 표준 대표적인 단차 측정 ※1

표준 그루브 깊이

μm

5

50

450

반복성 ※2 (표준 편차)

μm

0.01

0.01

0.02

상대 반복성

%

0.166

0.023

0.005

재현성 ※3

(표준 편차)

μm

0.01

0.01

0.02

상대 재현성

%

0.166

0.023

0.005

확장 측정 불확실성 ※4

μm

0.05

0.05

0.23

상대 확장 측정

불확실성

%

1.0

1.0

0.05

※1 교정된 PTB 깊이에 대한 측정 작업 시, 경험적으로 결정된 표준 성능. 표준 타입 A1(ISO 5436-1), 샘플 증가 “명목 또는 “빠른 샘플링”

※2 반복적인 환경에서의 측정 작업을 수행하기 위한 다양한 측정값. 몇 가지 측정 장치의 표준에 맞추어져 있습니다..

※3 재생산 환경에서 측정 작업을 한 경우 나타난 다양한 측정값. 몇 가지 측정 장치의 평균을 측정한 것입니다.

적용 사례
넓은 표면의 측정 작업
단계별 높이가 다른 넓은 표면에서도 측정 작업을 한 번만 하면 됩니다(스티칭 작업 없음). 작업 범위가 광범위하기 때문에(40mm) 측정 대상은 생산 환경에서 쉽게 측정될 수 있습니다. 사용이 쉬운 Polytec의 소프트웨어는 면적 매개변수 등 다양한 방식으로 표면 데이터를 평가할 수 있습니다. 공정 품질의 경우, Qs-STAT 인터페이스가 내장되어 구체적인 응용 요건에 맞게 조정될 수 있습니다.
패턴 인식
통합 패턴 인식 알고리즘이 다양한 측정 대상의 위치에 존재하며, 각 샘플은 개별적으로 평가됩니다. 따라서 별도의 장치가 필요하지 않고, 동시에 많은 샘플들을 측정할 수 있습니다.