대면적 광학 3D 표면 측정시스템

  • 최대 300 x 300 ㎜ 면적 측정 가능
  • 전 측정 면적에서 서브미크론 단위의 높이 반복 정도
  • 3D CAD 모델로부터 형상 편차를 확인하여 기하학적 차이와 공차 측정
  • 바이-텔레센트릭 렌즈가 적용되어 왜곡이 최소화된 정확한 계측 가능

대면적 측정에 특화된 차세대 측정시스템

S wide는 최대 300 x 300 ㎜의 넓은 면적까지 고속 측정 가능한 제품이며, 고해상도 측정기가 내장되어 디지털 마이크로스코프의 모든 이점을 제공합니다. 또한 단 하나의 버튼으로 아주 손쉽게 사용 가능합니다.

전 측정 면적에서 서브미크론 단위의 높이 반복 정도 추적성:
S wide는 정확한 결과와 추적이 가능하도록 제작되었습니다. 시스템은 ISO 25178과 VDI 2634-2에 따른 추적 가능한 표준에 맞게 교정되었습니다.
3D CAD 모델 형상 편차 측정:
3D CAD 모델로부터 형상 편차를 확인하여 기하학적 차이와 공차 측정
바이-텔레센트릭 렌즈가 적용되어 왜곡이 최소화된 정확한 계측 가능
SensoSCAN
소프트웨어는 명확하고 직관적이며 사용자 친화적인 인터페이스로 시스템을 구동합니다. 작업자는 이전에 겪어보지 못했던 특별한 3D 체험을 경험해볼 수 있습니다.
확장된 측정 모듈
SensoSCAN의 확장 측정 모듈을 사용 시, 사용자는 쉽게 측정 레이아웃을 확인할 수 있습니다. 넓은 영역 측정 시 최대 4억 5천만 픽셀까지 구현 가능합니다.
자동화 진행 모듈
레시피 도구를 사용하여 자동화 측정에 활용할 수 있으며, 별도의 커스터마이징을 통해 품질 관리에 사용 가능합니다. 또한 해당 모듈을 이용해 시료 식별 및 자동 기준점 인식과 같은 공정에서 매우 쉽게 자동 측정을 설정할 수 있습니다.
SensoPRO
생산 라인에서 빠른 품질 관리를 수행하는 것은 쉽지 않습니다. 하지만 SensoPRO 사용 시 작업자는 샘플을 올린 후, 가이드 라인에 따라 진행 시 쉽게 OK / NG 결과를 얻을 수 있습니다. 뿐만 아니라 플러그인 기반의 데이터 분석 알고리즘은 높은 유연성을 제공하기도 합니다.

시스템 사양

측정 원리 프린지 프로젝션 (그레이코드 및 슬릿, 그레이코드 및 페이즈시프트)
렌즈 유형 바이-텔레센트릭 렌즈 – 0.243 X 배율, 0.0015NA
컬러 카메라 5 Mpx: 2448 x 2048 픽셀 (60 fps)
총 배율 (27”스크린) 11x
디스플레이 해상도 0.001 ㎛
최대 확장 측정 영역 300 x 300 ㎜ – 10 x 12 스티칭 영역 (최대 해상도 450 Mpx)
Z축 측정 범위 10 ㎜ (최대 40 ㎜)
XY 스테이지 영역 수동 방식: 150 x 100 ㎜, 모터 방식: 154 x 154 ㎜, 302 x 302 ㎜
LED 광원 녹색 (530 ㎚) 및 청색 (460 ㎚)
링 조명 백색
샘플 무게 최대 25 Kg
샘플 높이 105 ㎜ (일반형); 280 ㎜ (옵션)
사용자 권한 관리자, 고급 운영자, 작업자
고급 소프트웨어 분석 포함: SensoVIEW; 옵션: SensoPRO, SensoMAP, Geomagic®
전원 선간 전압 100 ~ 240 V AC; 50 / 60 Hz 단상
컴퓨터 최신 INTEL 프로세서; 3840 x 2160 픽셀 해상도 (4K) (27”)
운영 체제 Microsoft Windows 10, 64비트
중량 *4 55 Kg (121 lbs) 테이블-탑 시스템; 8 Kg (18 lbs) 통합 가능 헤드
주위 환경 온도 10 ~ 35 ℃; 습도 < 80% RH; 높이 < 2000 m

대물 렌즈 (프린지 프로젝션)

배율 0.243 X
NA 0.015
WD (㎜) 80
FOV *1 (㎜) 34.7 x 29.1
공간 샘플링 *2 (㎛) 14.2
광학 해상도 *3 (㎛) 9.35

정확성과 반복성

표준 U , σ
스텝 단차 U = 2.5 ㎛ / σ = 0.05 ㎛
면적 조도 (Sa) U = 1 ㎛ / σ = 0.01 ㎛
프로파일 조도 (Ra) U = 1 ㎛ / σ = 0.05 ㎛

*1 3/2”카메라 적용 최대 필드오브뷰
*2 표면상의 픽셀 크기
*3 L&S: Line 및 Space. 청색 LED 기준 값
*4 H105 XY 스테이지에 조정 가능 스탠드

단위: mm (inch)

첨단제조기술 고고학 및 고생물학 가전 의료기기
몰딩 광학 시계산업
제품 설명 및 특징

대면적 광학 3D 표면 측정시스템

  • 최대 300 x 300 ㎜ 면적 측정 가능
  • 전 측정 면적에서 서브미크론 단위의 높이 반복 정도
  • 3D CAD 모델로부터 형상 편차를 확인하여 기하학적 차이와 공차 측정
  • 바이-텔레센트릭 렌즈가 적용되어 왜곡이 최소화된 정확한 계측 가능

대면적 측정에 특화된 차세대 측정시스템

S wide는 최대 300 x 300 ㎜의 넓은 면적까지 고속 측정 가능한 제품이며, 고해상도 측정기가 내장되어 디지털 마이크로스코프의 모든 이점을 제공합니다. 또한 단 하나의 버튼으로 아주 손쉽게 사용 가능합니다.

전 측정 면적에서 서브미크론 단위의 높이 반복 정도 추적성:
S wide는 정확한 결과와 추적이 가능하도록 제작되었습니다. 시스템은 ISO 25178과 VDI 2634-2에 따른 추적 가능한 표준에 맞게 교정되었습니다.
3D CAD 모델 형상 편차 측정:
3D CAD 모델로부터 형상 편차를 확인하여 기하학적 차이와 공차 측정
바이-텔레센트릭 렌즈가 적용되어 왜곡이 최소화된 정확한 계측 가능
소프트웨어
SensoSCAN
소프트웨어는 명확하고 직관적이며 사용자 친화적인 인터페이스로 시스템을 구동합니다. 작업자는 이전에 겪어보지 못했던 특별한 3D 체험을 경험해볼 수 있습니다.
확장된 측정 모듈
SensoSCAN의 확장 측정 모듈을 사용 시, 사용자는 쉽게 측정 레이아웃을 확인할 수 있습니다. 넓은 영역 측정 시 최대 4억 5천만 픽셀까지 구현 가능합니다.
자동화 진행 모듈
레시피 도구를 사용하여 자동화 측정에 활용할 수 있으며, 별도의 커스터마이징을 통해 품질 관리에 사용 가능합니다. 또한 해당 모듈을 이용해 시료 식별 및 자동 기준점 인식과 같은 공정에서 매우 쉽게 자동 측정을 설정할 수 있습니다.
SensoPRO
생산 라인에서 빠른 품질 관리를 수행하는 것은 쉽지 않습니다. 하지만 SensoPRO 사용 시 작업자는 샘플을 올린 후, 가이드 라인에 따라 진행 시 쉽게 OK / NG 결과를 얻을 수 있습니다. 뿐만 아니라 플러그인 기반의 데이터 분석 알고리즘은 높은 유연성을 제공하기도 합니다.
사양

시스템 사양

측정 원리 프린지 프로젝션 (그레이코드 및 슬릿, 그레이코드 및 페이즈시프트)
렌즈 유형 바이-텔레센트릭 렌즈 – 0.243 X 배율, 0.0015NA
컬러 카메라 5 Mpx: 2448 x 2048 픽셀 (60 fps)
총 배율 (27”스크린) 11x
디스플레이 해상도 0.001 ㎛
최대 확장 측정 영역 300 x 300 ㎜ – 10 x 12 스티칭 영역 (최대 해상도 450 Mpx)
Z축 측정 범위 10 ㎜ (최대 40 ㎜)
XY 스테이지 영역 수동 방식: 150 x 100 ㎜, 모터 방식: 154 x 154 ㎜, 302 x 302 ㎜
LED 광원 녹색 (530 ㎚) 및 청색 (460 ㎚)
링 조명 백색
샘플 무게 최대 25 Kg
샘플 높이 105 ㎜ (일반형); 280 ㎜ (옵션)
사용자 권한 관리자, 고급 운영자, 작업자
고급 소프트웨어 분석 포함: SensoVIEW; 옵션: SensoPRO, SensoMAP, Geomagic®
전원 선간 전압 100 ~ 240 V AC; 50 / 60 Hz 단상
컴퓨터 최신 INTEL 프로세서; 3840 x 2160 픽셀 해상도 (4K) (27”)
운영 체제 Microsoft Windows 10, 64비트
중량 *4 55 Kg (121 lbs) 테이블-탑 시스템; 8 Kg (18 lbs) 통합 가능 헤드
주위 환경 온도 10 ~ 35 ℃; 습도 < 80% RH; 높이 < 2000 m

대물 렌즈 (프린지 프로젝션)

배율 0.243 X
NA 0.015
WD (㎜) 80
FOV *1 (㎜) 34.7 x 29.1
공간 샘플링 *2 (㎛) 14.2
광학 해상도 *3 (㎛) 9.35

정확성과 반복성

표준 U , σ
스텝 단차 U = 2.5 ㎛ / σ = 0.05 ㎛
면적 조도 (Sa) U = 1 ㎛ / σ = 0.01 ㎛
프로파일 조도 (Ra) U = 1 ㎛ / σ = 0.05 ㎛

*1 3/2”카메라 적용 최대 필드오브뷰
*2 표면상의 픽셀 크기
*3 L&S: Line 및 Space. 청색 LED 기준 값
*4 H105 XY 스테이지에 조정 가능 스탠드

외형 치수

단위: mm (inch)

산업별 적용 분야
첨단제조기술 고고학 및 고생물학 가전 의료기기
몰딩 광학 시계산업