스마트한 비접촉식 고효율 3D 측정시스템

  • 고성능, 고효율 3D 표면측정기
  • 초고속 QA/QC 및 R&D 적용 가능
  • 우수한 측면 및 수직 분해능
  • 다양한 어플리케이션 대응
  • 손쉬운 작동 및 직관적인 인터페이스
  • 강력한 분석 소프트웨어

고성능, 고효율의 3D 표면측정기

새로 출시된 S neox는 측정 시스템 군에 있어 현존하는 3차원 현미경보다 기능 및 성능, 효율, 그리고 설계 면에 있어 월등히 우수한 성능을 갖고 있습니다.

손쉬운 작동법

카이스는 고객의 편리함을 추구하기 위해 끊임없이 노력하고 있습니다. S neox 시리즈의 5세대에 해당하는 본 제품의 가장 큰 목적은 사용자의 편의와 직관적인 사용법, 그리고 신속한 작동에 있습니다. 초보자이더라도단 몇 번의 클릭으로 시스템을 작동할 수 있으며 사용자의 요구에 맞게 시스템을 사용할 수 있도록 소프트웨어 모듈이 제작되었습니다.

초고속 작동

스마트하고 독창적인 알고리즘과 새로운 카메라의 적용으로 동작 속도가 이전에 비해 월등히 개선되었습니다. 데이터는 180fps로 취득 가능하며 표준 데이터 취득 속도 역시 이전보다 5배 더 향상되어 현 측정·계측 기기 시장 내에서 빠른 속도를 자랑하는 제품으로 자리 잡았습니다.

3-in-1 기술의 특징
공초점 간섭계 Ai 초점 변화 NEW

공초점 프로파일러는 부드러운 표면부터 거친 표면까지 다양한 표면의 높이를 측정하는 것을 목적으로 개발되었습니다. 공초점 프로파일링은 최대 0.14 ㎛의 라인 & 스페이스 후면 분해능을 제공하며 동시에 공간 샘플링 역시 0.01 ㎛ 까지 축소될 수 있는데 이는 치수 측정이 중요한 요인일 때 매우 유용합니다. 높은 NA(0.95)와 고배율 (150X)의 대물 렌즈로 70도 이상의 가파른 경사면을 가진 매끄러운 표면을 측정할 수 있습니다. (단, 표면이 거친 경우 최대 86도). 더불어 당사의 독자적인 공초점 알고리즘을 이용해 나노미터 단위의 수직 반복성을 획득할 수 있습니다.

PSI 위상 천이 간섭계
(Phase Shift Interferometry)는 매우 매끄럽고 연속적인 표면의 높이를 개구수 (NA)에 관계없이 서브 옹스트롬 분해능으로 측정합니다. 초 저 배율 (2.5x)을 이용하면 동일한 수직 분해능으로 넓은 시야각을 측정할 수 있습니다.

CSI 간섭성 주사 간섭계
(Coherence Scanning Interferometry)는 백색광을 이용해 부드러운 표면부터 다소 거친 표면의 높이를 스캔하여 모든 배율에서 1 ㎚의 높이 분해능을 도출합니다.

조명 활성화를 통한 초점 변화 기술
(Active illumination Focus Variation)은 넓은 거친 표면의 형태를 측정하는 광학 기술입니다. 본 기술은 공초점 및 간섭계 방식으로 3D 측정을 하는 분야에서 카이스의 광범위한 전문 기술을 기반으로 하며 특히 저배율에서 공초점 측정을 보완할 수 있도록 설계되었습니다. 조명의 활성화로 광학적으로 매끄러운 표면에서도 초점 위치를 보다 안정적으로 취득할 수 있습니다. 해당 기술의 최대 장점은 높은 경사면 (최대 86˚), 초고속 (mm/s), 그리고 수직 범위가 넓다는 것입니다.

SensoVIEW는 분석 작업에 있어 매우 이상적인 소프트웨어입니다. 더욱 더 완벽한 분석 모음 툴을 요구하는 어플리케이션에 있어 상위 버전의 소프트웨어 패키지 – SensoMAP / SensoPRO를 사용할 수 있습니다.

양방향 분석 툴

2D 및 3D 인터랙티브 뷰는 다양한 스케일링, 디스플레이, 렌더링 옵션을 제공합니다. 뿐만 아니라 사용자는 2D와 3D 측정의 사전 검사 및 분석을 위한 포괄적인 도구를 함께 사용할 수 있습니다. 중요한 치수, 각도, 거리, 직경 모두 측정 가능하며 새로운 주석 도구를 이용해 이를 강조할 수 있습니다.

순차 연산자

포괄적인 연산자를 활용해 데이터 포인트를 수정하고, 측정 불가한 데이터를 복구할 뿐만 아니라 형상 (평면, 구, 다각형)을 제거할 수 있습니다. 또한 다양한 필터의 적용 또는 프로파일을 자르거나 대체하여 추출하는 것 모두 가능합니다. 또한 사전 설정된 필터 및 구성을 적용하기 위해 분석 템플릿 역시 생성할 수 있습니다.

생산 라인에서 신속하게 품질을 제어하는 것은 결코 쉬운 일이 아닙니다. 사용자는 SensoPRO를 활용해 생산 라인에서 샘플을 로딩하고 안내 지침서를 그대로 따르면 됩니다. 플러그인 기반의 데이터 분석 알고리즘으로 매우 높은 유연성을 제공하며 새로운 모듈로 다른 산업군 수요에 맞게 쉽게 커스터마이징 될 수 있습니다.

디지털 서프의 Mountains 테크놀러지에 기반한 SensoMAP은 분석과 보고에 있어 매우 강력한 툴입니다. SensoMAP 소프트웨어는 유저의 요청 사항에 맞게 쉽게 모듈화 될 수 있습니다. 두 가지 등급 (표준형 및 프리미엄)과 그 밖의 다양한 모듈 (2D, 3D, 4D 모듈, 어드밴스 컨투어, 입자, 통계 분석 및 스티칭) 또한 제공 가능합니다.

전동식 노즈피스

전동식 노즈 피스는 광학 및 간섭계 렌즈를 포함해 최대 6개의 대물 렌즈를 동시에 장착할 수 있습니다. SensoSCAN 소프트웨어는 전자동화된 변경 사항들을 자동으로 처리하고 동초점 조정으로 모든 요소들을 자동으로 수정합니다.

스탠드 구조

S neox는 모든 면에 있어 아주 완벽합니다. 기술적 표면의 마이크로 및 나노 단위의 형상에 대해 아주 빠르고 대상체에 직접적인 영향을 끼치지 않으며 표면 측정에 매우 이상적으로 설계되어 있습니다. S neox는 R&D 및 품질 검사 연구소를 위한 표준 설정에서 요구하는 유연성, 내구성, 효율성을 모두 갖추었으며, 최대 300 x 300 ㎟, 최대 높이 350 ㎜까지의 샘플을 측정하여 온라인 공정 제어를 위한 정교한 맞춤형 솔루션을 제공합니다.

링 조명

일관적이고 효율적으로 대상체를 비추기 위해 LED 링 조명을 사용합니다. 대물렌즈 위 또는 주변에 탑재되어 Ai 초점 변화 기법 사용을 위한 개선된 시그널을 제공함으로써, 초점면에 적합한 조명을 제공합니다.

회전 스테이지

5개 축으로 구성된 회전 스테이지는 리밋 스위치를 포함하여 360˚ 연속 회전 고정밀 전동 회전 A축 (10 arc sec 위치 결정 반복성)과 -30 ~110˚의 전동 B축 (0.5 arc sec 반복성)으로 구성되어 있으며 System 3R 클램핑 시스템 또한 장착되어 있습니다.

산업별 적용 분야
  • 항공 우주 및 자동차
  • 에너지
  • 법의학
  • 의료 장비
  • 초소형 소자
  • 미세 제조 및 가공
  • 반도체
  • 표면 처리
  • 공구
  • 광학
  • 시계 제조
품질 관리

QC (Quality Control, 품질 관리) 공정에 자동 모듈을 적용해 더욱 원활하게 가동할 수 있습니다. 사용자 액세스 권한 부여 제한부터 명령, 바코드 / QR 리더기, 전매 특허 SensoPRO 소프트웨어의 커스터마이징된 플러그인까지 광범위한 기능을 활용해 Pass / Fail 리포트를 제작할 수 있습니다. 사용의 유연성과 더불어 작동법이 쉽고 24시간 가동할 수 있는 인터페이스가 구비되어 있다는 점에서 당사의 솔루션은 QC 공정에 매우 이상적입니다.

측정 소급성
모든 S neox는 정확하고 추적 가능한 측정을 제공합니다. 본 시스템은 소급성이 확보된 표준을 이용한 교정을 거치며 해당 표준은 Z 증폭 계수, XY 측면 치수, 평면도 오차, 동일한 중심 및 초점에 관한 ISO 25178 규격을 준수합니다.
R&D (연구개발)
카이스의 3-in-1 기술로 SensoSCAN을 통해 단 1번의 클릭으로 현 어플리케이션에 최적화하여 사용할 수 있습니다. S neox의 측정 헤드부에는 공초점, 간섭계, Ai 초점 변화의 기술이 모두 혼재되어 있습니다. 이들 3가지 기술의 적용으로 시스템을 다양하게 사용할 수 있고 데이터 획득 과정에 있어 예기치 못한 변수를 최소화할 수 있습니다.

대물 렌즈

광학면

간섭계

배율

5X

10X

20X

50X

100X

150X

2.5X

5X

10X

20X

50X

100X

NA

0.15

0.30

0.45

0.80

0.90

0.075

0.13

0.30

0.40

0.55

0.70

WD (㎜)

23.5

17.5

4.5

1.0

1.5

10.3

9.3

7.4

4.7

3.4

2.0

FOV 1 (㎛)

3378

x

2826

1689

x

1413

845

x

707

338

x

283

169

x

141

113

x

94

6756

x

5652

3378

x

2826

1689

x

1413

845

x

707

338

x

283

169

x

141

공간 샘플 2 (㎛)

1.38

0.69

0.34

0.13

0.07

0.05

2.76

1.38

0.69

0.34

0.13

0.07

광학 분해능 3 (㎛)

0.94

0.47

0.31

0.18

0.16

1.87

1.08

0.47

0.35

0.26

0.20

공초점 / Ai 초점 변화

PSI / ePSI / CSI

시스템 노이즈 4 (㎚)

100

30

8

4

3

2

PSI/ePSI 0.1 ㎚ (PZT: 0.01 ㎚) CSI 1 ㎚

최대 경사면 5 (˚)

9

17

27

53

64

4

7

17

24

33

44

시스템

측정 원리

공초점, PSI, ePSI, CSI, Ai 초점 변화, 박막

관찰 유형

광학면, DIC, 순차적 색상 RGB, 공초점, 간섭위상차

측정 유형

이미지, 3D, 3D 두께, 프로파일, 좌표계

카메라

5Mpx: 2448 x 2048 픽셀 (60 fps)

총 배율 (27” 스크린)

60X ~ 21600X

디스플레이 분해능

0.001 ㎚

F.O.V (Field of view)

0.018 ~ 6.7 ㎜ (싱글샷)

최대 확장 측정 영역

10 x 12 (최대 분해능); 175 x 175 (저분해능) (500 Mpx)

공초점 프레임 속도

20 fps (5Mpx); 60 fps (1.2 Mpx)

수직 스캔 범위 (일반)

선형 스테이지: 범위 40 ㎜; 5 ㎚ 분해능

수직 스캔 범위 (정밀)

정전용량형센서가 부착된 피에조 스캐너:

범위 200 ㎛; 0.5 ㎚ 분해능

Z축 최대 측정 범위

PSI 20 ㎛ ; CSI 10 ㎜; 공초점 & Ai 초점 변화 34 ㎜

XY 스테이지 범위

수동: 40 x 40 ㎜; 전동화: 114 x 75 ㎜, 154 x 154 ㎜, 255 x 215 ㎜, 302 x 302 ㎜

LED 광원

적색 (630 ㎚); 녹색 (530 ㎚);

청색 (460 ㎚); 흰색 (575 ㎚; 중심부)

링 조명

6 포지션 노즈피스와 호환 가능한 녹색 링 조명

노즈피스

6 포지션 완전 전자동화

샘플 반사도

0.05 ~ 100 %

샘플 중량

최대 25 kg

샘플 높이

40 ㎜ (표준형); 150 ㎜ 및 350 ㎜ (옵션형)

유저 관리 권한

관리자, 감독자, 고급 연산자, 연산자

어드밴스드 소프트웨어 분석

SensoMAP, SensoPRO, SensoMATCH,

SensoCOMP (옵션형)

전원

라인 전압 100 ~ 240 V AC; 주파수 50 / 60 ㎐ 단상

컴퓨터

최신 INTEL 프로세서; 3840 x 2160 픽셀 분해능 (4K) (27”)

운영 시스템

Microsoft Windows 10, 64 bit

중량 9

61 kg (134 lbs)

내환경성

온도 10 ~ 35 ℃; 습도 < 80 % RH; 고도 < 2000 m

정확성 및 반복성 6

표준

U , σ

기술

스텝 단차

48600 ㎚

U = 300 ㎚,

σ = 10 ㎚

공초점 & CSI

7616 ㎚

U = 79 ㎚,

σ = 5 ㎚

941.6 ㎚

U = 7 ㎚,

σ = 1 ㎚

186 ㎚

U = 4 ㎚,

σ = 0.4 ㎚

44.3 ㎚

U = 0.5 ㎚,

σ = 0.1 ㎚

PSI

10.8 ㎚

U = 0.5 ㎚,

σ = 0.05 ㎚

표면 조도 (Sa) 7

0.79 ㎛

U = 0.04 ㎛,

σ = 0.0005 ㎛

공초점, AiFV & CSI

프로파일 조도 (Ra) 8

2.40 ㎛

U = 0.03 ㎛,

σ = 0.002 ㎛

0.88 ㎛

U = 0.015 ㎛,

σ = 0.0005 ㎛

0.23 ㎛

U = 0.005 ㎛,

σ = 0.0002 ㎛

제품 설명 및 특징

스마트한 비접촉식 고효율 3D 측정시스템

  • 고성능, 고효율 3D 표면측정기
  • 초고속 QA/QC 및 R&D 적용 가능
  • 우수한 측면 및 수직 분해능
  • 다양한 어플리케이션 대응
  • 손쉬운 작동 및 직관적인 인터페이스
  • 강력한 분석 소프트웨어

고성능, 고효율의 3D 표면측정기

새로 출시된 S neox는 측정 시스템 군에 있어 현존하는 3차원 현미경보다 기능 및 성능, 효율, 그리고 설계 면에 있어 월등히 우수한 성능을 갖고 있습니다.

손쉬운 작동법

카이스는 고객의 편리함을 추구하기 위해 끊임없이 노력하고 있습니다. S neox 시리즈의 5세대에 해당하는 본 제품의 가장 큰 목적은 사용자의 편의와 직관적인 사용법, 그리고 신속한 작동에 있습니다. 초보자이더라도단 몇 번의 클릭으로 시스템을 작동할 수 있으며 사용자의 요구에 맞게 시스템을 사용할 수 있도록 소프트웨어 모듈이 제작되었습니다.

초고속 작동

스마트하고 독창적인 알고리즘과 새로운 카메라의 적용으로 동작 속도가 이전에 비해 월등히 개선되었습니다. 데이터는 180fps로 취득 가능하며 표준 데이터 취득 속도 역시 이전보다 5배 더 향상되어 현 측정·계측 기기 시장 내에서 빠른 속도를 자랑하는 제품으로 자리 잡았습니다.

3-in-1 기술의 특징
공초점 간섭계 Ai 초점 변화 NEW

공초점 프로파일러는 부드러운 표면부터 거친 표면까지 다양한 표면의 높이를 측정하는 것을 목적으로 개발되었습니다. 공초점 프로파일링은 최대 0.14 ㎛의 라인 & 스페이스 후면 분해능을 제공하며 동시에 공간 샘플링 역시 0.01 ㎛ 까지 축소될 수 있는데 이는 치수 측정이 중요한 요인일 때 매우 유용합니다. 높은 NA(0.95)와 고배율 (150X)의 대물 렌즈로 70도 이상의 가파른 경사면을 가진 매끄러운 표면을 측정할 수 있습니다. (단, 표면이 거친 경우 최대 86도). 더불어 당사의 독자적인 공초점 알고리즘을 이용해 나노미터 단위의 수직 반복성을 획득할 수 있습니다.

PSI 위상 천이 간섭계
(Phase Shift Interferometry)는 매우 매끄럽고 연속적인 표면의 높이를 개구수 (NA)에 관계없이 서브 옹스트롬 분해능으로 측정합니다. 초 저 배율 (2.5x)을 이용하면 동일한 수직 분해능으로 넓은 시야각을 측정할 수 있습니다.

CSI 간섭성 주사 간섭계
(Coherence Scanning Interferometry)는 백색광을 이용해 부드러운 표면부터 다소 거친 표면의 높이를 스캔하여 모든 배율에서 1 ㎚의 높이 분해능을 도출합니다.

조명 활성화를 통한 초점 변화 기술
(Active illumination Focus Variation)은 넓은 거친 표면의 형태를 측정하는 광학 기술입니다. 본 기술은 공초점 및 간섭계 방식으로 3D 측정을 하는 분야에서 카이스의 광범위한 전문 기술을 기반으로 하며 특히 저배율에서 공초점 측정을 보완할 수 있도록 설계되었습니다. 조명의 활성화로 광학적으로 매끄러운 표면에서도 초점 위치를 보다 안정적으로 취득할 수 있습니다. 해당 기술의 최대 장점은 높은 경사면 (최대 86˚), 초고속 (mm/s), 그리고 수직 범위가 넓다는 것입니다.

소프트웨어

SensoVIEW는 분석 작업에 있어 매우 이상적인 소프트웨어입니다. 더욱 더 완벽한 분석 모음 툴을 요구하는 어플리케이션에 있어 상위 버전의 소프트웨어 패키지 – SensoMAP / SensoPRO를 사용할 수 있습니다.

양방향 분석 툴

2D 및 3D 인터랙티브 뷰는 다양한 스케일링, 디스플레이, 렌더링 옵션을 제공합니다. 뿐만 아니라 사용자는 2D와 3D 측정의 사전 검사 및 분석을 위한 포괄적인 도구를 함께 사용할 수 있습니다. 중요한 치수, 각도, 거리, 직경 모두 측정 가능하며 새로운 주석 도구를 이용해 이를 강조할 수 있습니다.

순차 연산자

포괄적인 연산자를 활용해 데이터 포인트를 수정하고, 측정 불가한 데이터를 복구할 뿐만 아니라 형상 (평면, 구, 다각형)을 제거할 수 있습니다. 또한 다양한 필터의 적용 또는 프로파일을 자르거나 대체하여 추출하는 것 모두 가능합니다. 또한 사전 설정된 필터 및 구성을 적용하기 위해 분석 템플릿 역시 생성할 수 있습니다.

생산 라인에서 신속하게 품질을 제어하는 것은 결코 쉬운 일이 아닙니다. 사용자는 SensoPRO를 활용해 생산 라인에서 샘플을 로딩하고 안내 지침서를 그대로 따르면 됩니다. 플러그인 기반의 데이터 분석 알고리즘으로 매우 높은 유연성을 제공하며 새로운 모듈로 다른 산업군 수요에 맞게 쉽게 커스터마이징 될 수 있습니다.

디지털 서프의 Mountains 테크놀러지에 기반한 SensoMAP은 분석과 보고에 있어 매우 강력한 툴입니다. SensoMAP 소프트웨어는 유저의 요청 사항에 맞게 쉽게 모듈화 될 수 있습니다. 두 가지 등급 (표준형 및 프리미엄)과 그 밖의 다양한 모듈 (2D, 3D, 4D 모듈, 어드밴스 컨투어, 입자, 통계 분석 및 스티칭) 또한 제공 가능합니다.

하드웨어

전동식 노즈피스

전동식 노즈 피스는 광학 및 간섭계 렌즈를 포함해 최대 6개의 대물 렌즈를 동시에 장착할 수 있습니다. SensoSCAN 소프트웨어는 전자동화된 변경 사항들을 자동으로 처리하고 동초점 조정으로 모든 요소들을 자동으로 수정합니다.

스탠드 구조

S neox는 모든 면에 있어 아주 완벽합니다. 기술적 표면의 마이크로 및 나노 단위의 형상에 대해 아주 빠르고 대상체에 직접적인 영향을 끼치지 않으며 표면 측정에 매우 이상적으로 설계되어 있습니다. S neox는 R&D 및 품질 검사 연구소를 위한 표준 설정에서 요구하는 유연성, 내구성, 효율성을 모두 갖추었으며, 최대 300 x 300 ㎟, 최대 높이 350 ㎜까지의 샘플을 측정하여 온라인 공정 제어를 위한 정교한 맞춤형 솔루션을 제공합니다.

링 조명

일관적이고 효율적으로 대상체를 비추기 위해 LED 링 조명을 사용합니다. 대물렌즈 위 또는 주변에 탑재되어 Ai 초점 변화 기법 사용을 위한 개선된 시그널을 제공함으로써, 초점면에 적합한 조명을 제공합니다.

회전 스테이지

5개 축으로 구성된 회전 스테이지는 리밋 스위치를 포함하여 360˚ 연속 회전 고정밀 전동 회전 A축 (10 arc sec 위치 결정 반복성)과 -30 ~110˚의 전동 B축 (0.5 arc sec 반복성)으로 구성되어 있으며 System 3R 클램핑 시스템 또한 장착되어 있습니다.

적용 사례
산업별 적용 분야
  • 항공 우주 및 자동차
  • 에너지
  • 법의학
  • 의료 장비
  • 초소형 소자
  • 미세 제조 및 가공
  • 반도체
  • 표면 처리
  • 공구
  • 광학
  • 시계 제조
품질 관리

QC (Quality Control, 품질 관리) 공정에 자동 모듈을 적용해 더욱 원활하게 가동할 수 있습니다. 사용자 액세스 권한 부여 제한부터 명령, 바코드 / QR 리더기, 전매 특허 SensoPRO 소프트웨어의 커스터마이징된 플러그인까지 광범위한 기능을 활용해 Pass / Fail 리포트를 제작할 수 있습니다. 사용의 유연성과 더불어 작동법이 쉽고 24시간 가동할 수 있는 인터페이스가 구비되어 있다는 점에서 당사의 솔루션은 QC 공정에 매우 이상적입니다.

측정 소급성
모든 S neox는 정확하고 추적 가능한 측정을 제공합니다. 본 시스템은 소급성이 확보된 표준을 이용한 교정을 거치며 해당 표준은 Z 증폭 계수, XY 측면 치수, 평면도 오차, 동일한 중심 및 초점에 관한 ISO 25178 규격을 준수합니다.
R&D (연구개발)
카이스의 3-in-1 기술로 SensoSCAN을 통해 단 1번의 클릭으로 현 어플리케이션에 최적화하여 사용할 수 있습니다. S neox의 측정 헤드부에는 공초점, 간섭계, Ai 초점 변화의 기술이 모두 혼재되어 있습니다. 이들 3가지 기술의 적용으로 시스템을 다양하게 사용할 수 있고 데이터 획득 과정에 있어 예기치 못한 변수를 최소화할 수 있습니다.
시스템 구성
치수

사양

대물 렌즈

광학면

간섭계

배율

5X

10X

20X

50X

100X

150X

2.5X

5X

10X

20X

50X

100X

NA

0.15

0.30

0.45

0.80

0.90

0.075

0.13

0.30

0.40

0.55

0.70

WD (㎜)

23.5

17.5

4.5

1.0

1.5

10.3

9.3

7.4

4.7

3.4

2.0

FOV 1 (㎛)

3378

x

2826

1689

x

1413

845

x

707

338

x

283

169

x

141

113

x

94

6756

x

5652

3378

x

2826

1689

x

1413

845

x

707

338

x

283

169

x

141

공간 샘플 2 (㎛)

1.38

0.69

0.34

0.13

0.07

0.05

2.76

1.38

0.69

0.34

0.13

0.07

광학 분해능 3 (㎛)

0.94

0.47

0.31

0.18

0.16

1.87

1.08

0.47

0.35

0.26

0.20

공초점 / Ai 초점 변화

PSI / ePSI / CSI

시스템 노이즈 4 (㎚)

100

30

8

4

3

2

PSI/ePSI 0.1 ㎚ (PZT: 0.01 ㎚) CSI 1 ㎚

최대 경사면 5 (˚)

9

17

27

53

64

4

7

17

24

33

44

시스템

측정 원리

공초점, PSI, ePSI, CSI, Ai 초점 변화, 박막

관찰 유형

광학면, DIC, 순차적 색상 RGB, 공초점, 간섭위상차

측정 유형

이미지, 3D, 3D 두께, 프로파일, 좌표계

카메라

5Mpx: 2448 x 2048 픽셀 (60 fps)

총 배율 (27” 스크린)

60X ~ 21600X

디스플레이 분해능

0.001 ㎚

F.O.V (Field of view)

0.018 ~ 6.7 ㎜ (싱글샷)

최대 확장 측정 영역

10 x 12 (최대 분해능); 175 x 175 (저분해능) (500 Mpx)

공초점 프레임 속도

20 fps (5Mpx); 60 fps (1.2 Mpx)

수직 스캔 범위 (일반)

선형 스테이지: 범위 40 ㎜; 5 ㎚ 분해능

수직 스캔 범위 (정밀)

정전용량형센서가 부착된 피에조 스캐너:

범위 200 ㎛; 0.5 ㎚ 분해능

Z축 최대 측정 범위

PSI 20 ㎛ ; CSI 10 ㎜; 공초점 & Ai 초점 변화 34 ㎜

XY 스테이지 범위

수동: 40 x 40 ㎜; 전동화: 114 x 75 ㎜, 154 x 154 ㎜, 255 x 215 ㎜, 302 x 302 ㎜

LED 광원

적색 (630 ㎚); 녹색 (530 ㎚);

청색 (460 ㎚); 흰색 (575 ㎚; 중심부)

링 조명

6 포지션 노즈피스와 호환 가능한 녹색 링 조명

노즈피스

6 포지션 완전 전자동화

샘플 반사도

0.05 ~ 100 %

샘플 중량

최대 25 kg

샘플 높이

40 ㎜ (표준형); 150 ㎜ 및 350 ㎜ (옵션형)

유저 관리 권한

관리자, 감독자, 고급 연산자, 연산자

어드밴스드 소프트웨어 분석

SensoMAP, SensoPRO, SensoMATCH,

SensoCOMP (옵션형)

전원

라인 전압 100 ~ 240 V AC; 주파수 50 / 60 ㎐ 단상

컴퓨터

최신 INTEL 프로세서; 3840 x 2160 픽셀 분해능 (4K) (27”)

운영 시스템

Microsoft Windows 10, 64 bit

중량 9

61 kg (134 lbs)

내환경성

온도 10 ~ 35 ℃; 습도 < 80 % RH; 고도 < 2000 m

정확성 및 반복성 6

표준

U , σ

기술

스텝 단차

48600 ㎚

U = 300 ㎚,

σ = 10 ㎚

공초점 & CSI

7616 ㎚

U = 79 ㎚,

σ = 5 ㎚

941.6 ㎚

U = 7 ㎚,

σ = 1 ㎚

186 ㎚

U = 4 ㎚,

σ = 0.4 ㎚

44.3 ㎚

U = 0.5 ㎚,

σ = 0.1 ㎚

PSI

10.8 ㎚

U = 0.5 ㎚,

σ = 0.05 ㎚

표면 조도 (Sa) 7

0.79 ㎛

U = 0.04 ㎛,

σ = 0.0005 ㎛

공초점, AiFV & CSI

프로파일 조도 (Ra) 8

2.40 ㎛

U = 0.03 ㎛,

σ = 0.002 ㎛

0.88 ㎛

U = 0.015 ㎛,

σ = 0.0005 ㎛

0.23 ㎛

U = 0.005 ㎛,

σ = 0.0002 ㎛