서브나노미터급 정밀도의 거리 측정 백색광 간섭계

  • 최상의 성능: 30 피코미터 미만 분해능
  • 스텝 프로파일에 적합한 절대 측정
  • 넓은 오프셋 범위의 견고한 소형 센서
  • 고속 측정에 대응하는 최대 6 ㎑의 측정 주파수
  • Ethernet, EtherCAT, RS422

클린룸 & 진공 환경에서의 고분해능 거리 측정을 위해 설계된 간섭계

IMS5600-DS 백색광 간섭계는 최고 수준 정밀도의 거리 측정에 활용됩니다. 지능형 평가 기능을 탑재한 컨트롤러가 특수 캘리브레이션을 제공하여 서브나노미터 분해능의 절대 측정이 가능합니다. 본 간섭계는 전자 장비 및 반도체 생산과 같이 최고 수준의 정확도가 요구되는 측정 작업에 사용됩니다. 진공 어플리케이션을 위해 Micro-Epsilon은 특수 센서 및 케이블, 피드스루 액세서리를 제공하며 센서 및 케이블은 또한 UHV 환경에서도 활용할 수 있습니다.

넓은 측정 범위 및 긴 오프셋 거리의 절대적 거리 측정

IMS5600-DS는 고정밀 변위 및 거리 측정에 사용됩니다. 본 시스템은 절대 측정값을 제공하며 계단형 프로파일의 거리 측정 시에도 활용될 수 있습니다. 절대 측정으로 인해 시그널 손실없이 샘플링이 이루어지며, 움직이는 대상 측정시 볼록부, 계단부, 오목부의 높낮이 차이를 확실하게 감지합니다. 본 측정 시스템은 측정 범위에 비해 긴 오프셋 거리에서 서브나노미터 분해능을 제공합니다.

산업 환경에서 활용

IMS5600-DS는 센서가 견고하고 컨트롤러 하우징 재질이 메탈인 관계로 생산 라인에서 활용하기 매우 적합합니다. 센서의 크기가 매우 작아 공간을 크게 절약할 뿐만 아니라 제한된 공간에도 설치가 가능합니다. 컨트롤러는 DIN 레일 마운팅을 통해 제어 캐비닛에 장착할 수 있으며 온도 보상 기능의 활성화와 수동식 냉각 기능을 이용하여 매우 안정적인 측정 결과를 제공합니다. 광화이버 케이블은 최대 20m까지 제공 가능하며 센서와 컨트롤러를 서로 공간 분리하여 설치할 수 있습니다. 또한 기존 간섭계와 달리 초기 실행 및 파라미터 설정이 웹 인터페이스를 통해 이루어져 쉽고 사용자 친화적이며 별도의 소프트웨어 설치가 필요 없습니다.

제품명

IMS5600-DS

측정 범위

2.1 ㎜

측정 시작점

약 19 ㎜

분해능 1)

< 30 pm

측정 속도

100 ㎐ ~ 6 까지 지속적으로 조정 가능

직선성 2)

< ±10 ㎚

온도 안정성

직선성: 기본 0.1 ㎚ / K (오프셋 변위 제외)

온도 보상, +15 ~ +35 ℃ 범위 내 안정성 < 10 ppm

광원

NIR-SLED, 파장대 840 ㎚

레이저 안전등급

DIN EN 60825-1 : 2015-07에 따른 Class 1 준수

광 스폿 직경 3)

10 ㎛

최대 기울기 각 4)

±2°

타겟 재질

글라스, 유광 표면

공급 전압

24 VDC ±15 %

소비 전력

약 10 W (24 V)

시그널 입력

싱크인, 트리거 인, 2 x 인코더 (A+, A-, B+, B-, 인덱스)

디지털 인터페이스

Ethernet / EtherCAT / RS422

출력

아날로그

4 ~ 20 ㎃ / 0 ~ 10 V (16 bit D/A 컨버터)

스위칭

Error1-Out, Error2-Out

디지털

싱크 아웃

연결

광학

E2000 소켓 (컨트롤러) 및 FC 소켓 (센서)을 통해 플러깅 가능한 광화이버;
기본 길이 3 / 5/ 10 m; 
그 외 길이는 당사에 문의; 곡률 반경: 정적 30 ㎜, 동적 40 ㎜

전기적

3핀 전원 단자 스트립; 인코더 연결 (15핀, HD 서브 소켓, 최대 케이블 길이 3 m, 외부 인코더 전원 포함한 30 m); RS422 연결 소켓 (9핀, Sub-D, 최대 케이블 길이 30 m);
3핀 출력 단자 스트립 (최대 케이블 길이 30 m); 11핀 I/O 터미널 스트립 (최대 케이블 길이 30 m); Ethernet (출력) / EtherCAT (입/출력)을 위한 RJ45 소켓 (최대 케이블 길이 100 m)

설치

센서

클램핑, 마운팅 어댑터 (액세서리부 참조)

컨트롤러

독립형, DIN 레일 마운팅

온도 범위

보관

-20 ~ +70 ℃

작동

센서: +5 ~ +70 ℃; 컨트롤러: +15 ~ +35 ℃

내충격성 (DIN-EN 60068-2-29)

15 g / XY 축으로 6 ㎳, 각 1000회 충격

내진동성 (DIN EN 60068-2-6)

2 g / XY 축으로 20 ~ 500 ㎐, 각 10회 사이클

보호 등급 (DIN-EN60529)

IP40 (컨트롤러 및 센서)

진공

옵션형 UHV (케이블 및 센서)

재질

센서

스테인레스 스틸

컨트롤러

알루미늄 하우징, 패시브 쿨링

제어 및 디스플레이 요소

다기능 버튼: 조정 가능한 2개의 기능 및 10초 후 공장 설정으로 리셋; 셋업을 위한 웹 인터페이스: 선택 가능한 사전 설정, 자유롭게

선택 가능한 평균화, 데이터 감소, 설정 관리; 인텐시티, 범위, SLED, 파일럿 레이저, 상태 및 전원 확인을 위한 6개의 컬러 LED;

센서 얼라인먼트를 위해 스위칭 가능한 파일럿 레이저 (레이저 LED 635 ㎚, 레이저 class 1, 성능 < 0.2 ㎽)

모든 데이터는 주변 온도가 일정한 환경에서 측정한 것을 기반으로 함 (24 ±2 ℃)

1) 측정 속도 0.5 , 64개 값 이상의 이동 평균, 측정 범위 중간 지점 (2 시그마)에서 얇은 글라스판의 앞면과 뒷면 사이에 차등 측정
2) ND 필터 전면에서 측정된 전체 측정 범위에 대한 기준 시스템으로부터 최대 편차
3) 측정 중간 지점
4) 측정 범위 중간 지점에서 광택 글라스에 사용 가능한 신호 (n = 1.5)를 생성하는 최대 센서 기울기 각도. 리미트 값에 근접할 수록 정확도가 감소

제품 설명 및 특징

서브나노미터급 정밀도의 거리 측정 백색광 간섭계

  • 최상의 성능: 30 피코미터 미만 분해능
  • 스텝 프로파일에 적합한 절대 측정
  • 넓은 오프셋 범위의 견고한 소형 센서
  • 고속 측정에 대응하는 최대 6 ㎑의 측정 주파수
  • Ethernet, EtherCAT, RS422

클린룸 & 진공 환경에서의 고분해능 거리 측정을 위해 설계된 간섭계

IMS5600-DS 백색광 간섭계는 최고 수준 정밀도의 거리 측정에 활용됩니다. 지능형 평가 기능을 탑재한 컨트롤러가 특수 캘리브레이션을 제공하여 서브나노미터 분해능의 절대 측정이 가능합니다. 본 간섭계는 전자 장비 및 반도체 생산과 같이 최고 수준의 정확도가 요구되는 측정 작업에 사용됩니다. 진공 어플리케이션을 위해 Micro-Epsilon은 특수 센서 및 케이블, 피드스루 액세서리를 제공하며 센서 및 케이블은 또한 UHV 환경에서도 활용할 수 있습니다.

넓은 측정 범위 및 긴 오프셋 거리의 절대적 거리 측정

IMS5600-DS는 고정밀 변위 및 거리 측정에 사용됩니다. 본 시스템은 절대 측정값을 제공하며 계단형 프로파일의 거리 측정 시에도 활용될 수 있습니다. 절대 측정으로 인해 시그널 손실없이 샘플링이 이루어지며, 움직이는 대상 측정시 볼록부, 계단부, 오목부의 높낮이 차이를 확실하게 감지합니다. 본 측정 시스템은 측정 범위에 비해 긴 오프셋 거리에서 서브나노미터 분해능을 제공합니다.

산업 환경에서 활용

IMS5600-DS는 센서가 견고하고 컨트롤러 하우징 재질이 메탈인 관계로 생산 라인에서 활용하기 매우 적합합니다. 센서의 크기가 매우 작아 공간을 크게 절약할 뿐만 아니라 제한된 공간에도 설치가 가능합니다. 컨트롤러는 DIN 레일 마운팅을 통해 제어 캐비닛에 장착할 수 있으며 온도 보상 기능의 활성화와 수동식 냉각 기능을 이용하여 매우 안정적인 측정 결과를 제공합니다. 광화이버 케이블은 최대 20m까지 제공 가능하며 센서와 컨트롤러를 서로 공간 분리하여 설치할 수 있습니다. 또한 기존 간섭계와 달리 초기 실행 및 파라미터 설정이 웹 인터페이스를 통해 이루어져 쉽고 사용자 친화적이며 별도의 소프트웨어 설치가 필요 없습니다.

제품 사양

제품명

IMS5600-DS

측정 범위

2.1 ㎜

측정 시작점

약 19 ㎜

분해능 1)

< 30 pm

측정 속도

100 ㎐ ~ 6 까지 지속적으로 조정 가능

직선성 2)

< ±10 ㎚

온도 안정성

직선성: 기본 0.1 ㎚ / K (오프셋 변위 제외)

온도 보상, +15 ~ +35 ℃ 범위 내 안정성 < 10 ppm

광원

NIR-SLED, 파장대 840 ㎚

레이저 안전등급

DIN EN 60825-1 : 2015-07에 따른 Class 1 준수

광 스폿 직경 3)

10 ㎛

최대 기울기 각 4)

±2°

타겟 재질

글라스, 유광 표면

공급 전압

24 VDC ±15 %

소비 전력

약 10 W (24 V)

시그널 입력

싱크인, 트리거 인, 2 x 인코더 (A+, A-, B+, B-, 인덱스)

디지털 인터페이스

Ethernet / EtherCAT / RS422

출력

아날로그

4 ~ 20 ㎃ / 0 ~ 10 V (16 bit D/A 컨버터)

스위칭

Error1-Out, Error2-Out

디지털

싱크 아웃

연결

광학

E2000 소켓 (컨트롤러) 및 FC 소켓 (센서)을 통해 플러깅 가능한 광화이버;
기본 길이 3 / 5/ 10 m; 
그 외 길이는 당사에 문의; 곡률 반경: 정적 30 ㎜, 동적 40 ㎜

전기적

3핀 전원 단자 스트립; 인코더 연결 (15핀, HD 서브 소켓, 최대 케이블 길이 3 m, 외부 인코더 전원 포함한 30 m); RS422 연결 소켓 (9핀, Sub-D, 최대 케이블 길이 30 m);
3핀 출력 단자 스트립 (최대 케이블 길이 30 m); 11핀 I/O 터미널 스트립 (최대 케이블 길이 30 m); Ethernet (출력) / EtherCAT (입/출력)을 위한 RJ45 소켓 (최대 케이블 길이 100 m)

설치

센서

클램핑, 마운팅 어댑터 (액세서리부 참조)

컨트롤러

독립형, DIN 레일 마운팅

온도 범위

보관

-20 ~ +70 ℃

작동

센서: +5 ~ +70 ℃; 컨트롤러: +15 ~ +35 ℃

내충격성 (DIN-EN 60068-2-29)

15 g / XY 축으로 6 ㎳, 각 1000회 충격

내진동성 (DIN EN 60068-2-6)

2 g / XY 축으로 20 ~ 500 ㎐, 각 10회 사이클

보호 등급 (DIN-EN60529)

IP40 (컨트롤러 및 센서)

진공

옵션형 UHV (케이블 및 센서)

재질

센서

스테인레스 스틸

컨트롤러

알루미늄 하우징, 패시브 쿨링

제어 및 디스플레이 요소

다기능 버튼: 조정 가능한 2개의 기능 및 10초 후 공장 설정으로 리셋; 셋업을 위한 웹 인터페이스: 선택 가능한 사전 설정, 자유롭게

선택 가능한 평균화, 데이터 감소, 설정 관리; 인텐시티, 범위, SLED, 파일럿 레이저, 상태 및 전원 확인을 위한 6개의 컬러 LED;

센서 얼라인먼트를 위해 스위칭 가능한 파일럿 레이저 (레이저 LED 635 ㎚, 레이저 class 1, 성능 < 0.2 ㎽)

모든 데이터는 주변 온도가 일정한 환경에서 측정한 것을 기반으로 함 (24 ±2 ℃)

1) 측정 속도 0.5 , 64개 값 이상의 이동 평균, 측정 범위 중간 지점 (2 시그마)에서 얇은 글라스판의 앞면과 뒷면 사이에 차등 측정
2) ND 필터 전면에서 측정된 전체 측정 범위에 대한 기준 시스템으로부터 최대 편차
3) 측정 중간 지점
4) 측정 범위 중간 지점에서 광택 글라스에 사용 가능한 신호 (n = 1.5)를 생성하는 최대 센서 기울기 각도. 리미트 값에 근접할 수록 정확도가 감소

외형 치수