고정밀 두께 측정을위한 백색광 간섭계

  • 거리가 변화하거나 타겟이 진동하는 경우에도 나노미터 정밀도로 두께 측정
  • 무반사 코팅 처리된 타겟도 먼 거리에서 안정적으로 측정
  • 견고한 메탈 하우징 및 유연한 케이블을 갖춘 산업용 센서
  • 고속 측정에 대응하는 최대 6 ㎑의 측정 주파수
  • Ethernet, EtherCAT, RS422

다양한 측정 거리에서 안정적으로 두께 측정

IMS5400-TH 백색광 간섭계는 산업용 두께 측정에 새로운 관점을 제시합니다. 본 간섭계는 비교적 먼 거리에서 고정밀하게 대상체 두께를 측정할 때 사용됩니다. 측정에 있어 거리값에 영향을 받지 않는다는 점이 특히 뛰어난 강점으로, 안정적으로 두께 값을 나노미터 급으로 도출합니다. 따라서 타겟이 측정 범위 내에서 움직이더라도 정확도는 영향 받지 않습니다. 또한 두께 측정 범위가 넓기 때문에 얇은 레이어, 판유리, 그리고 박막 측정 또한 가능합니다. 본 백색광 간섭계는 근적외선 범위의 SLED와 작용하므로 무반사 유리와 같이 광학 밀도가 낮은 물체의 두께 측정도 가능합니다.

첨단 자동화를 위한 다양한 인터페이스

Ethernet, EtherCAT, RS422와 같은 통합 인터페이스뿐만 아니라 인코더 연결, 아날로그 출력, 동기화 입력 및 디지털 입출력을 통해 최신 제어 시스템 및 생산 프로그램에 연결할 수 있습니다.

산업 환경에서 활용

본 시스템은 센서가 견고하고 컨트롤러 하우징 재질이 메탈인 관계로 생산 라인에서 활용하기 매우 적합합니다. 센서의 크기가 매우 작아 공간을 크게 절약할 뿐만 아니라 제한된 공간에도 설치가 가능합니다. 컨트롤러는 DIN 레일 마운팅을 통해 제어 캐비닛에 장착할 수 있으며 온도 보상 기능의 활성화와 수동식 냉각 기능을 이용하여 매우 안정적인 측정 결과를 제공합니다. 광화이버 케이블은 최대 20 m까지 제공 가능하며 센서와 컨트롤러를 서로 공간 분리하여 설치할 수 있습니다. 또한 내장된 파일럿 레이저로 인해 빠르고 쉽게 센서를 얼라인 할 수 있고, 기존 간섭계와 달리 초기 실행 및 파라미터 설정이 웹 인터페이스를 통해 이루어져 쉽고 사용자 친화적이며 별도의 소프트웨어 설치가 불필요합니다.

제품명

IMS5400-TH

동작 거리

45 ㎜±3.5 ㎜

측정 범위 (두께)

0.035 ~ 1.4 ㎜ 1)

분해능 2)

< 1 ㎚

측정 속도

100 ㎐ ~ 6 까지 지속적으로 조정 가능

직선성 3)

< ±100 ㎚

온도 안정성

센서

전체 온도 범위에 유효한 직선성

컨트롤러

온도 보상, +15 ~ +35 ℃ 범위 내 안정성 < 10 ppm

광원

NIR-SLED, 파장대 840 ㎚

레이저 안전등급

DIN EN 60825-1 : 2015-07에 따른 Class 1 준수

광 스폿 직경 4)

10 ㎛

최대 기울기 각 5)

±2°

공급 전압

24 VDC ±15 %

소비 전력

약 10 W (24 V)

시그널 입력

싱크인, 트리거 인, 2 x 인코더 (A+, A-, B+, B-, 인덱스)

디지털 인터페이스

Ethernet / EtherCAT / RS422

출력

아날로그

4 ~ 20 ㎃ / 0 ~ 10 V (16 bit D/A 컨버터)

스위칭

Error1-Out, Error2-Out

디지털

싱크 아웃

연결

광학

E2000 소켓 (컨트롤러) 및 FC 소켓 (센서)을 통해 플러깅 가능한 광화이버; 기본 길이 3 / 5/ 10 m; 그 외 길이는 당사에 문의; 곡률 반경: 정적 30 ㎜, 동적 40 ㎜

전기적

3핀 전원 단자 스트립; 인코더 연결 (15핀, HD 서브 소켓, 최대 케이블 길이 3 m, 외부 인코더 전원 포함한 30 m); RS422 연결 소켓 (9핀, Sub-D, 최대 케이블 길이 30 m);

3핀 출력 단자 스트립 (최대 케이블 길이 30 m); 11핀 I/O 터미널 스트립 (최대 케이블 길이 30 m); Ethernet (출력) / EtherCAT (입/출력)을 위한 RJ45 소켓 (최대 케이블 길이 100 m)

설치

센서

클램핑, 마운팅 어댑터 (액세서리부 참조)

컨트롤러

독립형, DIN 레일 마운팅

온도 범위

보관

-20 ~ +70 ℃

작동

센서: +5 ~ +70 ℃; 컨트롤러: +15 ~ +35 ℃

내충격성 (DIN-EN 60068-2-29)

15 g / XY 축으로 6 ㎳, 각 1000회 충격

내진동성 (DIN EN 60068-2-6)

2 g / XY 축으로 20 ~ 500 ㎐, 각 10회 사이클

보호 등급 (DIN-EN60529)

IP40 (컨트롤러 및 센서)

진공

옵션형 UHV (케이블 및 센서)

재질

센서

스테인레스 스틸

컨트롤러

알루미늄 하우징, 패시브 쿨링

제어 및 디스플레이 요소

다기능 버튼: 조정 가능한 2개의 기능 및 10초 후 공장 설정으로 리셋; 셋업을 위한 웹 인터페이스: 선택 가능한 사전 설정, 자유롭게

선택 가능한 평균화, 데이터 감소, 설정 관리; 인텐시티, 범위, SLED, 파일럿 레이저, 상태 및 전원 확인을 위한 6개의 컬러 LED;

센서 얼라인먼트를 위해 스위칭 가능한 파일럿 레이저 (레이저 LED 635 ㎚, 레이저 등급 1, 성능 < 0.2 ㎽)

모든 데이터는 주변 온도가 일정한 환경에서 측정한 것을 기반으로 함 (24 ±2 ℃)

1) n = 1.5일 때 측정 범위; 두 개의 글라스 판 (n ~ 1) 사이의 측정 측정 범위는 0.05 ~ 2.1 ㎜. 측정 대상은 동작 거리 내에 위치해야 함.
2) 측정 속도 0.5 , 64개 값 이상의 이동 평균, 약 1 ㎜ 두께의 BK7 광학 평판 (2 시그마)에서 측정
3) 측정 범위를 통과할 때 약 1 ㎜ 두께의 BK7 광학면 (n=1.5)에서 측정할 때의 최대 두께 편차
4) 동작 거리 = 45 ㎜
5) 측정 범위 중간에서 약 0.6 ㎜ 두께의 BK7 광학면에서 사용 가능한 신호를 생성하는 최대 센서 기울기 각도. 리미트 값에 근접할 수록 정확도가 감소

제품 설명 및 특징

고정밀 두께 측정을위한 백색광 간섭계

  • 거리가 변화하거나 타겟이 진동하는 경우에도 나노미터 정밀도로 두께 측정
  • 무반사 코팅 처리된 타겟도 먼 거리에서 안정적으로 측정
  • 견고한 메탈 하우징 및 유연한 케이블을 갖춘 산업용 센서
  • 고속 측정에 대응하는 최대 6 ㎑의 측정 주파수
  • Ethernet, EtherCAT, RS422

다양한 측정 거리에서 안정적으로 두께 측정

IMS5400-TH 백색광 간섭계는 산업용 두께 측정에 새로운 관점을 제시합니다. 본 간섭계는 비교적 먼 거리에서 고정밀하게 대상체 두께를 측정할 때 사용됩니다. 측정에 있어 거리값에 영향을 받지 않는다는 점이 특히 뛰어난 강점으로, 안정적으로 두께 값을 나노미터 급으로 도출합니다. 따라서 타겟이 측정 범위 내에서 움직이더라도 정확도는 영향 받지 않습니다. 또한 두께 측정 범위가 넓기 때문에 얇은 레이어, 판유리, 그리고 박막 측정 또한 가능합니다. 본 백색광 간섭계는 근적외선 범위의 SLED와 작용하므로 무반사 유리와 같이 광학 밀도가 낮은 물체의 두께 측정도 가능합니다.

첨단 자동화를 위한 다양한 인터페이스

Ethernet, EtherCAT, RS422와 같은 통합 인터페이스뿐만 아니라 인코더 연결, 아날로그 출력, 동기화 입력 및 디지털 입출력을 통해 최신 제어 시스템 및 생산 프로그램에 연결할 수 있습니다.

산업 환경에서 활용

본 시스템은 센서가 견고하고 컨트롤러 하우징 재질이 메탈인 관계로 생산 라인에서 활용하기 매우 적합합니다. 센서의 크기가 매우 작아 공간을 크게 절약할 뿐만 아니라 제한된 공간에도 설치가 가능합니다. 컨트롤러는 DIN 레일 마운팅을 통해 제어 캐비닛에 장착할 수 있으며 온도 보상 기능의 활성화와 수동식 냉각 기능을 이용하여 매우 안정적인 측정 결과를 제공합니다. 광화이버 케이블은 최대 20 m까지 제공 가능하며 센서와 컨트롤러를 서로 공간 분리하여 설치할 수 있습니다. 또한 내장된 파일럿 레이저로 인해 빠르고 쉽게 센서를 얼라인 할 수 있고, 기존 간섭계와 달리 초기 실행 및 파라미터 설정이 웹 인터페이스를 통해 이루어져 쉽고 사용자 친화적이며 별도의 소프트웨어 설치가 불필요합니다.

제품 사양

제품명

IMS5400-TH

동작 거리

45 ㎜±3.5 ㎜

측정 범위 (두께)

0.035 ~ 1.4 ㎜ 1)

분해능 2)

< 1 ㎚

측정 속도

100 ㎐ ~ 6 까지 지속적으로 조정 가능

직선성 3)

< ±100 ㎚

온도 안정성

센서

전체 온도 범위에 유효한 직선성

컨트롤러

온도 보상, +15 ~ +35 ℃ 범위 내 안정성 < 10 ppm

광원

NIR-SLED, 파장대 840 ㎚

레이저 안전등급

DIN EN 60825-1 : 2015-07에 따른 Class 1 준수

광 스폿 직경 4)

10 ㎛

최대 기울기 각 5)

±2°

공급 전압

24 VDC ±15 %

소비 전력

약 10 W (24 V)

시그널 입력

싱크인, 트리거 인, 2 x 인코더 (A+, A-, B+, B-, 인덱스)

디지털 인터페이스

Ethernet / EtherCAT / RS422

출력

아날로그

4 ~ 20 ㎃ / 0 ~ 10 V (16 bit D/A 컨버터)

스위칭

Error1-Out, Error2-Out

디지털

싱크 아웃

연결

광학

E2000 소켓 (컨트롤러) 및 FC 소켓 (센서)을 통해 플러깅 가능한 광화이버; 기본 길이 3 / 5/ 10 m; 그 외 길이는 당사에 문의; 곡률 반경: 정적 30 ㎜, 동적 40 ㎜

전기적

3핀 전원 단자 스트립; 인코더 연결 (15핀, HD 서브 소켓, 최대 케이블 길이 3 m, 외부 인코더 전원 포함한 30 m); RS422 연결 소켓 (9핀, Sub-D, 최대 케이블 길이 30 m);

3핀 출력 단자 스트립 (최대 케이블 길이 30 m); 11핀 I/O 터미널 스트립 (최대 케이블 길이 30 m); Ethernet (출력) / EtherCAT (입/출력)을 위한 RJ45 소켓 (최대 케이블 길이 100 m)

설치

센서

클램핑, 마운팅 어댑터 (액세서리부 참조)

컨트롤러

독립형, DIN 레일 마운팅

온도 범위

보관

-20 ~ +70 ℃

작동

센서: +5 ~ +70 ℃; 컨트롤러: +15 ~ +35 ℃

내충격성 (DIN-EN 60068-2-29)

15 g / XY 축으로 6 ㎳, 각 1000회 충격

내진동성 (DIN EN 60068-2-6)

2 g / XY 축으로 20 ~ 500 ㎐, 각 10회 사이클

보호 등급 (DIN-EN60529)

IP40 (컨트롤러 및 센서)

진공

옵션형 UHV (케이블 및 센서)

재질

센서

스테인레스 스틸

컨트롤러

알루미늄 하우징, 패시브 쿨링

제어 및 디스플레이 요소

다기능 버튼: 조정 가능한 2개의 기능 및 10초 후 공장 설정으로 리셋; 셋업을 위한 웹 인터페이스: 선택 가능한 사전 설정, 자유롭게

선택 가능한 평균화, 데이터 감소, 설정 관리; 인텐시티, 범위, SLED, 파일럿 레이저, 상태 및 전원 확인을 위한 6개의 컬러 LED;

센서 얼라인먼트를 위해 스위칭 가능한 파일럿 레이저 (레이저 LED 635 ㎚, 레이저 등급 1, 성능 < 0.2 ㎽)

모든 데이터는 주변 온도가 일정한 환경에서 측정한 것을 기반으로 함 (24 ±2 ℃)

1) n = 1.5일 때 측정 범위; 두 개의 글라스 판 (n ~ 1) 사이의 측정 측정 범위는 0.05 ~ 2.1 ㎜. 측정 대상은 동작 거리 내에 위치해야 함.
2) 측정 속도 0.5 , 64개 값 이상의 이동 평균, 약 1 ㎜ 두께의 BK7 광학 평판 (2 시그마)에서 측정
3) 측정 범위를 통과할 때 약 1 ㎜ 두께의 BK7 광학면 (n=1.5)에서 측정할 때의 최대 두께 편차
4) 동작 거리 = 45 ㎜
5) 측정 범위 중간에서 약 0.6 ㎜ 두께의 BK7 광학면에서 사용 가능한 신호를 생성하는 최대 센서 기울기 각도. 리미트 값에 근접할 수록 정확도가 감소

외형 치수