고정밀 거리 측정을위한 백색광 간섭계

  • 스텝 프로파일 등을 측정하기에 적합한 나노미터급의 절대적 측정
  • 넓은 오프셋 범위의 견고한 소형 센서
  • 고속 측정에 대응하는 최대 6 ㎑까지의 측정 주파수
  • Ethernet / EtherCAT / RS422
  • 견고한 수동식 냉각 컨트롤러
  • 웹인터페이스를 통한 손쉬운 설정 및 변경

나노미터급 분해능의 절대적 거리 측정

IMS5400-DS 백색광 간섭계는 산업용 거리 측정에 새로운 관점을 제시합니다. 본 컨트롤러는 지능형 평가 기능을 탑재하여 비교적 긴 오프셋 거리에서도 나노미터 정확도의 절대 측정이 가능합니다. 타 절대적 측정 방식의 광학 시스템과 비교했을 때 IMS5400-DS 는 타의 추종을 불허하는 정확도, 측정 범위, 오프셋 거리의 훌륭한 조합을 제공합니다.

극도의 미세한 디테일 및 구조까지 측정하기 위한 소형 광 스폿

센서는 전체 측정 범위에 걸쳐 작은 광 스폿을 계속해서 유지 및 제공합니다. 해당 스폿은 직경이 10 μm밖에 되지 않아 반도체 및 소형 전자부품과 같은 미세한 디테일을 감지할 수 있습니다.

첨단 자동화를 위한 다양한 인터페이스

Ethernet, EtherCAT, RS422과 같은 통합 인터페이스뿐만 아니라 인코더 연결, 아날로그 출력, 동기화 입력 및 디지털 입출력을 통해 최신 제어 시스템 및 생산 프로그램에 연결할 수 있습니다.

스텝 프로파일의 절대적 측정

기존 간섭계와 달리 IMS5400-DS는 스텝 프로파일 또한 측정할 수 있습니다. 절대적 측정을 통해 뛰어난 신호 안정성 및 정밀도로 대상을 스캐닝 하기 때문에, 이동 중인 대상체 측정 시 볼록부, 스텝부, 오목부의 높낮이 편차를 정확하게 감지합니다.

산업적 활용

IMS5400-DS는 센서가 견고하고 컨트롤러 하우징 재질이 메탈인 관계로 생산 라인에서 활용하기 매우 적합합니다. 센서의 크기가 작아 공간을 크게 절약할 뿐만 아니라 제한된 공간에도 설치가 가능합니다. 컨트롤러는 DIN 레일 마운팅을 통해 제어 캐비닛에 장착할 수 있으며 온도 보상 기능의 활성화와 수동식 냉각 기능을 이용하여 매우 안정적인 측정 결과를 제공합니다. 유연성이 뛰어난 광화이버 케이블은 최대 20 m까지 제공 가능하며 센서와 컨트롤러를 서로 공간 분리하여 설치할 수 있습니다. 더불어 기존 간섭계와 달리 초기 실행 및 파라미터 설정이 웹 인터페이스를 통해 이루어져 쉽고 사용자 친화적이며 별도의 소프트웨어 설치 역시 불필요합니다.

제품명

IMS5400-DS

측정 범위

2.1 ㎜

측정 시작점

약 19 ㎜

분해능 1)

< 1 ㎚

측정 속도

100 ㎐ ~ 6 까지 지속적으로 조정 가능

직선성 2)

< ±50 ㎚

온도 안정성

직선성: 기본 0.1 ㎚ / K (오프셋 변위 제외)

온도 보상, +15 ~ +35 ℃ 범위 내 안정성 < 10 ppm

광원

NIR-SLED, 파장대 840 ㎚

레이저 안전등급

DIN EN 60825-1 : 2015-07에 따른 Class 1 준수

광 스폿 직경 3)

10 ㎛

최대 기울기 각 4)

±2°

타겟 재질

글라스, 유광 표면

공급 전압

24 VDC ±15 %

소비 전력

약 10 W (24 V)

시그널 입력

싱크인, 트리거 인, 2 x 인코더 (A+, A-, B+, B-, 인덱스)

디지털 인터페이스

Ethernet / EtherCAT / RS422

출력

아날로그

4 ~ 20 ㎃ / 0 ~ 10 V (16 bit D/A 컨버터)

스위칭

Error1-Out, Error2-Out

디지털

싱크 아웃

연결

광학

E2000 소켓 (컨트롤러) 및 FC 소켓 (센서)을 통해 플러깅 가능한 광화이버;
기본 길이 3 / 5/ 10 m; 
그 외 길이는 당사에 문의; 곡률 반경: 정적 30 ㎜, 동적 40 ㎜

전기적

3핀 전원 단자 스트립; 인코더 연결 (15핀, HD 서브 소켓, 최대 케이블 길이 3 m, 외부 인코더 전원 포함한 30 m); RS422 연결 소켓 (9핀, Sub-D, 최대 케이블 길이 30 m);
3핀 출력 단자 스트립 (최대 케이블 길이 30 m); 11핀 I/O 터미널 스트립 (최대 케이블 길이 30 m); Ethernet (출력) / EtherCAT (입/출력)을 위한 RJ45 소켓 (최대 케이블 길이 100 m)

설치

센서

클램핑, 마운팅 어댑터 (액세서리부 참조)

컨트롤러

독립형, DIN 레일 마운팅

온도 범위

보관

-20 ~ +70 ℃

작동

센서: +5 ~ +70 ℃; 컨트롤러: +15 ~ +35 ℃

내충격성 (DIN-EN 60068-2-29)

15 g / XY 축으로 6 ㎳, 각 1000회 충격

내진동성 (DIN-EN 60068-2-6)

2 g / XY 축으로 20 ~ 500 ㎐, 각 10회 사이클

보호 등급 (DIN-EN60529)

IP40 (컨트롤러 및 센서)

진공

옵션형 UHV (케이블 및 센서)

재질

센서

스테인레스 스틸

컨트롤러

알루미늄 하우징, 패시브 쿨링

제어 및 디스플레이 요소

다기능 버튼: 조정 가능한 2개의 기능 및 10초 후 공장 설정으로 리셋; 셋업을 위한 웹 인터페이스: 선택 가능한 사전 설정, 자유롭게

선택 가능한 평균화, 데이터 감소, 설정 관리; 인텐시티, 범위, SLED, 파일럿 레이저, 상태 및 전원 확인을 위한 6개의 컬러 LED;

센서 얼라인먼트를 위해 스위칭 가능한 파일럿 레이저 (레이저 LED 635 ㎚, 레이저 class 1, 성능 < 0.2 ㎽)

모든 데이터는 주변 온도가 일정한 환경에서 측정한 것을 기반으로 함 (24 ±2 ℃)

1) 측정 속도 0.5 ㎑, 64개 값 이상의 이동 평균, 측정 범위 중간점에 위치한 글라스판에서 측정 (2 시그마) 측정 범위의 중간에 있는 유리판 전면에서 측정
2) ND 필터 전면에서 측정된 전체 측정 범위에 대한 기준 시스템으로부터 최대 편차
3) 측정 중간 지점
4) 광택 글라스에 사용 가능한 시그널을 생성하는 최대 센서 기울기 각도 (n = 1.5). 리미트 값에 근접할수록 정확도가 감소

제품 설명 및 특징

고정밀 거리 측정을위한 백색광 간섭계

  • 스텝 프로파일 등을 측정하기에 적합한 나노미터급의 절대적 측정
  • 넓은 오프셋 범위의 견고한 소형 센서
  • 고속 측정에 대응하는 최대 6 ㎑까지의 측정 주파수
  • Ethernet / EtherCAT / RS422
  • 견고한 수동식 냉각 컨트롤러
  • 웹인터페이스를 통한 손쉬운 설정 및 변경

나노미터급 분해능의 절대적 거리 측정

IMS5400-DS 백색광 간섭계는 산업용 거리 측정에 새로운 관점을 제시합니다. 본 컨트롤러는 지능형 평가 기능을 탑재하여 비교적 긴 오프셋 거리에서도 나노미터 정확도의 절대 측정이 가능합니다. 타 절대적 측정 방식의 광학 시스템과 비교했을 때 IMS5400-DS 는 타의 추종을 불허하는 정확도, 측정 범위, 오프셋 거리의 훌륭한 조합을 제공합니다.

극도의 미세한 디테일 및 구조까지 측정하기 위한 소형 광 스폿

센서는 전체 측정 범위에 걸쳐 작은 광 스폿을 계속해서 유지 및 제공합니다. 해당 스폿은 직경이 10 μm밖에 되지 않아 반도체 및 소형 전자부품과 같은 미세한 디테일을 감지할 수 있습니다.

첨단 자동화를 위한 다양한 인터페이스

Ethernet, EtherCAT, RS422과 같은 통합 인터페이스뿐만 아니라 인코더 연결, 아날로그 출력, 동기화 입력 및 디지털 입출력을 통해 최신 제어 시스템 및 생산 프로그램에 연결할 수 있습니다.

스텝 프로파일의 절대적 측정

기존 간섭계와 달리 IMS5400-DS는 스텝 프로파일 또한 측정할 수 있습니다. 절대적 측정을 통해 뛰어난 신호 안정성 및 정밀도로 대상을 스캐닝 하기 때문에, 이동 중인 대상체 측정 시 볼록부, 스텝부, 오목부의 높낮이 편차를 정확하게 감지합니다.

산업적 활용

IMS5400-DS는 센서가 견고하고 컨트롤러 하우징 재질이 메탈인 관계로 생산 라인에서 활용하기 매우 적합합니다. 센서의 크기가 작아 공간을 크게 절약할 뿐만 아니라 제한된 공간에도 설치가 가능합니다. 컨트롤러는 DIN 레일 마운팅을 통해 제어 캐비닛에 장착할 수 있으며 온도 보상 기능의 활성화와 수동식 냉각 기능을 이용하여 매우 안정적인 측정 결과를 제공합니다. 유연성이 뛰어난 광화이버 케이블은 최대 20 m까지 제공 가능하며 센서와 컨트롤러를 서로 공간 분리하여 설치할 수 있습니다. 더불어 기존 간섭계와 달리 초기 실행 및 파라미터 설정이 웹 인터페이스를 통해 이루어져 쉽고 사용자 친화적이며 별도의 소프트웨어 설치 역시 불필요합니다.

제품 사양

제품명

IMS5400-DS

측정 범위

2.1 ㎜

측정 시작점

약 19 ㎜

분해능 1)

< 1 ㎚

측정 속도

100 ㎐ ~ 6 까지 지속적으로 조정 가능

직선성 2)

< ±50 ㎚

온도 안정성

직선성: 기본 0.1 ㎚ / K (오프셋 변위 제외)

온도 보상, +15 ~ +35 ℃ 범위 내 안정성 < 10 ppm

광원

NIR-SLED, 파장대 840 ㎚

레이저 안전등급

DIN EN 60825-1 : 2015-07에 따른 Class 1 준수

광 스폿 직경 3)

10 ㎛

최대 기울기 각 4)

±2°

타겟 재질

글라스, 유광 표면

공급 전압

24 VDC ±15 %

소비 전력

약 10 W (24 V)

시그널 입력

싱크인, 트리거 인, 2 x 인코더 (A+, A-, B+, B-, 인덱스)

디지털 인터페이스

Ethernet / EtherCAT / RS422

출력

아날로그

4 ~ 20 ㎃ / 0 ~ 10 V (16 bit D/A 컨버터)

스위칭

Error1-Out, Error2-Out

디지털

싱크 아웃

연결

광학

E2000 소켓 (컨트롤러) 및 FC 소켓 (센서)을 통해 플러깅 가능한 광화이버;
기본 길이 3 / 5/ 10 m; 
그 외 길이는 당사에 문의; 곡률 반경: 정적 30 ㎜, 동적 40 ㎜

전기적

3핀 전원 단자 스트립; 인코더 연결 (15핀, HD 서브 소켓, 최대 케이블 길이 3 m, 외부 인코더 전원 포함한 30 m); RS422 연결 소켓 (9핀, Sub-D, 최대 케이블 길이 30 m);
3핀 출력 단자 스트립 (최대 케이블 길이 30 m); 11핀 I/O 터미널 스트립 (최대 케이블 길이 30 m); Ethernet (출력) / EtherCAT (입/출력)을 위한 RJ45 소켓 (최대 케이블 길이 100 m)

설치

센서

클램핑, 마운팅 어댑터 (액세서리부 참조)

컨트롤러

독립형, DIN 레일 마운팅

온도 범위

보관

-20 ~ +70 ℃

작동

센서: +5 ~ +70 ℃; 컨트롤러: +15 ~ +35 ℃

내충격성 (DIN-EN 60068-2-29)

15 g / XY 축으로 6 ㎳, 각 1000회 충격

내진동성 (DIN-EN 60068-2-6)

2 g / XY 축으로 20 ~ 500 ㎐, 각 10회 사이클

보호 등급 (DIN-EN60529)

IP40 (컨트롤러 및 센서)

진공

옵션형 UHV (케이블 및 센서)

재질

센서

스테인레스 스틸

컨트롤러

알루미늄 하우징, 패시브 쿨링

제어 및 디스플레이 요소

다기능 버튼: 조정 가능한 2개의 기능 및 10초 후 공장 설정으로 리셋; 셋업을 위한 웹 인터페이스: 선택 가능한 사전 설정, 자유롭게

선택 가능한 평균화, 데이터 감소, 설정 관리; 인텐시티, 범위, SLED, 파일럿 레이저, 상태 및 전원 확인을 위한 6개의 컬러 LED;

센서 얼라인먼트를 위해 스위칭 가능한 파일럿 레이저 (레이저 LED 635 ㎚, 레이저 class 1, 성능 < 0.2 ㎽)

모든 데이터는 주변 온도가 일정한 환경에서 측정한 것을 기반으로 함 (24 ±2 ℃)

1) 측정 속도 0.5 ㎑, 64개 값 이상의 이동 평균, 측정 범위 중간점에 위치한 글라스판에서 측정 (2 시그마) 측정 범위의 중간에 있는 유리판 전면에서 측정
2) ND 필터 전면에서 측정된 전체 측정 범위에 대한 기준 시스템으로부터 최대 편차
3) 측정 중간 지점
4) 광택 글라스에 사용 가능한 시그널을 생성하는 최대 센서 기울기 각도 (n = 1.5). 리미트 값에 근접할수록 정확도가 감소

외형 치수