피코세컨드 분해능과 10 MHz의 측정 속도의 제공
3채널 지원 가능한 분광간섭변위센서

산업 계측 응용 분야에서 가장 중요한 업무들은 거리 및 이동의 비접촉식 측정, 기계 부품 및 장비의 진동폭 탐지, 그리고 회전적 대칭 부품의 초정밀 측량입니다. 적용 분야는 초정밀 기계 작업에서 반도체 기술에 이르기까지 매우 광범위 합니다. 정확성, 유연성, 그리고 상호 연결성이라는 요건은 그 중요성이 점점 커지고 있습니다. 또한 더욱 세밀한 솔루션을 요구하는 목소리도 높아지고 있습니다. 이러한 솔루션들은 가장 높은 정확도, 속도 및 안정성과 결합하여 제시되어야 합니다. 이와 동시에 전세계 어디에서나 접근할 수 있는 원거리 사용방법 및 소프트웨어 체제 유지 역시 필요합니다. Attocube의 IDS3010 센서는 까다로운 OEM 및 싱크로트론(Synchrotron) 적용 분야에 맞추어 설계되었으며, 정확성 및 산업 4.0 연결성이라는 두 가지 요건을 만족합니다.

정확성 산업 4.0과 호환 가능
IDS에 탑재된 DFB 레이저 주파수는 분자
흡수 주파수를 기준에 고정되어 있으며,
국제 길이 표준에 맞춰 변위를 측정합니다. 따라서 모든 측정 결과는 도량학적 관점에서 매우 정확합니다.
모든 IDS 센서는 내장된 웹 서버를 갖추고 있어서 소비자들이 전세계 어디에서나 원격으로도 IDS 장치를 설정, 수신 및 펌웨어업그레이드를 할 수 있게 해 줍니다.
매우 빠름 최대 5m에 달하는 다축 측정
모든 IDS 센서는 대역폭이 10MHz이며
1pm 분해능으로 목표물의 위치를 측정합
니다. 또한 센서는 최대 2m/s인 이동 속도와 호환됩니다.
IDS는 동시에 작동하는 세 가지 측정 축을 제공합니다. 이 기능으로 세 방향에서 목표물의 이동을 추적할 수 있으며, 그 범위는 최대 5m까지 가능합니다.
장비와 통합 가능 환경 보상 기능
컴팩트한 크기(50mm x 55mm x 195mm)와 패시브 방식의 냉각 하우징을 갖춘 IDS 센서는 밀링머신, 위치 측정 장비, 반도체 장비에 직접적으로 적용할 수 있습니다. 어댑터 플레이트를 사용하여 전자 제어 캐비닛에 설치가 가능합니다. IDS 센서에는 추가적으로 환경 보상 장치
(ECU)가 선택 제공될 수 있습니다. ECU는 IDS 센서가 ± 1 ppm 이상의 정확도를 유지하면서도 다양한 압력이나 온도, 습도에서도 작동할 수 있게 해 줍니다.
산업형 인터페이스 VIS 얼라인먼트 레이저
IDS 센서는 다양한 인터페이스와 호환이
가능합니다. 기본 인터페이스로 IDS 센서는 실시간 디지털(HSSL, AquadB)과 아날로그(sin / cos) 위치 데이터를 제공합니다. IDS 장치는 CANopen, Profibus, Profibus RT 같은 필드 버스(field buss)의 인터페이스에 적용될 수 있습니다.
모든 IDS 센서에는 얼라인용 가시 레이저
가 내장되어 있습니다. 얼라인용 레이저는 소프트웨어로 동작이 가능하며, 센서 설치시 적용할 수 있어, 설치 시간을 크게 줄여줍니다. 얼라인먼트 소프트웨어는 절차를 더욱 간단하게 해줍니다.
통합된 변위 측정 / OEM 변위 측정
고정밀 변위센서인 IDS3010은 정확성이나 속도, 크기 및 비용의 모든 측면에서 기타 상업용 간섭 측정 시스템을 압도합니다. 작은 크기로 IDS는 프리빔 작업용 장비 내 적용할 수 있으며, 까다로운 OEM 및 싱크로트론 어플리케이션에 적용할 수 있습니다. 패시브 냉각 하우징은 광학 부품과 전자 부품의 오염을 예방합니다. 더더욱 제한된 공간에서의 어플리케이션 경우, 센서 헤드를 원격 조정할 수 있으며 글라스 화이버를 통해 상호 연결됩니다. 내장 웹서버를 통해 센서가 배치 및 가동되며, 원격으로도 언제든 조절할 수 있습니다. 디지털 및 아날로그 실시간 인터페이스와 프로토콜의 스펙트럼 역시 광범위하며, 이를 통해 CNC 컨트롤러나 RTOS 컴퓨터와 같은 수용기에 위치 데이터를 간단하게 전송할 수 있습니다. CANopen, Profinet, Profinet RT 같은 가장 통상 산업용 네트워크를 통해 더욱 광범위한 산업 네트워크에 통합될 수도 있습니다.
좌표 측정 실시간 진동 탐지 반도체 기술
싱크로톤 어플리케이션 드라이브 기술 초정밀 기계 작업

IDS3010

축 갯수

3

검출 범위

0 ~ 5000mm

센서 분해능

1pm

센서 반복 정도

2nm※1

최대 타깃 속도

2m/s

측정 대역폭

10MHz

동작 모드

측정 모드

변위, 진동동

출력 신호: 변위 측정

레이저 광(IR)

출력 신호: 파일럿 레이저

센서 얼라인먼트

레이저 광(VIS)

웹 인터페이스

인터페이스

아날로그 인터페이스

sin / cos (리얼 타임)

디지털 인터페이스

HSSL, AquadB (리얼 타임)

필드 버스 인터페이스(옵션)

EtherCAT, CANopen, Profibus , Profibus RT

인터페이스 대역폭 sin / cos

최대 25MHz

인터페이스 대역폭 AquadB

최대 25MHz

인터페이스 대역폭 HSSL

최대 25MHz

인터페이스 대역폭 필드 버스 시스템

100kHz

컨트롤러 하드웨어

치수

50 x 55 x 195㎣

전원

12V DC

레이저 소스

DFB laser

레이저 파워

150μW

레이저 파장

1530nm

파장 안정성

50ppb

※1 진공 상태에서 10mm의 작업 거리 확보 / ECU를 활용한 주변 환경에서 + / -1ppm 유지

센서헤드

제품명

D12/F2.8

D1.2/F7

D4/F8

D4/F13

M12/C1.6

M15.5/C1.6/FLEX

M12/C7.6

작동 모드

광학 타입

포커싱

평행 방향

외형 치수

Ø12㎜,

길이 32.3㎜

Ø1.2㎜,

길이 7.5㎜

Ø4㎜, 길이 11.5㎜

Ø14㎜,

길이 17.4㎜

Ø22㎜,

길이 20.6㎜

Ø14㎜,

길이 49.2㎜

마운팅

고정

metric M12 x 0.5

metric

M15.5 x 0.5

metric M12 x 0.5

스폿 사이즈

2㎛ @ 2.8㎜

70㎛ @ 7㎜

70㎛ @ 8㎜

70㎛ @ 13㎜

1.6㎜

7.6㎜

초점 거리

2.8㎜

7㎜

8㎜

13㎜

무한

커넥터

FC/PC

없음 (화이버 접착)

FC/PC

주변 환경

/RT, /LT/HV,

/UHV, /RAD

/RT

/RT, /LT/HV,

/UHV, /RAD

/RT, /LT/HV, /UHV, /RAD

호환가능한 타겟

유리, 실리콘 웨이퍼, 거울

유리 및 거울

역반사 장치

어플리케이션

진동 계측기,

프로필로메트리

다양한 어플리케이션 대응

장거리

측정 사양

측정 모드

(대상 : 유리)

싱글 패스 모드

직선 측정 범위

(대상 : 유리)

2.8㎜

5 ~ 9㎜

6 ~ 10㎜

11 ~ 5㎜

최대 5000㎜*

정렬 공차

(대상 : 유리)

± 0.20°

± 0.35°

± 0.03°

측정 모드

(대상 : 거울)

싱글 패스 모드

듀얼 패스 모드

직선 측정 범위

(대상 : 거울)

30 ~ 45㎜

15 ~ 30㎜

30 ~ 45㎜

100㎜

정렬 공차

(대상 : 거울)

± 0.20°

± 0.35°

± 0.5°@ 50㎜

± 1°@ 30㎜

측정 모드

(대상 : 역반사 장치)

싱글 패스 모드

직선 측정 범위

(대상 : 역반사 장치)

최대 5000㎜

정렬 공차

(대상 : 역반사 장치)

± 2°

± 20°

측면 정렬 공차

(대상 : 역반사 장치)

± 2㎜

제품 설명 및 특징
피코세컨드 분해능과 10 MHz의 측정 속도의 제공
3채널 지원 가능한 분광간섭변위센서

산업 계측 응용 분야에서 가장 중요한 업무들은 거리 및 이동의 비접촉식 측정, 기계 부품 및 장비의 진동폭 탐지, 그리고 회전적 대칭 부품의 초정밀 측량입니다. 적용 분야는 초정밀 기계 작업에서 반도체 기술에 이르기까지 매우 광범위 합니다. 정확성, 유연성, 그리고 상호 연결성이라는 요건은 그 중요성이 점점 커지고 있습니다. 또한 더욱 세밀한 솔루션을 요구하는 목소리도 높아지고 있습니다. 이러한 솔루션들은 가장 높은 정확도, 속도 및 안정성과 결합하여 제시되어야 합니다. 이와 동시에 전세계 어디에서나 접근할 수 있는 원거리 사용방법 및 소프트웨어 체제 유지 역시 필요합니다. Attocube의 IDS3010 센서는 까다로운 OEM 및 싱크로트론(Synchrotron) 적용 분야에 맞추어 설계되었으며, 정확성 및 산업 4.0 연결성이라는 두 가지 요건을 만족합니다.

정확성 산업 4.0과 호환 가능
IDS에 탑재된 DFB 레이저 주파수는 분자
흡수 주파수를 기준에 고정되어 있으며,
국제 길이 표준에 맞춰 변위를 측정합니다. 따라서 모든 측정 결과는 도량학적 관점에서 매우 정확합니다.
모든 IDS 센서는 내장된 웹 서버를 갖추고 있어서 소비자들이 전세계 어디에서나 원격으로도 IDS 장치를 설정, 수신 및 펌웨어업그레이드를 할 수 있게 해 줍니다.
매우 빠름 최대 5m에 달하는 다축 측정
모든 IDS 센서는 대역폭이 10MHz이며
1pm 분해능으로 목표물의 위치를 측정합
니다. 또한 센서는 최대 2m/s인 이동 속도와 호환됩니다.
IDS는 동시에 작동하는 세 가지 측정 축을 제공합니다. 이 기능으로 세 방향에서 목표물의 이동을 추적할 수 있으며, 그 범위는 최대 5m까지 가능합니다.
장비와 통합 가능 환경 보상 기능
컴팩트한 크기(50mm x 55mm x 195mm)와 패시브 방식의 냉각 하우징을 갖춘 IDS 센서는 밀링머신, 위치 측정 장비, 반도체 장비에 직접적으로 적용할 수 있습니다. 어댑터 플레이트를 사용하여 전자 제어 캐비닛에 설치가 가능합니다. IDS 센서에는 추가적으로 환경 보상 장치
(ECU)가 선택 제공될 수 있습니다. ECU는 IDS 센서가 ± 1 ppm 이상의 정확도를 유지하면서도 다양한 압력이나 온도, 습도에서도 작동할 수 있게 해 줍니다.
산업형 인터페이스 VIS 얼라인먼트 레이저
IDS 센서는 다양한 인터페이스와 호환이
가능합니다. 기본 인터페이스로 IDS 센서는 실시간 디지털(HSSL, AquadB)과 아날로그(sin / cos) 위치 데이터를 제공합니다. IDS 장치는 CANopen, Profibus, Profibus RT 같은 필드 버스(field buss)의 인터페이스에 적용될 수 있습니다.
모든 IDS 센서에는 얼라인용 가시 레이저
가 내장되어 있습니다. 얼라인용 레이저는 소프트웨어로 동작이 가능하며, 센서 설치시 적용할 수 있어, 설치 시간을 크게 줄여줍니다. 얼라인먼트 소프트웨어는 절차를 더욱 간단하게 해줍니다.
통합된 변위 측정 / OEM 변위 측정
고정밀 변위센서인 IDS3010은 정확성이나 속도, 크기 및 비용의 모든 측면에서 기타 상업용 간섭 측정 시스템을 압도합니다. 작은 크기로 IDS는 프리빔 작업용 장비 내 적용할 수 있으며, 까다로운 OEM 및 싱크로트론 어플리케이션에 적용할 수 있습니다. 패시브 냉각 하우징은 광학 부품과 전자 부품의 오염을 예방합니다. 더더욱 제한된 공간에서의 어플리케이션 경우, 센서 헤드를 원격 조정할 수 있으며 글라스 화이버를 통해 상호 연결됩니다. 내장 웹서버를 통해 센서가 배치 및 가동되며, 원격으로도 언제든 조절할 수 있습니다. 디지털 및 아날로그 실시간 인터페이스와 프로토콜의 스펙트럼 역시 광범위하며, 이를 통해 CNC 컨트롤러나 RTOS 컴퓨터와 같은 수용기에 위치 데이터를 간단하게 전송할 수 있습니다. CANopen, Profinet, Profinet RT 같은 가장 통상 산업용 네트워크를 통해 더욱 광범위한 산업 네트워크에 통합될 수도 있습니다.
적용분야/사례
좌표 측정 실시간 진동 탐지 반도체 기술
싱크로톤 어플리케이션 드라이브 기술 초정밀 기계 작업
사양

IDS3010

축 갯수

3

검출 범위

0 ~ 5000mm

센서 분해능

1pm

센서 반복 정도

2nm※1

최대 타깃 속도

2m/s

측정 대역폭

10MHz

동작 모드

측정 모드

변위, 진동동

출력 신호: 변위 측정

레이저 광(IR)

출력 신호: 파일럿 레이저

센서 얼라인먼트

레이저 광(VIS)

웹 인터페이스

인터페이스

아날로그 인터페이스

sin / cos (리얼 타임)

디지털 인터페이스

HSSL, AquadB (리얼 타임)

필드 버스 인터페이스(옵션)

EtherCAT, CANopen, Profibus , Profibus RT

인터페이스 대역폭 sin / cos

최대 25MHz

인터페이스 대역폭 AquadB

최대 25MHz

인터페이스 대역폭 HSSL

최대 25MHz

인터페이스 대역폭 필드 버스 시스템

100kHz

컨트롤러 하드웨어

치수

50 x 55 x 195㎣

전원

12V DC

레이저 소스

DFB laser

레이저 파워

150μW

레이저 파장

1530nm

파장 안정성

50ppb

※1 진공 상태에서 10mm의 작업 거리 확보 / ECU를 활용한 주변 환경에서 + / -1ppm 유지

센서 헤드 사양

센서헤드

제품명

D12/F2.8

D1.2/F7

D4/F8

D4/F13

M12/C1.6

M15.5/C1.6/FLEX

M12/C7.6

작동 모드

광학 타입

포커싱

평행 방향

외형 치수

Ø12㎜,

길이 32.3㎜

Ø1.2㎜,

길이 7.5㎜

Ø4㎜, 길이 11.5㎜

Ø14㎜,

길이 17.4㎜

Ø22㎜,

길이 20.6㎜

Ø14㎜,

길이 49.2㎜

마운팅

고정

metric M12 x 0.5

metric

M15.5 x 0.5

metric M12 x 0.5

스폿 사이즈

2㎛ @ 2.8㎜

70㎛ @ 7㎜

70㎛ @ 8㎜

70㎛ @ 13㎜

1.6㎜

7.6㎜

초점 거리

2.8㎜

7㎜

8㎜

13㎜

무한

커넥터

FC/PC

없음 (화이버 접착)

FC/PC

주변 환경

/RT, /LT/HV,

/UHV, /RAD

/RT

/RT, /LT/HV,

/UHV, /RAD

/RT, /LT/HV, /UHV, /RAD

호환가능한 타겟

유리, 실리콘 웨이퍼, 거울

유리 및 거울

역반사 장치

어플리케이션

진동 계측기,

프로필로메트리

다양한 어플리케이션 대응

장거리

측정 사양

측정 모드

(대상 : 유리)

싱글 패스 모드

직선 측정 범위

(대상 : 유리)

2.8㎜

5 ~ 9㎜

6 ~ 10㎜

11 ~ 5㎜

최대 5000㎜*

정렬 공차

(대상 : 유리)

± 0.20°

± 0.35°

± 0.03°

측정 모드

(대상 : 거울)

싱글 패스 모드

듀얼 패스 모드

직선 측정 범위

(대상 : 거울)

30 ~ 45㎜

15 ~ 30㎜

30 ~ 45㎜

100㎜

정렬 공차

(대상 : 거울)

± 0.20°

± 0.35°

± 0.5°@ 50㎜

± 1°@ 30㎜

측정 모드

(대상 : 역반사 장치)

싱글 패스 모드

직선 측정 범위

(대상 : 역반사 장치)

최대 5000㎜

정렬 공차

(대상 : 역반사 장치)

± 2°

± 20°

측면 정렬 공차

(대상 : 역반사 장치)

± 2㎜

IDS3010