• 수평·수직 방향 선택 가능
  • 투명체 단일 방향 두께 측정
  • 거리 측정
  • 소형 스폿 사이즈
  • 서브마이크로미터 분해능
  • 진공 어플리케이션에 적용 가능

 

 

IFS2406시리즈는 컴팩트 설계 및 고도의 정확성을 자랑하는 제품입니다. 수평 또는 수직 방향 선택이 가능한 이 센서는 진공 내 사용이 가능하며 수 있는 분야도 다양합니다. 이 센서는 투명 표면 및 반사성 표면의 거리를 측정할 수 있을 뿐 아니라 투명한 필름, 판, 또는 레이어의 단면 측정 작업에도 사용할 수 있습니다.

 

 

센서 모델

IFS 2406-2.5/VAC

IFS 2406/90-2.5/VAC(001)

측정 범위

2.5mm

2.5mm

측정 시작점 (약)

17.3mm

보호 유리 프레임에서 측정

12.6mm

센서 축으로부터 측정

스폿 사이즈

10μm

10μm

직선성 (변위 측정)

0.75μm

0.75μm

±0.03%FSO

직선성 (두께 측정)

1.5㎛

1.5㎛

±0.06%FSO

분해능 ※1

24nm

24nm

무게

105g

130g

최대 기울기 ※2

±16°

±16°

보호 등급

IP 40, 진공 호환

동작 온도

+5℃ ~ +70℃

보관 온도

-20℃ ~ +70℃

센서 케이블
(광섬유 케이블)

기본 케이블 3m, 옵션 최대 50m / 곡률 반경 고정(static) 30mm, 곡률 반경 다이나믹(dynamic) 40mm

내충격성

15g, 6ms

내진성

2g / 10Hz ~ 500Hz

별도의 명시가 없는 경우, 위 사양은 주변 온도 25±5℃, 26μm C2401-X 광 케이블를 기준으로 측정되었습니다. 조건이 변화할 경우 결과 값이 변할 수 있습니다.

FSO=Full Scale Output

※1 1kHz에서 평균 512, 측정 범위의 중앙에서 측정

※2 가용 신호를 출력하는 최대 센서 경사각, 측정 범위의 중앙에서 측정

제품 설명 및 특징
 

  • 수평·수직 방향 선택 가능
  • 투명체 단일 방향 두께 측정
  • 거리 측정
  • 소형 스폿 사이즈
  • 서브마이크로미터 분해능
  • 진공 어플리케이션에 적용 가능

 

 

IFS2406시리즈는 컴팩트 설계 및 고도의 정확성을 자랑하는 제품입니다. 수평 또는 수직 방향 선택이 가능한 이 센서는 진공 내 사용이 가능하며 수 있는 분야도 다양합니다. 이 센서는 투명 표면 및 반사성 표면의 거리를 측정할 수 있을 뿐 아니라 투명한 필름, 판, 또는 레이어의 단면 측정 작업에도 사용할 수 있습니다.

 

 

사양

센서 모델

IFS 2406-2.5/VAC

IFS 2406/90-2.5/VAC(001)

측정 범위

2.5mm

2.5mm

측정 시작점 (약)

17.3mm

보호 유리 프레임에서 측정

12.6mm

센서 축으로부터 측정

스폿 사이즈

10μm

10μm

직선성 (변위 측정)

0.75μm

0.75μm

±0.03%FSO

직선성 (두께 측정)

1.5㎛

1.5㎛

±0.06%FSO

분해능 ※1

24nm

24nm

무게

105g

130g

최대 기울기 ※2

±16°

±16°

보호 등급

IP 40, 진공 호환

동작 온도

+5℃ ~ +70℃

보관 온도

-20℃ ~ +70℃

센서 케이블
(광섬유 케이블)

기본 케이블 3m, 옵션 최대 50m / 곡률 반경 고정(static) 30mm, 곡률 반경 다이나믹(dynamic) 40mm

내충격성

15g, 6ms

내진성

2g / 10Hz ~ 500Hz

별도의 명시가 없는 경우, 위 사양은 주변 온도 25±5℃, 26μm C2401-X 광 케이블를 기준으로 측정되었습니다. 조건이 변화할 경우 결과 값이 변할 수 있습니다.

FSO=Full Scale Output

※1 1kHz에서 평균 512, 측정 범위의 중앙에서 측정

※2 가용 신호를 출력하는 최대 센서 경사각, 측정 범위의 중앙에서 측정

외형치수