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고정밀 변위 및 두께 측정 센서
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| 혁신적 기술의 초소형 공초점변위센서
IFS2407-0.1은 변위 및 두께 측정에 있어 그 활용 범위를 넓혀주는 혁신적인 기술을 근간에 둔 초소형 공초점변위센서입니다. 본 센서는 100 ㎛의 측정 범위를 제공하며 해당 범위 내에서 3 ㎚의 고해상도를 제공할 수 있는 특징이 있어 두께가 5 ㎛에 불과한 글라스 또는 플라스틱 필름과 같은 투명 레이어를 고정밀하고 신뢰성 있게 측정할 수 있습니다. 스폿 직경이 3 ㎛에 불과한 해당 센서는 초미세 구조를 감지하거나 거칠기를 측정하는 등의 과정에 사용할 수 있습니다. 예를 들어, 센서는 매끄럽게 연마된 브레이크 디스크와 같이 미세하게 연마된 표면을 검사하기도 합니다. |
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센서 모델 |
IFS2407-0.1 |
IFS2407-0.1(001) |
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측정 범위 |
0.1 ㎜ |
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측정 시작점 |
근사치 |
1 ㎜ |
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분해능 |
정적 1) |
3 ㎚ |
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동적 2) |
6 ㎚ |
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직선성 3) |
변위 및 거리 |
＜ ± 0.05 ㎛ |
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두께 |
＜ ± 0.1 ㎛ |
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스폿 직경 |
3 ㎛ |
4 ㎛ |
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최대 기울기 각 4) |
± 48° |
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개구각 (NA) |
0.80 |
0.70 |
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최소 타겟 두께 5) |
0.005 ㎜ |
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연결 |
FC 소켓을 통한 광화이버 연결 가능, 기본 길이 3 m; 최대 50 m 연장 가능; 곡률 반경: 정적 30 ㎜, 동적 40 ㎜ |
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설치 |
클램핑, 마운팅 어댑터 (액세서리부 참고) |
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온도 범위 |
보관 |
-20 ~ +70 ℃ |
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작동 |
+5 ~ +70 ℃ |
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내충격성 (DIN-EN 60068-2-29) |
15 g / XY축으로 6 ㎳, 각 1,000번의 충격 |
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내진동성 (DIN-EN 60068-2-6) |
2 g / XY축에서 20 ~ 500 ㎐, 각 10번의 사이클 |
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보호 등급 (DIN-EN 60529) |
IP65 (전면부) |
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재질 |
스테인레스스틸 하우징, 글라스 렌즈 |
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중량 |
약 36 g |
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|
특징 |
높은 개구각 (NA)의 센서 |
라이트 인텐시티가 강한 센서 |
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센서 모델 |
IFS2407/90-0,3 |
IFS2407-3 |
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측정 범위 |
0.3 ㎜ |
3 ㎜ |
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측정 시작점 |
근사치 |
5.3 ㎜ |
28 ㎜ |
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분해능 |
정적 1) |
10 ㎚ |
20 ㎚ |
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|
동적 2) |
20 ㎚ |
58 ㎚ |
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직선성 3) |
변위 및 거리 |
＜ ± 0.15 ㎛ |
＜ ± 0.75 ㎛ |
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두께 |
＜ ± 0.3 ㎛ |
＜ ± 1.5 ㎛ |
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스폿 직경 |
6 ㎛ |
9 ㎛ |
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최대 기울기 각 4) |
± 27° |
± 30° |
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개구각 (NA) |
0.50 |
0.53 |
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최소 타겟 두께 5) |
0.015 ㎜ |
0.15 ㎜ |
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연결 |
FC 소켓을 통한 광화이버 연결 가능, C2407-x; 기본 길이 3 m; 최대 50 m 연장 가능; 곡률 반경: 정적 30 ㎜, 동적 40 ㎜ |
FC 소켓을 통한 광화이버 연결 가능,기본 길이 3 m; 최대 50 m 연장 가능; 곡률 반경: 정적 30 ㎜, 동적 40 ㎜ |
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설치 |
마운팅 홀 (2x M2) |
클램핑, 마운팅 어댑터 (액세서리부 참고) |
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온도 범위 |
보관 |
-20 ~ +70 ℃ |
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작동 |
+5 ~ +70 ℃ |
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내충격성 (DIN-EN 60068-2-29) |
15 g / XY축으로 6 ㎳, 각 1,000번의 충격 |
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내진동성 (DIN-EN 60068-2-6) |
2 g / XY축에서 20 ~ 500 ㎐, 각 10번의 사이클 |
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보호 등급 (DIN-EN 60529) |
IP65 (전면부) |
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재질 |
스테인레스스틸 하우징, 글라스 렌즈 |
알루미늄 하우징, 글라스 렌즈 |
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중량 |
약 30 g |
약 550 g |
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1) 1 ㎑로 측정했을 때의 512개 값의 평균치, 광학 평면의 중간 범위에 근사 |
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- 제품 설명 및 특징
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고정밀 변위 및 두께 측정 센서
- ø12 ㎜의 센서 직경
- 서브마이크로미터 분해능
- 단면 두께 측정
- 거리 측정
- 극소형 스폿 사이즈
- 큰 기울기 각도
혁신적 기술의 초소형 공초점변위센서 IFS2407-0.1은 변위 및 두께 측정에 있어 그 활용 범위를 넓혀주는 혁신적인 기술을 근간에 둔 초소형 공초점변위센서입니다. 본 센서는 100 ㎛의 측정 범위를 제공하며 해당 범위 내에서 3 ㎚의 고해상도를 제공할 수 있는 특징이 있어 두께가 5 ㎛에 불과한 글라스 또는 플라스틱 필름과 같은 투명 레이어를 고정밀하고 신뢰성 있게 측정할 수 있습니다.
스폿 직경이 3 ㎛에 불과한 해당 센서는 초미세 구조를 감지하거나 거칠기를 측정하는 등의 과정에 사용할 수 있습니다. 예를 들어, 센서는 매끄럽게 연마된 브레이크 디스크와 같이 미세하게 연마된 표면을 검사하기도 합니다.
- ø12 ㎜의 센서 직경
- 사양
-
센서 모델
IFS2407-0.1
IFS2407-0.1(001)
측정 범위
0.1 ㎜
측정 시작점
근사치
1 ㎜
분해능
정적 1)
3 ㎚
동적 2)
6 ㎚
직선성 3)
변위 및 거리
＜ ± 0.05 ㎛
두께
＜ ± 0.1 ㎛
스폿 직경
3 ㎛
4 ㎛
최대 기울기 각 4)
± 48°
개구각 (NA)
0.80
0.70
최소 타겟 두께 5)
0.005 ㎜
연결
FC 소켓을 통한 광화이버 연결 가능, 기본 길이 3 m; 최대 50 m 연장 가능; 곡률 반경: 정적 30 ㎜, 동적 40 ㎜
설치
클램핑, 마운팅 어댑터 (액세서리부 참고)
온도 범위
보관
-20 ~ +70 ℃
작동
+5 ~ +70 ℃
내충격성 (DIN-EN 60068-2-29)
15 g / XY축으로 6 ㎳, 각 1,000번의 충격
내진동성 (DIN-EN 60068-2-6)
2 g / XY축에서 20 ~ 500 ㎐, 각 10번의 사이클
보호 등급 (DIN-EN 60529)
IP65 (전면부)
재질
스테인레스스틸 하우징, 글라스 렌즈
중량
약 36 g
특징
높은 개구각 (NA)의 센서
라이트 인텐시티가 강한 센서
센서 모델
IFS2407/90-0,3
IFS2407-3
측정 범위
0.3 ㎜
3 ㎜
측정 시작점
근사치
5.3 ㎜
28 ㎜
분해능
정적 1)
10 ㎚
20 ㎚
동적 2)
20 ㎚
58 ㎚
직선성 3)
변위 및 거리
＜ ± 0.15 ㎛
＜ ± 0.75 ㎛
두께
＜ ± 0.3 ㎛
＜ ± 1.5 ㎛
스폿 직경
6 ㎛
9 ㎛
최대 기울기 각 4)
± 27°
± 30°
개구각 (NA)
0.50
0.53
최소 타겟 두께 5)
0.015 ㎜
0.15 ㎜
연결
FC 소켓을 통한 광화이버 연결 가능, C2407-x; 기본 길이 3 m; 최대 50 m 연장 가능; 곡률 반경: 정적 30 ㎜, 동적 40 ㎜
FC 소켓을 통한 광화이버 연결 가능,기본 길이 3 m; 최대 50 m 연장 가능; 곡률 반경: 정적 30 ㎜, 동적 40 ㎜
설치
마운팅 홀 (2x M2)
클램핑, 마운팅 어댑터 (액세서리부 참고)
온도 범위
보관
-20 ~ +70 ℃
작동
+5 ~ +70 ℃
내충격성 (DIN-EN 60068-2-29)
15 g / XY축으로 6 ㎳, 각 1,000번의 충격
내진동성 (DIN-EN 60068-2-6)
2 g / XY축에서 20 ~ 500 ㎐, 각 10번의 사이클
보호 등급 (DIN-EN 60529)
IP65 (전면부)
재질
스테인레스스틸 하우징, 글라스 렌즈
알루미늄 하우징, 글라스 렌즈
중량
약 30 g
약 550 g
1) 1 ㎑로 측정했을 때의 512개 값의 평균치, 광학 평면의 중간 범위에 근사
2) RMS 노이즈는 측정 범위의 중간 지점 (1㎑)과 관련 있습니다.
3) 광학적 평면을 대상으로 주변 온도 (25±1 ℃)가 일정하게 유지되는 환경에서 측정한 데이터; 측정 대상체가 다를 경우 사양은 변경될 수 있음
4) 반사 표면에서도 사용 가능한 신호를 생성하는 센서의 최대 기울기 각도. 리미트 값에 가까울 수록 정확도는 하락
5) 전체 측정 범위 중 굴절률=1.5인 글라스 시트의 값. 측정 범위 중간 지점에서는 더 얇은 레이어 측정 가능 - 외형치수
