고정밀 변위 및 두께 측정 센서

  • ø12 ㎜의 센서 직경
  • 서브마이크로미터 분해능
  • 단면 두께 측정
  • 거리 측정
  • 극소형 스폿 사이즈
  • 큰 기울기 각도
혁신적 기술의 초소형 공초점변위센서

IFS2407-0.1은 변위 및 두께 측정에 있어 그 활용 범위를 넓혀주는 혁신적인 기술을 근간에 둔 초소형 공초점변위센서입니다. 본 센서는 100 ㎛의 측정 범위를 제공하며 해당 범위 내에서 3 ㎚의 고해상도를 제공할 수 있는 특징이 있어 두께가 5 ㎛에 불과한 글라스 또는 플라스틱 필름과 같은 투명 레이어를 고정밀하고 신뢰성 있게 측정할 수 있습니다.

스폿 직경이 3 ㎛에 불과한 해당 센서는 초미세 구조를 감지하거나 거칠기를 측정하는 등의 과정에 사용할 수 있습니다. 예를 들어, 센서는 매끄럽게 연마된 브레이크 디스크와 같이 미세하게 연마된 표면을 검사하기도 합니다.

센서 모델

IFS2407-0.1

IFS2407-0.1(001)

측정 범위

0.1 ㎜

측정 시작점

근사치

1 ㎜

분해능

정적 1)

3 ㎚

동적 2)

6 ㎚

직선성 3)

변위 및 거리

< ± 0.05 ㎛

두께

< ± 0.1 ㎛

스폿 직경

3 ㎛

4 ㎛

최대 기울기 4)

± 48°

개구각 (NA)

0.80

0.70

최소 타겟 두께 5)

0.005 ㎜

연결

FC 소켓을 통한 광화이버 연결 가능, 기본 길이 3 m; 최대 50 m 연장 가능; 곡률 반경: 정적 30 ㎜, 동적 40 ㎜

설치

클램핑, 마운팅 어댑터 (액세서리부 참고)

온도 범위

보관

-20 ~ +70 ℃

작동

+5 ~ +70 ℃

내충격성 (DIN-EN 60068-2-29)

15 g / XY축으로 6 ㎳, 각 1,000번의 충격

내진동성 (DIN-EN 60068-2-6)

2 g / XY축에서 20 ~ 500 ㎐, 각 10번의 사이클

보호 등급 (DIN-EN 60529)

IP65 (전면부)

재질

스테인레스스틸 하우징, 글라스 렌즈

중량

36 g

특징

높은 개구각 (NA)의 센서

라이트 인텐시티가 강한 센서

센서 모델

IFS2407/90-0,3

IFS2407-3

측정 범위

0.3 ㎜

3 ㎜

측정 시작점

근사치

5.3 ㎜

28 ㎜

분해능

정적 1)

10 ㎚

20 ㎚

동적 2)

20 ㎚

58 ㎚

직선성 3)

변위 및 거리

< ± 0.15 ㎛

< ± 0.75 ㎛

두께

< ± 0.3 ㎛

< ± 1.5 ㎛

스폿 직경

6 ㎛

9 ㎛

최대 기울기 4)

± 27°

± 30°

개구각 (NA)

0.50

0.53

최소 타겟 두께 5)

0.015 ㎜

0.15 ㎜

연결

FC 소켓을 통한 광화이버 연결 가능, C2407-x; 기본 길이 3 m; 최대 50 m 연장 가능; 곡률 반경: 정적 30 ㎜, 동적 40 ㎜

FC 소켓을 통한 광화이버 연결 가능,기본 길이 3 m; 최대 50 m 연장 가능; 곡률 반경: 정적 30 ㎜, 동적 40 ㎜

설치

마운팅 홀 (2x M2)

클램핑, 마운팅 어댑터 (액세서리부 참고)

온도 범위

보관

-20 ~ +70 ℃

작동

+5 ~ +70 ℃

내충격성 (DIN-EN 60068-2-29)

15 g / XY축으로 6 ㎳, 각 1,000번의 충격

내진동성 (DIN-EN 60068-2-6)

2 g / XY축에서 20 ~ 500 ㎐, 각 10번의 사이클

보호 등급 (DIN-EN 60529)

IP65 (전면부)

재질

스테인레스스틸 하우징, 글라스 렌즈

알루미늄 하우징, 글라스 렌즈

중량

약 30 g

약 550 g

1) 1 로 측정했을 때의 512개 값의 평균치, 광학 평면의 중간 범위에 근사
2) RMS 노이즈는 측정 범위의 중간 지점 (1)과 관련 있습니다.
3) 광학적 평면을 대상으로 주변 온도 (25±1 ℃)가 일정하게 유지되는 환경에서 측정한 데이터; 측정 대상체가 다를 경우 사양은 변경될 수 있음
4) 반사 표면에서도 사용 가능한 신호를 생성하는 센서의 최대 기울기 각도. 리미트 값에 가까울 수록 정확도는 하락
5) 전체 측정 범위 중 굴절률=1.5인 글라스 시트의 값. 측정 범위 중간 지점에서는 더 얇은 레이어 측정 가능

제품 설명 및 특징

고정밀 변위 및 두께 측정 센서

  • ø12 ㎜의 센서 직경
  • 서브마이크로미터 분해능
  • 단면 두께 측정
  • 거리 측정
  • 극소형 스폿 사이즈
  • 큰 기울기 각도
혁신적 기술의 초소형 공초점변위센서

IFS2407-0.1은 변위 및 두께 측정에 있어 그 활용 범위를 넓혀주는 혁신적인 기술을 근간에 둔 초소형 공초점변위센서입니다. 본 센서는 100 ㎛의 측정 범위를 제공하며 해당 범위 내에서 3 ㎚의 고해상도를 제공할 수 있는 특징이 있어 두께가 5 ㎛에 불과한 글라스 또는 플라스틱 필름과 같은 투명 레이어를 고정밀하고 신뢰성 있게 측정할 수 있습니다.

스폿 직경이 3 ㎛에 불과한 해당 센서는 초미세 구조를 감지하거나 거칠기를 측정하는 등의 과정에 사용할 수 있습니다. 예를 들어, 센서는 매끄럽게 연마된 브레이크 디스크와 같이 미세하게 연마된 표면을 검사하기도 합니다.

사양

센서 모델

IFS2407-0.1

IFS2407-0.1(001)

측정 범위

0.1 ㎜

측정 시작점

근사치

1 ㎜

분해능

정적 1)

3 ㎚

동적 2)

6 ㎚

직선성 3)

변위 및 거리

< ± 0.05 ㎛

두께

< ± 0.1 ㎛

스폿 직경

3 ㎛

4 ㎛

최대 기울기 4)

± 48°

개구각 (NA)

0.80

0.70

최소 타겟 두께 5)

0.005 ㎜

연결

FC 소켓을 통한 광화이버 연결 가능, 기본 길이 3 m; 최대 50 m 연장 가능; 곡률 반경: 정적 30 ㎜, 동적 40 ㎜

설치

클램핑, 마운팅 어댑터 (액세서리부 참고)

온도 범위

보관

-20 ~ +70 ℃

작동

+5 ~ +70 ℃

내충격성 (DIN-EN 60068-2-29)

15 g / XY축으로 6 ㎳, 각 1,000번의 충격

내진동성 (DIN-EN 60068-2-6)

2 g / XY축에서 20 ~ 500 ㎐, 각 10번의 사이클

보호 등급 (DIN-EN 60529)

IP65 (전면부)

재질

스테인레스스틸 하우징, 글라스 렌즈

중량

36 g

특징

높은 개구각 (NA)의 센서

라이트 인텐시티가 강한 센서

센서 모델

IFS2407/90-0,3

IFS2407-3

측정 범위

0.3 ㎜

3 ㎜

측정 시작점

근사치

5.3 ㎜

28 ㎜

분해능

정적 1)

10 ㎚

20 ㎚

동적 2)

20 ㎚

58 ㎚

직선성 3)

변위 및 거리

< ± 0.15 ㎛

< ± 0.75 ㎛

두께

< ± 0.3 ㎛

< ± 1.5 ㎛

스폿 직경

6 ㎛

9 ㎛

최대 기울기 4)

± 27°

± 30°

개구각 (NA)

0.50

0.53

최소 타겟 두께 5)

0.015 ㎜

0.15 ㎜

연결

FC 소켓을 통한 광화이버 연결 가능, C2407-x; 기본 길이 3 m; 최대 50 m 연장 가능; 곡률 반경: 정적 30 ㎜, 동적 40 ㎜

FC 소켓을 통한 광화이버 연결 가능,기본 길이 3 m; 최대 50 m 연장 가능; 곡률 반경: 정적 30 ㎜, 동적 40 ㎜

설치

마운팅 홀 (2x M2)

클램핑, 마운팅 어댑터 (액세서리부 참고)

온도 범위

보관

-20 ~ +70 ℃

작동

+5 ~ +70 ℃

내충격성 (DIN-EN 60068-2-29)

15 g / XY축으로 6 ㎳, 각 1,000번의 충격

내진동성 (DIN-EN 60068-2-6)

2 g / XY축에서 20 ~ 500 ㎐, 각 10번의 사이클

보호 등급 (DIN-EN 60529)

IP65 (전면부)

재질

스테인레스스틸 하우징, 글라스 렌즈

알루미늄 하우징, 글라스 렌즈

중량

약 30 g

약 550 g

1) 1 로 측정했을 때의 512개 값의 평균치, 광학 평면의 중간 범위에 근사
2) RMS 노이즈는 측정 범위의 중간 지점 (1)과 관련 있습니다.
3) 광학적 평면을 대상으로 주변 온도 (25±1 ℃)가 일정하게 유지되는 환경에서 측정한 데이터; 측정 대상체가 다를 경우 사양은 변경될 수 있음
4) 반사 표면에서도 사용 가능한 신호를 생성하는 센서의 최대 기울기 각도. 리미트 값에 가까울 수록 정확도는 하락
5) 전체 측정 범위 중 굴절률=1.5인 글라스 시트의 값. 측정 범위 중간 지점에서는 더 얇은 레이어 측정 가능

외형치수