KOR
ENG
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뛰어난 정밀성 capaNCDT 측정 시스템은 직선성, 반복 정도, 분해능을 포함하여 뛰어난 성능을 보여줍니다. 일반적인 산업 환경에서는 서브 마이크로미터 단위의 정밀도를 구현할 수 있으며, 클린 환경에서는 고정밀 서브나노 대 측정도 가능합니다.
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측정 방식의 혜택 · 마모 없는 비접촉식 측정
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최신 사용자 친화 컨트롤러 기술 최신 capaNCDT 컨트롤러는 다양한 분야의 어플리케이션에 적용이 가능합니다. 다양한 인터페이스와 웹 브라우저를 사용한 쉬운 사용으로 적용 환경에 빠르게 통합할 수 있습니다.
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정전용량형 센서 사용 센서는 모든 전도성 소재에 대한 측정 작업이 가능하며, 적합한 전기회로망을 사용하여 부도체 측정도 가능합니다. 정전용량형 센서은 변위, 위치, 두께 측정 등에 사용됩니다. 정전용량 측정 방식은 비접촉식 측정 방식에서 가장 정밀한 측정 방법 중 하나입니다. 측정 원리 상으로 유도체 εr 값의 변화가 영향을 미치는 청결한 환경을 필요로 합니다.
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독보적인 센서 설계 완전 삼축 센서 설계는 capaNCDT 만의 독자 기술로 측정 전극뿐만 아니라 가드 링 전극과 그라운드가 센서 앞단에 위치해 있습니다. 이는 capaNCDT 센서가 전도성 소재와 완전히 쉴드된 상황에서 설치된 것을 의미합니다. 멀티 채널 측정 시 채널 간 상호 접촉되더라도 문제 없습니다. 센서의 삼축 설계가 간섭을 안정적으로 막아줍니다.
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액티브 가드 삼축 케이블 Micro-Epsilon의 정전용량 측정 시스템은 액티브 가드 링 콘덴서와 함께, 독보적이고 능동적이며 노이즈가 적은 케이블을 사용합니다. 더블 쉴딩된 필드로 고품질의 신호를 얻을 수 있습니다. 시스템은 외부물체를 완벽히 차단하는 전기쉴드를 활용하여 정확한 측정을 할 수 있습니다. 또한, 가드 링 전극이 보호되고, 완전히 균일한 측정 필드를 제공하여, 극도의 안정성과 간섭없는 정확한 측정 결과를 만듭니다.
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캘리브레이션이 필요 없는 센서 및 컨트롤러 교체 Micro-Epsilon이 전문적으로 개발한 정전용량 측정 원리는 빠른 시간 내에 센서교환을 가능하게 합니다. 다른 검출 거리를 가진 센서로의 교체와 다른 capaNCDT 컨트롤러 사용도 어떤 캘리브레이션 없이도 쉽게 적용할 수 있습니다. 다른 일반적인 시스템이 캘리브레이션, 선형화 작업 등으로 오랜 시간이 소요되는 것에 비해, capaNCDT 시스템은 센서 교체 시 5초 밖에 소요되지 않습니다.
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비접촉 대상체 그라운딩 기존 시스템과는 다르게 두 개의 capaNCDT 기기를 동기화하여 사용할 경우 대상체를 접지할 필요가 없습니다.
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소비자 맞춤형 센서 및 OEM 특수한 작업의 경우, 측정 시스템은 소비자의 개별적인 요건에 따라 개조가 가능합니다. 변경 사항에는 설계 변경, 대상체 전용 캘리브레이션, 설치 옵션, 케이블 길이, 측정 범위 변경, 컨트롤러 내장형 센서 등이 있습니다
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타의 추종을 불허하는 정밀도 · 0.0375nm부터의 분해능
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높은 안정성 · 온도 안정성 5ppm
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센서의 통합 포트폴리오 ·0.05mm에서 10mm의 측정 범위를
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| 원주형 센서 (암커넥터) |  |
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센서 타입 |
CS005 |
CS02 |
CS05 |
CSE05 |
CS08 |
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제품 번호 |
6610083 |
6610051 |
6610053 |
6610102 |
6610080 |
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측정 범위 |
감소 |
0.025mm |
0.1mm |
0.25mm |
0.25mm |
0.4mm |
|
표준 |
0.05mm |
0.2mm |
0.5mm |
0.5mm |
0.8mm |
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확장 |
0.1mm |
0.4mm |
1mm |
1mm |
1.6mm |
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직선성 ※1 |
0.15μm |
0.4μm |
0.15μm |
0.15μm |
0.4μm |
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0.3%FSO |
0.2%FSO |
0.03%FSO |
0.03%FSO |
0.2%FSO |
||
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분해능 ※1 (static, 2Hz) |
0.0375nm |
0.15nm |
0.375nm |
0.375nm |
0.6nm |
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분해능 ※1 (dynamic, 8.5kHz) |
1nm |
4nm |
10nm |
10nm |
16nm |
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온도 안정성 제로 ※4 |
-60nm/℃ |
-60nm/℃ |
-60nm/℃ |
-60nm/℃ |
-60nm/℃ |
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온도 안정성 감도 |
-0.5nm/℃ |
-2nm/℃ |
-5nm/℃ |
-5nm/℃ |
-8nm/℃ |
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|
온도 범위 (작동) |
-50 ~ +200℃ |
-50 ~ +200℃ |
-50 ~ +200℃ |
-50 ~ +200℃ |
-50 ~ +200℃ |
|
|
온도 범위 (보관) |
-50~ +200℃ |
-50 ~ +200℃ |
-50 ~ +200℃ |
-50 ~ +200℃ |
-50 ~ +200℃ |
|
|
습도 ※2 |
0 ~ 95%r.H. |
0 ~ 95%r.H. |
0 ~ 95%r.H. |
0 ~ 95%r.H. |
0 ~ 95%r.H. |
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|
센서 치수 |
Ø6×12 mm |
Ø6×12 mm |
Ø8×12 mm |
Ø6×12 mm |
Ø10×15mm |
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활성 측정 구단 |
Ø1.3mm |
Ø2.3mm |
Ø3.9mm |
Ø3.9mm |
Ø4.9mm |
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|
가드 링 폭 |
0.8mm |
1mm |
1.4mm |
0.8mm |
1.6mm |
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|
최소 대상체 직경 |
Ø3mm |
Ø5mm |
Ø7mm |
Ø6mm |
Ø9mm |
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|
중량 |
2g |
2g |
4g |
2g |
7g |
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|
소재 (하우징) |
NiFe※3 (magn.) |
NiFe(magn.) |
NiFe(magn.) |
NiFe(magn.) |
NiFe(magn.) |
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커넥터 타입 |
타입 C |
타입 C |
타입 C |
타입 C |
타입 C |
|
|
마운팅 |
앵글형 클램프 |
앵글형 클램프 |
앵글형 클램프 |
앵글형 클램프 |
앵글형 클램프 |
|
|
※ FSO = Full Scale Output ※1 측정 범위에 대해서 컨트롤러 레퍼런스 참고 ※2 응결 없을 것 ※3 티타늄 버전 사용 가능 ※4 클램핑 구단 중앙에 센서 설치 |
||||||
| 원주형 센서 (암커넥터) |  |
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센서 타입 |
CS1 |
CS1HP |
CSE1 |
CS2 |
CSE2 |
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제품 번호 |
6610054 |
6610074 |
6610103 |
6610052 |
6610104 |
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|
측정 범위 |
감소 |
0.5mm |
0.5mm |
0.5mm |
1mm |
1mm |
|
표준 |
1mm |
1mm |
1mm |
2mm |
2mm |
|
|
확장 |
2mm |
2mm |
2mm |
4mm |
4mm |
|
|
직선성 ※1 |
1.5μm |
1.5μm |
2μm |
1μm |
2.6μm |
|
|
0.15%FSO |
0.15%FSO |
0.2%FSO |
0.05%FSO |
0.13%FSO |
||
|
분해능 ※1 (static, 2Hz) |
0.75nm |
0.75nm |
0.75nm |
1.5nm |
1.5nm |
|
|
분해능 ※1 (dynamic, 8.5kHz) |
20nm |
20nm |
20nm |
40nm |
40nm |
|
|
온도 안정성 제로 ※4 |
-170nm/℃ |
-60nm/℃ |
-60nm/℃ |
-170nm/℃ |
-170nm/℃ |
|
|
온도 안정성 감도 |
-32nm/℃ |
-10nm/℃ |
-10nm/℃ |
-64nm/℃ |
-64nm/℃ |
|
|
온도 범위 (작동) |
-50 ~ +200℃ |
-50 ~ +200℃ |
-50 ~ +200℃ |
-50 ~ +200℃ |
-50 ~ +200℃ |
|
|
온도 범위 (보관) |
-50 ~ +200℃ |
-50 ~ +200℃ |
-50 ~ +200℃ |
-50 ~ +200℃ |
-50 ~ +200℃ |
|
|
습도 ※2 |
0 ~ 95%r.H. |
0 ~ 95%r.H. |
0 ~ 95%r.H. |
0 ~ 95%r.H. |
0 ~ 95%r.H. |
|
|
센서 치수 |
Ø10 × 21mm |
Ø10 × 20mm |
Ø8 × 12mm |
Ø20 × 24mm |
Ø14 × 22mm |
|
|
활성 측정 구단 |
Ø5.7mm |
Ø5.7mm |
Ø5.7mm |
Ø7.9mm |
Ø8.0mm |
|
|
가드 링 폭 |
1.5mm |
1.5mm |
0.9mm |
4.4mm |
2.7mm |
|
|
최소 대상체 직경 |
Ø9mm |
Ø9mm |
Ø8mm |
Ø17mm |
Ø14mm |
|
|
중량 |
8g |
8g |
3.5g |
50g |
20g |
|
|
소재 (하우징) |
1.4404 ※3 (non-magn.) |
NiFe (magn.) |
NiFe (magn.) |
1.4404 ※3 (non-magn.) |
1.4404 (non-magn.) |
|
|
커넥터 타입 |
타입 B |
타입 B |
타입 C |
타입 B |
타입 B |
|
|
마운팅 |
앵글형 클램프 |
앵글형 클램프 |
앵글형 클램프 |
앵글형 클램프 |
앵글형 클램프 |
|
|
※ FSO = Full Scale Output ※1 측정 범위에 대해서 컨트롤러 레퍼런스 참고 ※2 응결 없을 것 ※3 티타늄 버전 사용 가능 ※4 클램핑 구단 중앙에 센서 설치 |
||||||
| 원주형 센서 (암커넥터) |  |
 |
 |
|
|
센서 타입 |
CS3 |
CS5 |
CS10 |
|
|
제품 번호 |
6610055 |
6610056 |
6610057 |
|
|
측정 범위 |
감소 |
1.5mm |
2.5mm |
5mm |
|
표준 |
3mm |
5mm |
10mm |
|
|
확장 |
6mm |
10mm |
20mm |
|
|
직선성 ※1 |
0.9μm |
2.5μm |
15μm |
|
|
0.03%FSO |
0.05%FSO |
0.15%FSO |
||
|
분해능 ※1 (static, 2Hz) |
2.25nm |
3.75nm |
7.5nm |
|
|
분해능 ※1 (dynamic, 8.5kHz) |
60nm |
100nm |
200nm |
|
|
온도 안정성 제로 ※4 |
-170nm/℃ |
-170nm/℃ |
-170nm/℃ |
|
|
온도 안정성 감도 |
-96nm/℃ |
-160nm/℃ |
-320nm/℃ |
|
|
온도 범위 (작동) |
-50 ~ +200℃ |
-50 ~ +200℃ |
-50 ~ +200℃ |
|
|
온도 범위 (보관) |
-50 ~ +200℃ |
-50 ~ +200℃ |
-50 ~ +200℃ |
|
|
습도 ※2 |
0 ~ 95%r.H. |
0 ~ 95%r.H. |
0 ~ 95%r.H. |
|
|
센서 치수 |
Ø30 × 24mm |
Ø40 × 24mm |
Ø60 × 24mm |
|
|
활성 측정 구간 |
Ø9.8mm |
Ø12.6mm |
Ø17.8mm |
|
|
가드 링 폭 |
8mm |
11.6mm |
19mm |
|
|
최소 대상체 직경 |
Ø27mm |
Ø37mm |
Ø57mm |
|
|
중량 |
70g |
95g |
180g |
|
|
소재 (하우징) |
1.4404 (non-magn.) |
1.4404 ※3 (non-magn.) |
1.4404 ※3 (non-magn.) |
|
|
커넥터 타입 |
타입 B |
타입 B |
타입 B |
|
|
마운팅 |
앵글형 클램프 |
앵글형 클램프 |
앵글형 클램프 |
|
|
※ FSO = Full Scale Output ※1 측정 범위에 대해서 컨트롤러 레퍼런스 참고 ※2 응결 없을 것 ※3 티타늄 버전 사용 가능 ※4 클램핑 구단 중앙에 센서 설치 |
||||
| 원주형 센서 (케이블 내장) |  |
 |
 |
 |
 |
|
|
센서 타입 |
CSH02-CAm1,4 |
CSH05-CAm1,4 |
CSH1- CAm1,4 |
CSH1,2-CAm1,4 |
CSH2- CAm1,4 |
|
|
제품 |
6610086 |
6610087 |
6610088 |
6610089 |
6610107 |
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|
측정 범위 |
축소 |
0.1mm |
0.25mm |
0.5mm |
0.6mm |
1mm |
|
표준 |
0.2mm |
0.5mm |
1mm |
1.2mm |
2mm |
|
|
확장 |
0.4mm |
1mm |
2mm |
2.4mm |
4mm |
|
|
직선성 ※1 |
0.054μm |
0.13μm |
0.13μm |
0.84μm |
0.5μm |
|
|
0.027%FSO |
0.026%FSO |
0.013%FSO |
0.07%FSO |
0.025%FSO |
||
|
분해능 ※1 (static, 2Hz) |
0.15nm |
0.38nm |
0.75nm |
0.9nm |
1.5nm |
|
|
분해능 ※1 (dynamic. 8.5kHz) |
4nm |
10nm |
20nm |
24nm |
40nm |
|
|
온도 안정성 제로 ※4 |
-19 nm/℃ |
|||||
|
온도 안정성 감도 |
-2.4nm/℃ |
-6nm/℃ |
-12nm/℃ |
-14.4nm/℃ |
-24nm/℃ |
|
|
동작 온도 |
-50 ~ +200℃ |
|||||
|
보관 온도 |
||||||
|
습도 ※2 |
0 ~ 95%r.H. |
|||||
|
센서 치수 ※3 |
Ø8 × 14mm |
Ø12 × 14mm |
Ø20 × 14mm |
|||
|
활성 측정 구단 |
Ø2.6mm |
Ø4.1mm |
Ø5.7mm |
Ø6.3mm |
Ø8.1mm |
|
|
가드 링 폭 |
Ø1.9mm |
Ø1.2mm |
Ø2.4mm |
Ø2.1mm |
Ø4.4mm |
|
|
최소 대상체 직경 |
Ø7mm |
Ø11mm |
Ø17mm |
|||
|
중량(케이블과 커넥터 포함) |
30g |
33g |
38g |
|||
|
소재 (하우징) |
1.4104 (magn.) |
|||||
|
내장 케이블 |
Ø2.1mm×1.4m 축 |
|||||
|
마운팅 |
앵글형 클램프 |
|||||
|
※ FSO = Full Scale Output ※ CSH 센서는 표준 케이블 길이 컨트롤러에 일치 ※2 응결 없을 것 ※3 케이블, 보호 장치, 클림프 제외 기준 ※4 2mm 마운팅 센서가 전면 뒤에 부착될 경우 |
||||||
| 원주형 센서 (스레드와 소켓) |  |
 |
 |
 |
||
|
센서 타입 |
CSE05/M8 |
CSE1,25/M12 |
CSE2/M16 |
CSE3/M24 |
||
|
제품 번호 |
6610172 |
6610160 |
6610167 |
6610171 |
||
|
측정 범위 |
감소 |
0.25mm |
0.625mm |
1mm |
1.5mm |
|
|
표준 |
0.5mm |
1.25mm |
2mm |
3mm |
||
|
확장 |
1mm |
2.5mm |
4mm |
6mm |
||
|
직선성※1 |
≤ ±0.15㎛ |
≤ ±1.25㎛ |
≤ ±2㎛ |
≤ ±3㎛ |
||
|
≤ 0.03%FSO |
≤ ±0.1 % FSO |
|||||
|
분해능※1 (static, 2Hz) |
약 0.375㎚ |
약 0.95㎚ |
약 1.5㎚ |
약 2.25㎚ |
||
|
분해능※1 (dynamic. 8.5kHz) |
약 10㎚ |
약 25㎚ |
약 40㎚ |
약 60㎚ |
||
|
온도 안정성※2 |
제로※3 |
-10㎚/℃ |
-65㎚/℃ |
-75㎚/℃ |
||
|
감도 |
-5㎚/℃ |
-50㎚/℃ |
-80㎚/℃ |
-85㎚/℃ |
||
|
온도 범위 (작동/보관/습도) |
-50 ~ +200℃ |
|||||
|
공기 습도※4 |
0 ~ 95% r.H |
|||||
|
센서 치수 |
Ø8×17㎜ |
Ø12×22㎜ |
Ø16×22㎜ |
Ø24×30㎜ |
||
|
활성 측정 영역 |
Ø3.9㎜ |
Ø6.3㎜ |
Ø8.0㎜ |
Ø9.8㎜ |
||
|
가드 링 폭 |
0.8㎜ |
1.6㎜ |
2.7㎜ |
4.6㎜ |
||
|
최소 대상체 직경 |
Ø6㎜ |
Ø10㎜ |
Ø14㎜ |
Ø20㎜ |
||
|
중량 |
3.5g |
11.5g |
35g |
80g |
||
|
재질 (하우징) |
NiFe (magn.) |
1.4404 (non-magn.) |
||||
|
커넥터 타입 |
타입 C |
타입 B |
||||
|
마운팅 |
0.5x 스레드 M8 |
1x 스레드 M12 |
1x 스레드 M16 |
1.5x 스레드 M24 |
||
|
권장 마운팅 옵션을 위한 대상체 표면으로부터의 거리 |
3㎜ |
3.5㎜ |
4.5㎜ |
|||
|
※ FSO = Full Scale Output ※2 +140℃ 이상 : 비선형 신호 드리프트 ※3 권장 설치 옵션 ※4 응결 없을것 |
||||||
| 박형 센서 (커넥터) |  |
||
 |
 |
||
|
센서 타입 |
CSG0,50-CAm2,0 |
CSG1,00-CAm2,0 |
|
|
제품 번호 |
6610112 |
6610111 |
|
|
측정 범위 |
표준 |
0.5mm |
1mm |
|
간격 폭 ※1 |
0.9 ~ 1.9mm |
0.9 ~ 2.9mm |
|
|
직선성 ※2 |
0.5μm |
1μm |
|
|
분해능 ※2 (static, 2Hz) |
4nm |
8nm |
|
|
분해능 ※2 (dynamic, 8,5kHz) |
90nm |
180nm |
|
|
온도 안정성 제로 |
-50nm/℃ |
-50nm/℃ |
|
|
온도 안정성 감도 |
-20nm/℃ |
-40nm/℃ |
|
|
온도 범위(작동) |
-50 ~ +100℃ |
-50 ~ +100℃ |
|
|
온도 범위(보관) |
-50 ~ +100℃ |
-50 ~ +100℃ |
|
|
습도 ※3 |
0 ~ 95% |
0 ~ 95% |
|
|
센서 치수 |
200 x 15 x 0.9mm |
200 x 15 x 0.9mm |
|
|
활성 측정 구간 |
3 x 4.3mm |
4.2 x 5.1mm |
|
|
가드 링 폭 |
2.7mm |
2.2mm |
|
|
최소 대상체 직경 |
약 7 x 8mm |
약 8 x 9mm |
|
|
중량 |
77g |
77g |
|
|
소재 (하우징) |
1.4301 |
1.4301 |
|
|
소재 (센서) |
FR4 |
FR4 |
|
|
내장 케이블 |
2m |
2m |
|
|
※1 센서 양쪽의 폭+측정 범위 ※2 컨트롤러 DT6530 ※3 응결 없을 것 |
|||
| 박형 센서 (케이블 내장) |  |
 |
 |
 |
 |
|
|
센서 타입 |
CSH02FL-CRm1,4 |
CSH05FL-CRm1,4 |
CSH1FL-CRm1,4 |
CSH1,- 2FL-CRm1,4 |
CSH2FL-CRm1,4 |
|
|
제품 번호 |
6610075 |
6610085 |
6610072 |
6610077 |
6610094 |
|
|
측정 범위 |
감소 |
0.1mm |
0.25mm |
0.5mm |
0.6mm |
1mm |
|
표준 |
0.2mm |
0.5mm |
1mm |
1.2mm |
2mm |
|
|
확장 |
0.4mm |
1mm |
2mm |
2.4mm |
4mm |
|
|
직선성 ※1 |
0.05μm |
0.09μm |
0.2μm |
0.84μm |
0.32μm |
|
|
0.025%FSO |
0.018%FSO |
0.02%FSO |
0.07%FSO |
0.016%FSO |
||
|
분해능 ※1 (static, 2Hz) |
0.15nm |
0.38nm |
0.75nm |
0.9nm |
1.5nm |
|
|
분해능 ※1 (dynamic. 8.5kHz) |
4nm |
10nm |
20nm |
24nm |
40nm |
|
|
온도 안정성 제로 ※4 |
-37.6 또는 2.4nm/℃ |
-47 또는 4nm/℃ |
||||
|
온도 안정성 감도 |
-2.4nm/℃ |
-6nm/℃ |
-12nm/℃ |
-14.4nm/℃ |
-24nm/℃ |
|
|
온도 범위 (작동/보관 ※2) |
-50 ~ +200℃ |
|||||
|
습도 ※3 |
0 ~ 95%r.H. |
|||||
|
센서 치수 |
10.5×8×4mm |
17×12×4mm |
20×20×5mm |
|||
|
활성 측정구간 |
Ø2.6mm |
Ø4.1mm |
Ø5.7mm |
Ø6.3mm |
Ø8.1mm |
|
|
가드 링 폭 |
Ø1.9mm |
Ø1.2mm |
Ø2.4mm |
Ø2.1mm |
Ø4.4mm |
|
|
최소 대상체 직경 |
Ø7mm |
Ø11mm |
Ø17mm |
|||
|
중량 (케이블, 커넥터 포함) |
28g |
30g |
36g |
|||
|
소재 (하우징) |
1.4104 (magn.) |
|||||
|
마운팅 |
2x 스레드 M2 |
2x 나사 M2 DIN 84A |
||||
|
내장 케이블 |
원형 Ø2.1mm×1.4m 원주형 |
|||||
|
※ FSO = Full Scale Output ※ CSH 센서는 표준 케이블 길이 컨트롤러에 일치 ※2 응결 없을 것 ※3 케이블, 보호 장치, 클림프 제외 기준 ※4 센서가 상단 혹은 하단에 마운팅 될 경우 |
||||||
- 제품 설명 및 특징
-
- 마모 없는 비접촉식 측정
- 대상체에 방해 작용 없음
- 전도성 측정 대상체에 대해 강한 내구성
- 뛰어난 정확성 및 안정성
- 빠른 측정이 가능한 높은 대역폭
뛰어난 정밀성
capaNCDT 측정 시스템은 직선성, 반복 정도, 분해능을 포함하여 뛰어난 성능을 보여줍니다. 일반적인 산업 환경에서는 서브 마이크로미터 단위의 정밀도를 구현할 수 있으며, 클린 환경에서는 고정밀 서브나노 대 측정도 가능합니다.
측정 방식의 혜택
· 마모 없는 비접촉식 측정
· 대상체에 방해 작용 없음
· 전도성 대상체에 대해 강한 내구성
· 뛰어난 정확성 및 안정성
· 빠른 측정이 가능한 높은 대역폭최신 사용자 친화 컨트롤러 기술
최신 capaNCDT 컨트롤러는 다양한 분야의 어플리케이션에 적용이 가능합니다. 다양한 인터페이스와 웹 브라우저를 사용한 쉬운 사용으로 적용 환경에 빠르게 통합할 수 있습니다.
정전용량형 센서 사용
센서는 모든 전도성 소재에 대한 측정 작업이 가능하며, 적합한 전기회로망을 사용하여 부도체 측정도 가능합니다. 정전용량형 센서은 변위, 위치, 두께 측정 등에 사용됩니다. 정전용량 측정 방식은 비접촉식 측정 방식에서 가장 정밀한 측정 방법 중 하나입니다. 측정 원리 상으로 유도체 εr 값의 변화가 영향을 미치는 청결한 환경을 필요로 합니다.
독보적인 센서 설계
완전 삼축 센서 설계는 capaNCDT 만의 독자 기술로 측정 전극뿐만 아니라 가드 링 전극과 그라운드가 센서 앞단에 위치해 있습니다. 이는 capaNCDT 센서가 전도성 소재와 완전히 쉴드된 상황에서 설치된 것을 의미합니다. 멀티 채널 측정 시 채널 간 상호 접촉되더라도 문제 없습니다. 센서의 삼축 설계가 간섭을 안정적으로 막아줍니다.
액티브 가드 삼축 케이블
Micro-Epsilon의 정전용량 측정 시스템은 액티브 가드 링 콘덴서와 함께, 독보적이고 능동적이며 노이즈가 적은 케이블을 사용합니다. 더블 쉴딩된 필드로 고품질의 신호를 얻을 수 있습니다. 시스템은 외부물체를 완벽히 차단하는 전기쉴드를 활용하여 정확한 측정을 할 수 있습니다. 또한, 가드 링 전극이 보호되고, 완전히 균일한 측정 필드를 제공하여, 극도의 안정성과 간섭없는 정확한 측정 결과를 만듭니다.
캘리브레이션이 필요 없는 센서 및 컨트롤러 교체
Micro-Epsilon이 전문적으로 개발한 정전용량 측정 원리는 빠른 시간 내에 센서교환을 가능하게 합니다. 다른 검출 거리를 가진 센서로의 교체와 다른 capaNCDT 컨트롤러 사용도 어떤 캘리브레이션 없이도 쉽게 적용할 수 있습니다. 다른 일반적인 시스템이 캘리브레이션, 선형화 작업 등으로 오랜 시간이 소요되는 것에 비해, capaNCDT 시스템은 센서 교체 시 5초 밖에 소요되지 않습니다.
비접촉 대상체 그라운딩
기존 시스템과는 다르게 두 개의 capaNCDT 기기를 동기화하여 사용할 경우 대상체를 접지할 필요가 없습니다.
하지만, 최상의 신호 품질을 위해서는 측정 대상체가 올바르게 접지되는 것을 권장합니다.소비자 맞춤형 센서 및 OEM
특수한 작업의 경우, 측정 시스템은 소비자의 개별적인 요건에 따라 개조가 가능합니다. 변경 사항에는 설계 변경, 대상체 전용 캘리브레이션, 설치 옵션, 케이블 길이, 측정 범위 변경, 컨트롤러 내장형 센서 등이 있습니다
타의 추종을 불허하는 정밀도
· 0.0375nm부터의 분해능
· 0.1μm의 직선성
· 0.0003% FSO에서 반복 정도높은 안정성
· 온도 안정성 5ppm
(온도 범위 -270℃ ~ +200℃
요청 시 더 높은 온도 가능)
·장기 안정성:
±0.002% FSO / 월센서의 통합 포트폴리오
·0.05mm에서 10mm의 측정 범위를
갖춘 25개의 표준 센서
·웹 브라우저로 운영되는 컨트롤러,
계산 기능, 아날로그 인터페이스,
Ethernet 및 EtherCAT - 사양 (원주형 센서)
-
원주형 센서 (암커넥터) 센서 타입
CS005
CS02
CS05
CSE05
CS08
제품 번호
6610083
6610051
6610053
6610102
6610080
측정 범위
감소
0.025mm
0.1mm
0.25mm
0.25mm
0.4mm
표준
0.05mm
0.2mm
0.5mm
0.5mm
0.8mm
확장
0.1mm
0.4mm
1mm
1mm
1.6mm
직선성 ※1
0.15μm
0.4μm
0.15μm
0.15μm
0.4μm
0.3%FSO
0.2%FSO
0.03%FSO
0.03%FSO
0.2%FSO
분해능 ※1 (static, 2Hz)
0.0375nm
0.15nm
0.375nm
0.375nm
0.6nm
분해능 ※1 (dynamic, 8.5kHz)
1nm
4nm
10nm
10nm
16nm
온도 안정성 제로 ※4
-60nm/℃
-60nm/℃
-60nm/℃
-60nm/℃
-60nm/℃
온도 안정성 감도
-0.5nm/℃
-2nm/℃
-5nm/℃
-5nm/℃
-8nm/℃
온도 범위 (작동)
-50 ~ +200℃
-50 ~ +200℃
-50 ~ +200℃
-50 ~ +200℃
-50 ~ +200℃
온도 범위 (보관)
-50~ +200℃
-50 ~ +200℃
-50 ~ +200℃
-50 ~ +200℃
-50 ~ +200℃
습도 ※2
0 ~ 95%r.H.
0 ~ 95%r.H.
0 ~ 95%r.H.
0 ~ 95%r.H.
0 ~ 95%r.H.
센서 치수
Ø6×12 mm
Ø6×12 mm
Ø8×12 mm
Ø6×12 mm
Ø10×15mm
활성 측정 구단
Ø1.3mm
Ø2.3mm
Ø3.9mm
Ø3.9mm
Ø4.9mm
가드 링 폭
0.8mm
1mm
1.4mm
0.8mm
1.6mm
최소 대상체 직경
Ø3mm
Ø5mm
Ø7mm
Ø6mm
Ø9mm
중량
2g
2g
4g
2g
7g
소재 (하우징)
NiFe※3 (magn.)
NiFe(magn.)
NiFe(magn.)
NiFe(magn.)
NiFe(magn.)
커넥터 타입
타입 C
타입 C
타입 C
타입 C
타입 C
마운팅
앵글형 클램프
앵글형 클램프
앵글형 클램프
앵글형 클램프
앵글형 클램프
※ FSO = Full Scale Output
※1 측정 범위에 대해서 컨트롤러 레퍼런스 참고
※2 응결 없을 것
※3 티타늄 버전 사용 가능
※4 클램핑 구단 중앙에 센서 설치
원주형 센서 (암커넥터) 센서 타입
CS1
CS1HP
CSE1
CS2
CSE2
제품 번호
6610054
6610074
6610103
6610052
6610104
측정 범위
감소
0.5mm
0.5mm
0.5mm
1mm
1mm
표준
1mm
1mm
1mm
2mm
2mm
확장
2mm
2mm
2mm
4mm
4mm
직선성 ※1
1.5μm
1.5μm
2μm
1μm
2.6μm
0.15%FSO
0.15%FSO
0.2%FSO
0.05%FSO
0.13%FSO
분해능 ※1 (static, 2Hz)
0.75nm
0.75nm
0.75nm
1.5nm
1.5nm
분해능 ※1 (dynamic, 8.5kHz)
20nm
20nm
20nm
40nm
40nm
온도 안정성 제로 ※4
-170nm/℃
-60nm/℃
-60nm/℃
-170nm/℃
-170nm/℃
온도 안정성 감도
-32nm/℃
-10nm/℃
-10nm/℃
-64nm/℃
-64nm/℃
온도 범위 (작동)
-50 ~ +200℃
-50 ~ +200℃
-50 ~ +200℃
-50 ~ +200℃
-50 ~ +200℃
온도 범위 (보관)
-50 ~ +200℃
-50 ~ +200℃
-50 ~ +200℃
-50 ~ +200℃
-50 ~ +200℃
습도 ※2
0 ~ 95%r.H.
0 ~ 95%r.H.
0 ~ 95%r.H.
0 ~ 95%r.H.
0 ~ 95%r.H.
센서 치수
Ø10 × 21mm
Ø10 × 20mm
Ø8 × 12mm
Ø20 × 24mm
Ø14 × 22mm
활성 측정 구단
Ø5.7mm
Ø5.7mm
Ø5.7mm
Ø7.9mm
Ø8.0mm
가드 링 폭
1.5mm
1.5mm
0.9mm
4.4mm
2.7mm
최소 대상체 직경
Ø9mm
Ø9mm
Ø8mm
Ø17mm
Ø14mm
중량
8g
8g
3.5g
50g
20g
소재 (하우징)
1.4404 ※3
(non-magn.)
NiFe (magn.)
NiFe (magn.)
1.4404 ※3
(non-magn.)
1.4404
(non-magn.)
커넥터 타입
타입 B
타입 B
타입 C
타입 B
타입 B
마운팅
앵글형 클램프
앵글형 클램프
앵글형 클램프
앵글형 클램프
앵글형 클램프
※ FSO = Full Scale Output
※1 측정 범위에 대해서 컨트롤러 레퍼런스 참고
※2 응결 없을 것
※3 티타늄 버전 사용 가능
※4 클램핑 구단 중앙에 센서 설치
원주형 센서 (암커넥터) 센서 타입
CS3
CS5
CS10
제품 번호
6610055
6610056
6610057
측정 범위
감소
1.5mm
2.5mm
5mm
표준
3mm
5mm
10mm
확장
6mm
10mm
20mm
직선성 ※1
0.9μm
2.5μm
15μm
0.03%FSO
0.05%FSO
0.15%FSO
분해능 ※1 (static, 2Hz)
2.25nm
3.75nm
7.5nm
분해능 ※1 (dynamic, 8.5kHz)
60nm
100nm
200nm
온도 안정성 제로 ※4
-170nm/℃
-170nm/℃
-170nm/℃
온도 안정성 감도
-96nm/℃
-160nm/℃
-320nm/℃
온도 범위 (작동)
-50 ~ +200℃
-50 ~ +200℃
-50 ~ +200℃
온도 범위 (보관)
-50 ~ +200℃
-50 ~ +200℃
-50 ~ +200℃
습도 ※2
0 ~ 95%r.H.
0 ~ 95%r.H.
0 ~ 95%r.H.
센서 치수
Ø30 × 24mm
Ø40 × 24mm
Ø60 × 24mm
활성 측정 구간
Ø9.8mm
Ø12.6mm
Ø17.8mm
가드 링 폭
8mm
11.6mm
19mm
최소 대상체 직경
Ø27mm
Ø37mm
Ø57mm
중량
70g
95g
180g
소재 (하우징)
1.4404 (non-magn.)
1.4404 ※3 (non-magn.)
1.4404 ※3 (non-magn.)
커넥터 타입
타입 B
타입 B
타입 B
마운팅
앵글형 클램프
앵글형 클램프
앵글형 클램프
※ FSO = Full Scale Output
※1 측정 범위에 대해서 컨트롤러 레퍼런스 참고
※2 응결 없을 것
※3 티타늄 버전 사용 가능
※4 클램핑 구단 중앙에 센서 설치
원주형 센서 (케이블 내장) 센서 타입
CSH02-CAm1,4
CSH05-CAm1,4
CSH1-
CAm1,4
CSH1,2-CAm1,4
CSH2-
CAm1,4
제품
6610086
6610087
6610088
6610089
6610107
측정 범위
축소
0.1mm
0.25mm
0.5mm
0.6mm
1mm
표준
0.2mm
0.5mm
1mm
1.2mm
2mm
확장
0.4mm
1mm
2mm
2.4mm
4mm
직선성 ※1
0.054μm
0.13μm
0.13μm
0.84μm
0.5μm
0.027%FSO
0.026%FSO
0.013%FSO
0.07%FSO
0.025%FSO
분해능 ※1 (static, 2Hz)
0.15nm
0.38nm
0.75nm
0.9nm
1.5nm
분해능 ※1 (dynamic. 8.5kHz)
4nm
10nm
20nm
24nm
40nm
온도 안정성 제로 ※4
-19 nm/℃
온도 안정성 감도
-2.4nm/℃
-6nm/℃
-12nm/℃
-14.4nm/℃
-24nm/℃
동작 온도
-50 ~ +200℃
보관 온도
습도 ※2
0 ~ 95%r.H.
센서 치수 ※3
Ø8 × 14mm
Ø12 × 14mm
Ø20 × 14mm
활성 측정 구단
Ø2.6mm
Ø4.1mm
Ø5.7mm
Ø6.3mm
Ø8.1mm
가드 링 폭
Ø1.9mm
Ø1.2mm
Ø2.4mm
Ø2.1mm
Ø4.4mm
최소 대상체 직경
Ø7mm
Ø11mm
Ø17mm
중량(케이블과 커넥터 포함)
30g
33g
38g
소재 (하우징)
1.4104 (magn.)
내장 케이블
Ø2.1mm×1.4m 축
마운팅
앵글형 클램프
※ FSO = Full Scale Output
※ CSH 센서는 표준 케이블 길이 컨트롤러에 일치
※1 측정 범위에 대해서 컨트롤러 레퍼런스 참고※2 응결 없을 것
※3 케이블, 보호 장치, 클림프 제외 기준
※4 2mm 마운팅 센서가 전면 뒤에 부착될 경우
원주형 센서 (스레드와 소켓) 센서 타입
CSE05/M8
CSE1,25/M12
CSE2/M16
CSE3/M24
제품 번호
6610172
6610160
6610167
6610171
측정 범위
감소
0.25mm
0.625mm
1mm
1.5mm
표준
0.5mm
1.25mm
2mm
3mm
확장
1mm
2.5mm
4mm
6mm
직선성※1
≤ ±0.15㎛
≤ ±1.25㎛
≤ ±2㎛
≤ ±3㎛
≤ 0.03%FSO
≤ ±0.1 % FSO
분해능※1 (static, 2Hz)
약 0.375㎚
약 0.95㎚
약 1.5㎚
약 2.25㎚
분해능※1 (dynamic. 8.5kHz)
약 10㎚
약 25㎚
약 40㎚
약 60㎚
온도 안정성※2
제로※3
-10㎚/℃
-65㎚/℃
-75㎚/℃
감도
-5㎚/℃
-50㎚/℃
-80㎚/℃
-85㎚/℃
온도 범위 (작동/보관/습도)
-50 ~ +200℃
공기 습도※4
0 ~ 95% r.H
센서 치수
Ø8×17㎜
Ø12×22㎜
Ø16×22㎜
Ø24×30㎜
활성 측정 영역
Ø3.9㎜
Ø6.3㎜
Ø8.0㎜
Ø9.8㎜
가드 링 폭
0.8㎜
1.6㎜
2.7㎜
4.6㎜
최소 대상체 직경
Ø6㎜
Ø10㎜
Ø14㎜
Ø20㎜
중량
3.5g
11.5g
35g
80g
재질 (하우징)
NiFe (magn.)
1.4404 (non-magn.)
커넥터 타입
타입 C
타입 B
마운팅
0.5x 스레드 M8
1x 스레드 M12
1x 스레드 M16
1.5x 스레드 M24
권장 마운팅 옵션을 위한
대상체 표면으로부터의 거리
3㎜
3.5㎜
4.5㎜
※ FSO = Full Scale Output
※1 측정 범위에 대해서 컨트롤러 레퍼런스 참고※2 +140℃ 이상 : 비선형 신호 드리프트
※3 권장 설치 옵션
※4 응결 없을것
- 사양 (박형 센서)
-
박형 센서 (커넥터) 센서 타입
CSG0,50-CAm2,0
CSG1,00-CAm2,0
제품 번호
6610112
6610111
측정 범위
표준
0.5mm
1mm
간격 폭 ※1
0.9 ~ 1.9mm
0.9 ~ 2.9mm
직선성 ※2
0.5μm
1μm
분해능 ※2 (static, 2Hz)
4nm
8nm
분해능 ※2 (dynamic, 8,5kHz)
90nm
180nm
온도 안정성 제로
-50nm/℃
-50nm/℃
온도 안정성 감도
-20nm/℃
-40nm/℃
온도 범위(작동)
-50 ~ +100℃
-50 ~ +100℃
온도 범위(보관)
-50 ~ +100℃
-50 ~ +100℃
습도 ※3
0 ~ 95%
0 ~ 95%
센서 치수
200 x 15 x 0.9mm
200 x 15 x 0.9mm
활성 측정 구간
3 x 4.3mm
4.2 x 5.1mm
가드 링 폭
2.7mm
2.2mm
최소 대상체 직경
약 7 x 8mm
약 8 x 9mm
중량
77g
77g
소재 (하우징)
1.4301
1.4301
소재 (센서)
FR4
FR4
내장 케이블
2m
2m
※1 센서 양쪽의 폭+측정 범위
※2 컨트롤러 DT6530
※3 응결 없을 것
박형 센서 (케이블 내장) 센서 타입
CSH02FL-CRm1,4
CSH05FL-CRm1,4
CSH1FL-CRm1,4
CSH1,-
2FL-CRm1,4
CSH2FL-CRm1,4
제품 번호
6610075
6610085
6610072
6610077
6610094
측정 범위
감소
0.1mm
0.25mm
0.5mm
0.6mm
1mm
표준
0.2mm
0.5mm
1mm
1.2mm
2mm
확장
0.4mm
1mm
2mm
2.4mm
4mm
직선성 ※1
0.05μm
0.09μm
0.2μm
0.84μm
0.32μm
0.025%FSO
0.018%FSO
0.02%FSO
0.07%FSO
0.016%FSO
분해능 ※1 (static, 2Hz)
0.15nm
0.38nm
0.75nm
0.9nm
1.5nm
분해능 ※1 (dynamic. 8.5kHz)
4nm
10nm
20nm
24nm
40nm
온도 안정성 제로 ※4
-37.6 또는 2.4nm/℃
-47 또는 4nm/℃
온도 안정성 감도
-2.4nm/℃
-6nm/℃
-12nm/℃
-14.4nm/℃
-24nm/℃
온도 범위 (작동/보관 ※2)
-50 ~ +200℃
습도 ※3
0 ~ 95%r.H.
센서 치수
10.5×8×4mm
17×12×4mm
20×20×5mm
활성 측정구간
Ø2.6mm
Ø4.1mm
Ø5.7mm
Ø6.3mm
Ø8.1mm
가드 링 폭
Ø1.9mm
Ø1.2mm
Ø2.4mm
Ø2.1mm
Ø4.4mm
최소 대상체 직경
Ø7mm
Ø11mm
Ø17mm
중량 (케이블, 커넥터 포함)
28g
30g
36g
소재 (하우징)
1.4104 (magn.)
마운팅
2x 스레드 M2
2x 나사 M2 DIN 84A
내장 케이블
원형 Ø2.1mm×1.4m 원주형
※ FSO = Full Scale Output
※ CSH 센서는 표준 케이블 길이 컨트롤러에 일치
※1 측정 범위에 대해서 컨트롤러 레퍼런스 참고※2 응결 없을 것
※3 케이블, 보호 장치, 클림프 제외 기준
※4 센서가 상단 혹은 하단에 마운팅 될 경우
