• 서브나노미터 정밀도 분해능을 갖춘 다채널 시스템
  • 온도와 상관없는 가동
  • 부도체 측정 가능
  • 벤치탑 유닛과 19인치 포맷 카드 캐리어
  • 두께 측정 연산 기능 내장
  • 다양한 필터, 평균, 트리거 기능, 측정값 저장,
    디지털 선형화

 

capaNCDT 6500은 멀티 채널 공정에 사용 가능하며, 모듈화 설계가 되어 있습니다. 최대 8개의 센서를 프리 앰프 모듈을 통해 신호 조정 장치(Euro-size 카드)에 연결할 수 있습니다.

DL6530 버전은 프리 앰프가 하우징에 내장되어 있으며, 최대 4m(CC 케이블)나 8m(CCg 케이블)의 케이블을 사용할 수 있습니다. 이보다 더 긴 케이블에는 외부 프리 앰프인 CP6001이나 CPM6011을 사용합니다.

측정 채널 구성

1. 컨트롤러 DT6530 (전원 공급, 디스플레이, Ethernet, 오실레이터 및 아날로그 출력)
3. n x 프리 앰프 연결 케이블
4. n x 프리 앰프 모듈 CP6001
5. n x 센서 케이블
6. n x 센서

DL6510: 각 채널마다 항목 2~6번이 필요합니다.
DL6530: 각 채널마다 항목 2, 5, 6번이 필요합니다.
컨트롤러는 웹 인터페이스를 통한 Ethernet을 기반으로 조작할 수 있습니다. 최대 8개 채널까지 시각화가 가능하며, 연산적 결합도 가능합니다.

프리 앰프 CPM6011
표준 측정용 외장형 프리 앰프

 

시스템 capaNCDT 6500 (프리 앰프 내장형)

· DT6530 랙
· 디모듈레이터
· 센서 케이블
· 센서

 

프리 앰프 CP6001
고정밀 측정용 외장형 프리 앰프

DT6530C
2 채널 랙

 

시스템 capaNCDT 6510 (프리앰프 외장형)

· DT6530 랙
· 디모듈레이터
· 센서 케이블
· 센서
· 프리 앰프
· 프리 앰프 케이블

 

DT6530
8 채널 랙

컨트롤러 타입

DT6530

DT6530 (프리앰프 CPM6011과 함께 사용)

분해능 (static)

0.000075%FSO

0.0006%FSO

분해능 (dynamic)

0.002%FSO (8.5kHz)

0.015%FSO(8.5kHz)

측정 속도 (아날로그 출력)

8.5kHz

측정 속도 (조절 가능)

20Hz, 1kHz, 8.5kHz

측정 속도 (디지털 출력)

4 x 7.8kSa/s, 8 x 3.9kSa/s

직선성

±0.05%FSO

±0.2%FSO

최대 감도 편차

±0.05%FSO

±0.1%FSO

반복 정도

0.0003%FSO

0.001%FSO

장기 안정성

±0.002% FSO / 월

±0.02%FSO / 월

동기화

가능

절연재 측정

가능

불가

온도 안정성

±디지털: 5ppm/℃ 아날로그: 10ppm/℃

80ppm

동작 온도 (센서)

-50 ~ +200℃

동작 온도 (컨트롤러)

+10 ~ +60℃

보관 온도

-10 ~ +75℃

전원

230V AC

230V AC

출력

0 ~ 10V (최대 10mA 합선 방지), 오프셋≤10V~0V

4 ~ 20mA (최대 부하 500Ω)

선택 가능: 0 ~ 20mA (최대 부하 500Ω)

Ethernet 24Bit, EtherCAT

센서

모든 센서

표준 센서 케이블

CC 케이블 ≤ 1m / CCm 케이블 = 1.4m / CCg 케이블 = 2m

센서 케이블 (매칭 연장)

더블 / 트리플 / 쿼드 표준 케이블 길이

FSO = Full Scale Output

제품 설명 및 특징
 

  • 서브나노미터 정밀도 분해능을 갖춘 다채널 시스템
  • 온도와 상관없는 가동
  • 부도체 측정 가능
  • 벤치탑 유닛과 19인치 포맷 카드 캐리어
  • 두께 측정 연산 기능 내장
  • 다양한 필터, 평균, 트리거 기능, 측정값 저장,
    디지털 선형화

 

시스템 구조
capaNCDT 6500은 멀티 채널 공정에 사용 가능하며, 모듈화 설계가 되어 있습니다. 최대 8개의 센서를 프리 앰프 모듈을 통해 신호 조정 장치(Euro-size 카드)에 연결할 수 있습니다.

DL6530 버전은 프리 앰프가 하우징에 내장되어 있으며, 최대 4m(CC 케이블)나 8m(CCg 케이블)의 케이블을 사용할 수 있습니다. 이보다 더 긴 케이블에는 외부 프리 앰프인 CP6001이나 CPM6011을 사용합니다.

측정 채널 구성

1. 컨트롤러 DT6530 (전원 공급, 디스플레이, Ethernet, 오실레이터 및 아날로그 출력)
3. n x 프리 앰프 연결 케이블
4. n x 프리 앰프 모듈 CP6001
5. n x 센서 케이블
6. n x 센서

DL6510: 각 채널마다 항목 2~6번이 필요합니다.
DL6530: 각 채널마다 항목 2, 5, 6번이 필요합니다.
웹 인터페이스
컨트롤러는 웹 인터페이스를 통한 Ethernet을 기반으로 조작할 수 있습니다. 최대 8개 채널까지 시각화가 가능하며, 연산적 결합도 가능합니다.
시스템 구성

프리 앰프 CPM6011
표준 측정용 외장형 프리 앰프

 

시스템 capaNCDT 6500 (프리 앰프 내장형)

· DT6530 랙
· 디모듈레이터
· 센서 케이블
· 센서

 

프리 앰프 CP6001
고정밀 측정용 외장형 프리 앰프

DT6530C
2 채널 랙

 

시스템 capaNCDT 6510 (프리앰프 외장형)

· DT6530 랙
· 디모듈레이터
· 센서 케이블
· 센서
· 프리 앰프
· 프리 앰프 케이블

 

DT6530
8 채널 랙

사양

컨트롤러 타입

DT6530

DT6530 (프리앰프 CPM6011과 함께 사용)

분해능 (static)

0.000075%FSO

0.0006%FSO

분해능 (dynamic)

0.002%FSO (8.5kHz)

0.015%FSO(8.5kHz)

측정 속도 (아날로그 출력)

8.5kHz

측정 속도 (조절 가능)

20Hz, 1kHz, 8.5kHz

측정 속도 (디지털 출력)

4 x 7.8kSa/s, 8 x 3.9kSa/s

직선성

±0.05%FSO

±0.2%FSO

최대 감도 편차

±0.05%FSO

±0.1%FSO

반복 정도

0.0003%FSO

0.001%FSO

장기 안정성

±0.002% FSO / 월

±0.02%FSO / 월

동기화

가능

절연재 측정

가능

불가

온도 안정성

±디지털: 5ppm/℃ 아날로그: 10ppm/℃

80ppm

동작 온도 (센서)

-50 ~ +200℃

동작 온도 (컨트롤러)

+10 ~ +60℃

보관 온도

-10 ~ +75℃

전원

230V AC

230V AC

출력

0 ~ 10V (최대 10mA 합선 방지), 오프셋≤10V~0V

4 ~ 20mA (최대 부하 500Ω)

선택 가능: 0 ~ 20mA (최대 부하 500Ω)

Ethernet 24Bit, EtherCAT

센서

모든 센서

표준 센서 케이블

CC 케이블 ≤ 1m / CCm 케이블 = 1.4m / CCg 케이블 = 2m

센서 케이블 (매칭 연장)

더블 / 트리플 / 쿼드 표준 케이블 길이

FSO = Full Scale Output

외형치수