• 마모 없는 비접촉식 측정
  • 대상체에 방해 작용 없음
  • 전도성 측정 대상체에 대해 강한 내구성
  • 뛰어난 정확성 및 안정성
  • 빠른 측정이 가능한 높은 대역폭

 

 

뛰어난 정밀성

capaNCDT 측정 시스템은 직선성, 반복 정도, 분해능을 포함하여 뛰어난 성능을 보여줍니다. 일반적인 산업 환경에서는 서브 마이크로미터 단위의 정밀도를 구현할 수 있으며, 클린 환경에서는 고정밀 서브나노 대 측정도 가능합니다.

 

 

측정 방식의 혜택

· 마모 없는 비접촉식 측정
· 대상체에 방해 작용 없음
· 전도성 대상체에 대해 강한 내구성
· 뛰어난 정확성 및 안정성
· 빠른 측정이 가능한 높은 대역폭

 

 

최신 사용자 친화 컨트롤러 기술

최신 capaNCDT 컨트롤러는 다양한 분야의 어플리케이션에 적용이 가능합니다. 다양한 인터페이스와 웹 브라우저를 사용한 쉬운 사용으로 적용 환경에 빠르게 통합할 수 있습니다.

 

 

정전용량형 센서 사용

센서는 모든 전도성 소재에 대한 측정 작업이 가능하며, 적합한 전기회로망을 사용하여 부도체 측정도 가능합니다. 정전용량형 센서은 변위, 위치, 두께 측정 등에 사용됩니다. 정전용량 측정 방식은 비접촉식 측정 방식에서 가장 정밀한 측정 방법 중 하나입니다. 측정 원리 상으로 유도체 εr 값의 변화가 영향을 미치는 청결한 환경을 필요로 합니다.

 

 

독보적인 센서 설계

완전 삼축 센서 설계는 capaNCDT 만의 독자 기술로 측정 전극뿐만 아니라 가드 링 전극과 그라운드가 센서 앞단에 위치해 있습니다. 이는 capaNCDT 센서가 전도성 소재와 완전히 쉴드된 상황에서 설치된 것을 의미합니다. 멀티 채널 측정 시 채널 간 상호 접촉되더라도 문제 없습니다. 센서의 삼축 설계가 간섭을 안정적으로 막아줍니다.

 

 

액티브 가드 삼축 케이블

Micro-Epsilon의 정전용량 측정 시스템은 액티브 가드 링 콘덴서와 함께, 독보적이고 능동적이며 노이즈가 적은 케이블을 사용합니다. 더블 쉴딩된 필드로 고품질의 신호를 얻을 수 있습니다. 시스템은 외부물체를 완벽히 차단하는 전기쉴드를 활용하여 정확한 측정을 할 수 있습니다. 또한, 가드 링 전극이 보호되고, 완전히 균일한 측정 필드를 제공하여, 극도의 안정성과 간섭없는 정확한 측정 결과를 만듭니다.

 

 

캘리브레이션이 필요 없는 센서 및 컨트롤러 교체

Micro-Epsilon이 전문적으로 개발한 정전용량 측정 원리는 빠른 시간 내에 센서교환을 가능하게 합니다. 다른 검출 거리를 가진 센서로의 교체와 다른 capaNCDT 컨트롤러 사용도 어떤 캘리브레이션 없이도 쉽게 적용할 수 있습니다. 다른 일반적인 시스템이 캘리브레이션, 선형화 작업 등으로 오랜 시간이 소요되는 것에 비해, capaNCDT 시스템은 센서 교체 시 5초 밖에 소요되지 않습니다.

 

 

비접촉 대상체 그라운딩

기존 시스템과는 다르게 두 개의 capaNCDT 기기를 동기화하여 사용할 경우 대상체를 접지할 필요가 없습니다.
하지만, 최상의 신호 품질을 위해서는 측정 대상체가 올바르게 접지되는 것을 권장합니다.

 

 

소비자 맞춤형 센서 및 OEM

특수한 작업의 경우, 측정 시스템은 소비자의 개별적인 요건에 따라 개조가 가능합니다. 변경 사항에는 설계 변경, 대상체 전용 캘리브레이션, 설치 옵션, 케이블 길이, 측정 범위 변경, 컨트롤러 내장형 센서 등이 있습니다

 

 

타의 추종을 불허하는 정밀도

· 0.0375nm부터의 분해능
· 0.1μm의 직선성
· 0.0003% FSO에서 반복 정도

 

 

높은 안정성

· 온도 안정성 5ppm
(온도 범위 -270℃ ~ +200℃
요청 시 더 높은 온도 가능)
·장기 안정성:
±0.002% FSO / 월

 

 

센서의 통합 포트폴리오

·0.05mm에서 10mm의 측정 범위를
갖춘 25개의 표준 센서
·웹 브라우저로 운영되는 컨트롤러,
계산 기능, 아날로그 인터페이스,
Ethernet 및 EtherCAT

 

원주형 센서 (암커넥터)

센서 타입

CS005

CS02

CS05

CSE05

CS08

제품 번호

6610083

6610051

6610053

6610102

6610080

측정 범위

감소

0.025mm

0.1mm

0.25mm

0.25mm

0.4mm

표준

0.05mm

0.2mm

0.5mm

0.5mm

0.8mm

확장

0.1mm

0.4mm

1mm

1mm

1.6mm

직선성 ※1

0.15μm

0.4μm

0.15μm

0.15μm

0.4μm

0.3%FSO

0.2%FSO

0.03%FSO

0.03%FSO

0.2%FSO

분해능 ※1 (static, 2Hz)

0.0375nm

0.15nm

0.375nm

0.375nm

0.6nm

분해능 ※1 (dynamic, 8.5kHz)

1nm

4nm

10nm

10nm

16nm

온도 안정성 제로 ※4

-60nm/℃

-60nm/℃

-60nm/℃

-60nm/℃

-60nm/℃

온도 안정성 감도

-0.5nm/℃

-2nm/℃

-5nm/℃

-5nm/℃

-8nm/℃

온도 범위 (작동)

-50 ~ +200℃

-50 ~ +200℃

-50 ~ +200℃

-50 ~ +200℃

-50 ~ +200℃

온도 범위 (보관)

-50~ +200℃

-50 ~ +200℃

-50 ~ +200℃

-50 ~ +200℃

-50 ~ +200℃

습도 ※2

0 ~ 95%r.H.

0 ~ 95%r.H.

0 ~ 95%r.H.

0 ~ 95%r.H.

0 ~ 95%r.H.

센서 치수

Ø6×12 mm

Ø6×12 mm

Ø8×12 mm

Ø6×12 mm

Ø10×15mm

활성 측정 구단

Ø1.3mm

Ø2.3mm

Ø3.9mm

Ø3.9mm

Ø4.9mm

가드 링 폭

0.8mm

1mm

1.4mm

0.8mm

1.6mm

최소 대상체 직경

Ø3mm

Ø5mm

Ø7mm

Ø6mm

Ø9mm

중량

2g

2g

4g

2g

7g

소재 (하우징)

NiFe※3 (magn.)

NiFe(magn.)

NiFe(magn.)

NiFe(magn.)

NiFe(magn.)

커넥터 타입

타입 C

타입 C

타입 C

타입 C

타입 C

마운팅

앵글형 클램프

앵글형 클램프

앵글형 클램프

앵글형 클램프

앵글형 클램프

FSO = Full Scale Output

※1 측정 범위에 대해서 컨트롤러 레퍼런스 참고

※2 응결 없을 것

※3 티타늄 버전 사용 가능

※4 클램핑 구단 중앙에 센서 설치

원주형 센서 (암커넥터)

센서 타입

CS1

CS1HP

CSE1

CS2

CSE2

제품 번호

6610054

6610074

6610103

6610052

6610104

측정 범위

감소

0.5mm

0.5mm

0.5mm

1mm

1mm

표준

1mm

1mm

1mm

2mm

2mm

확장

2mm

2mm

2mm

4mm

4mm

직선성 ※1

1.5μm

1.5μm

2μm

1μm

2.6μm

0.15%FSO

0.15%FSO

0.2%FSO

0.05%FSO

0.13%FSO

분해능 ※1 (static, 2Hz)

0.75nm

0.75nm

0.75nm

1.5nm

1.5nm

분해능 ※1 (dynamic, 8.5kHz)

20nm

20nm

20nm

40nm

40nm

온도 안정성 제로 ※4

-170nm/℃

-60nm/℃

-60nm/℃

-170nm/℃

-170nm/℃

온도 안정성 감도

-32nm/℃

-10nm/℃

-10nm/℃

-64nm/℃

-64nm/℃

온도 범위 (작동)

-50 ~ +200℃

-50 ~ +200℃

-50 ~ +200℃

-50 ~ +200℃

-50 ~ +200℃

온도 범위 (보관)

-50 ~ +200℃

-50 ~ +200℃

-50 ~ +200℃

-50 ~ +200℃

-50 ~ +200℃

습도 ※2

0 ~ 95%r.H.

0 ~ 95%r.H.

0 ~ 95%r.H.

0 ~ 95%r.H.

0 ~ 95%r.H.

센서 치수

Ø10 × 21mm

Ø10 × 20mm

Ø8 × 12mm

Ø20 × 24mm

Ø14 × 22mm

활성 측정 구단

Ø5.7mm

Ø5.7mm

Ø5.7mm

Ø7.9mm

Ø8.0mm

가드 링 폭

1.5mm

1.5mm

0.9mm

4.4mm

2.7mm

최소 대상체 직경

Ø9mm

Ø9mm

Ø8mm

Ø17mm

Ø14mm

중량

8g

8g

3.5g

50g

20g

소재 (하우징)

1.4404 ※3

(non-magn.)

NiFe (magn.)

NiFe (magn.)

1.4404 ※3

(non-magn.)

1.4404

(non-magn.)

커넥터 타입

타입 B

타입 B

타입 C

타입 B

타입 B

마운팅

앵글형 클램프

앵글형 클램프

앵글형 클램프

앵글형 클램프

앵글형 클램프

FSO = Full Scale Output

※1 측정 범위에 대해서 컨트롤러 레퍼런스 참고

※2 응결 없을 것

※3 티타늄 버전 사용 가능

※4 클램핑 구단 중앙에 센서 설치

원주형 센서 (암커넥터)

센서 타입

CS3

CS5

CS10

제품 번호

6610055

6610056

6610057

측정 범위

감소

1.5mm

2.5mm

5mm

표준

3mm

5mm

10mm

확장

6mm

10mm

20mm

직선성 ※1

0.9μm

2.5μm

15μm

0.03%FSO

0.05%FSO

0.15%FSO

분해능 ※1 (static, 2Hz)

2.25nm

3.75nm

7.5nm

분해능 ※1 (dynamic, 8.5kHz)

60nm

100nm

200nm

온도 안정성 제로 ※4

-170nm/℃

-170nm/℃

-170nm/℃

온도 안정성 감도

-96nm/℃

-160nm/℃

-320nm/℃

온도 범위 (작동)

-50 ~ +200℃

-50 ~ +200℃

-50 ~ +200℃

온도 범위 (보관)

-50 ~ +200℃

-50 ~ +200℃

-50 ~ +200℃

습도 ※2

0 ~ 95%r.H.

0 ~ 95%r.H.

0 ~ 95%r.H.

센서 치수

Ø30 × 24mm

Ø40 × 24mm

Ø60 × 24mm

활성 측정 구간

Ø9.8mm

Ø12.6mm

Ø17.8mm

가드 링 폭

8mm

11.6mm

19mm

최소 대상체 직경

Ø27mm

Ø37mm

Ø57mm

중량

70g

95g

180g

소재 (하우징)

1.4404 (non-magn.)

1.4404 ※3 (non-magn.)

1.4404 ※3 (non-magn.)

커넥터 타입

타입 B

타입 B

타입 B

마운팅

앵글형 클램프

앵글형 클램프

앵글형 클램프

FSO = Full Scale Output

※1 측정 범위에 대해서 컨트롤러 레퍼런스 참고

※2 응결 없을 것

※3 티타늄 버전 사용 가능

※4 클램핑 구단 중앙에 센서 설치

원주형 센서 (케이블 내장)

센서 타입

CSH02-CAm1,4

CSH05-CAm1,4

CSH1-

CAm1,4

CSH1,2-CAm1,4

CSH2-

CAm1,4

제품

6610086

6610087

6610088

6610089

6610107

측정 범위

축소

0.1mm

0.25mm

0.5mm

0.6mm

1mm

표준

0.2mm

0.5mm

1mm

1.2mm

2mm

확장

0.4mm

1mm

2mm

2.4mm

4mm

직선성 ※1

0.054μm

0.13μm

0.13μm

0.84μm

0.5μm

0.027%FSO

0.026%FSO

0.013%FSO

0.07%FSO

0.025%FSO

분해능 ※1 (static, 2Hz)

0.15nm

0.38nm

0.75nm

0.9nm

1.5nm

분해능 ※1 (dynamic. 8.5kHz)

4nm

10nm

20nm

24nm

40nm

온도 안정성 제로 ※4

-19 nm/℃

온도 안정성 감도

-2.4nm/℃

-6nm/℃

-12nm/℃

-14.4nm/℃

-24nm/℃

동작 온도

-50 ~ +200℃

보관 온도

습도 ※2

0 ~ 95%r.H.

센서 치수 ※3

Ø8 × 14mm

Ø12 × 14mm

Ø20 × 14mm

활성 측정 구단

Ø2.6mm

Ø4.1mm

Ø5.7mm

Ø6.3mm

Ø8.1mm

가드 링 폭

Ø1.9mm

Ø1.2mm

Ø2.4mm

Ø2.1mm

Ø4.4mm

최소 대상체 직경

Ø7mm

Ø11mm

Ø17mm

중량(케이블과 커넥터 포함)

30g

33g

38g

소재 (하우징)

1.4104 (magn.)

내장 케이블

Ø2.1mm×1.4m 축

마운팅

앵글형 클램프

FSO = Full Scale Output

CSH 센서는 표준 케이블 길이 컨트롤러에 일치
※1 측정 범위에 대해서 컨트롤러 레퍼런스 참고

※2 응결 없을 것

※3 케이블, 보호 장치, 클림프 제외 기준

※4 2mm 마운팅 센서가 전면 뒤에 부착될 경우

원주형 센서 (스레드와 소켓)

센서 타입

CSE05/M8

CSE1,25/M12

CSE2/M16

CSE3/M24

제품 번호

6610172

6610160

6610167

6610171

측정 범위

감소

0.25mm

0.625mm

1mm

1.5mm

표준

0.5mm

1.25mm

2mm

3mm

확장

1mm

2.5mm

4mm

6mm

직선성※1

≤ ±0.15㎛

≤ ±1.25㎛

≤ ±2㎛

≤ ±3㎛

≤ 0.03%FSO

≤ ±0.1 % FSO

분해능※1 (static, 2Hz)

약 0.375㎚

약 0.95㎚

약 1.5㎚

약 2.25㎚

분해능※1 (dynamic. 8.5kHz)

약 10㎚

약 25㎚

약 40㎚

약 60㎚

온도 안정성※2

제로※3

-10㎚/℃

-65㎚/℃

-75㎚/℃

감도

-5㎚/℃

-50㎚/℃

-80㎚/℃

-85㎚/℃

온도 범위 (작동/보관/습도)

-50 ~ +200℃

공기 습도※4

0 ~ 95% r.H

센서 치수

Ø8×17㎜

Ø12×22㎜

Ø16×22㎜

Ø24×30㎜

활성 측정 영역

Ø3.9㎜

Ø6.3㎜

Ø8.0㎜

Ø9.8㎜

가드 링 폭

0.8㎜

1.6㎜

2.7㎜

4.6㎜

최소 대상체 직경

Ø6㎜

Ø10㎜

Ø14㎜

Ø20㎜

중량

3.5g

11.5g

35g

80g

재질 (하우징)

NiFe (magn.)

1.4404 (non-magn.)

커넥터 타입

타입 C

타입 B

마운팅

0.5x 스레드 M8

1x 스레드 M12

1x 스레드 M16

1.5x 스레드 M24

권장 마운팅 옵션을 위한

대상체 표면으로부터의 거리

3㎜

3.5㎜

4.5㎜

FSO = Full Scale Output
※1 측정 범위에 대해서 컨트롤러 레퍼런스 참고

※2 +140℃ 이상 : 비선형 신호 드리프트

※3 권장 설치 옵션

※4 응결 없을것

박형 센서 (커넥터)

센서 타입

CSG0,50-CAm2,0

CSG1,00-CAm2,0

제품 번호

6610112

6610111

측정 범위

표준

0.5mm

1mm

간격 폭 ※1

0.9 ~ 1.9mm

0.9 ~ 2.9mm

직선성 ※2

0.5μm

1μm

분해능 ※2 (static, 2Hz)

4nm

8nm

분해능 ※2 (dynamic, 8,5kHz)

90nm

180nm

온도 안정성 제로

-50nm/℃

-50nm/℃

온도 안정성 감도

-20nm/℃

-40nm/℃

온도 범위(작동)

-50 ~ +100℃

-50 ~ +100℃

온도 범위(보관)

-50 ~ +100℃

-50 ~ +100℃

습도 ※3

0 ~ 95%

0 ~ 95%

센서 치수

200 x 15 x 0.9mm

200 x 15 x 0.9mm

활성 측정 구간

3 x 4.3mm

4.2 x 5.1mm

가드 링 폭

2.7mm

2.2mm

최소 대상체 직경

약 7 x 8mm

약 8 x 9mm

중량

77g

77g

소재 (하우징)

1.4301

1.4301

소재 (센서)

FR4

FR4

내장 케이블

2m

2m

※1 센서 양쪽의 폭+측정 범위

※2 컨트롤러 DT6530

※3 응결 없을 것

박형 센서 (케이블 내장)

센서 타입

CSH02FL-CRm1,4

CSH05FL-CRm1,4

CSH1FL-CRm1,4

CSH1,-

2FL-CRm1,4

CSH2FL-CRm1,4

제품 번호

6610075

6610085

6610072

6610077

6610094

측정 범위

감소

0.1mm

0.25mm

0.5mm

0.6mm

1mm

표준

0.2mm

0.5mm

1mm

1.2mm

2mm

확장

0.4mm

1mm

2mm

2.4mm

4mm

직선성 ※1

0.05μm

0.09μm

0.2μm

0.84μm

0.32μm

0.025%FSO

0.018%FSO

0.02%FSO

0.07%FSO

0.016%FSO

분해능 ※1 (static, 2Hz)

0.15nm

0.38nm

0.75nm

0.9nm

1.5nm

분해능 ※1 (dynamic. 8.5kHz)

4nm

10nm

20nm

24nm

40nm

온도 안정성 제로 ※4

-37.6 또는 2.4nm/℃

-47 또는 4nm/℃

온도 안정성 감도

-2.4nm/℃

-6nm/℃

-12nm/℃

-14.4nm/℃

-24nm/℃

온도 범위 (작동/보관 ※2)

-50 ~ +200℃

습도 ※3

0 ~ 95%r.H.

센서 치수

10.5×8×4mm

17×12×4mm

20×20×5mm

활성 측정구간

Ø2.6mm

Ø4.1mm

Ø5.7mm

Ø6.3mm

Ø8.1mm

가드 링 폭

Ø1.9mm

Ø1.2mm

Ø2.4mm

Ø2.1mm

Ø4.4mm

최소 대상체 직경

Ø7mm

Ø11mm

Ø17mm

중량 (케이블, 커넥터 포함)

28g

30g

36g

소재 (하우징)

1.4104 (magn.)

마운팅

2x 스레드 M2

2x 나사 M2 DIN 84A

내장 케이블

원형 Ø2.1mm×1.4m 원주형

FSO = Full Scale Output

CSH 센서는 표준 케이블 길이 컨트롤러에 일치
※1 측정 범위에 대해서 컨트롤러 레퍼런스 참고

※2 응결 없을 것

※3 케이블, 보호 장치, 클림프 제외 기준

※4 센서가 상단 혹은 하단에 마운팅 될 경우

제품 설명 및 특징
 

  • 마모 없는 비접촉식 측정
  • 대상체에 방해 작용 없음
  • 전도성 측정 대상체에 대해 강한 내구성
  • 뛰어난 정확성 및 안정성
  • 빠른 측정이 가능한 높은 대역폭

 

 

뛰어난 정밀성

capaNCDT 측정 시스템은 직선성, 반복 정도, 분해능을 포함하여 뛰어난 성능을 보여줍니다. 일반적인 산업 환경에서는 서브 마이크로미터 단위의 정밀도를 구현할 수 있으며, 클린 환경에서는 고정밀 서브나노 대 측정도 가능합니다.

 

 

측정 방식의 혜택

· 마모 없는 비접촉식 측정
· 대상체에 방해 작용 없음
· 전도성 대상체에 대해 강한 내구성
· 뛰어난 정확성 및 안정성
· 빠른 측정이 가능한 높은 대역폭

 

 

최신 사용자 친화 컨트롤러 기술

최신 capaNCDT 컨트롤러는 다양한 분야의 어플리케이션에 적용이 가능합니다. 다양한 인터페이스와 웹 브라우저를 사용한 쉬운 사용으로 적용 환경에 빠르게 통합할 수 있습니다.

 

 

정전용량형 센서 사용

센서는 모든 전도성 소재에 대한 측정 작업이 가능하며, 적합한 전기회로망을 사용하여 부도체 측정도 가능합니다. 정전용량형 센서은 변위, 위치, 두께 측정 등에 사용됩니다. 정전용량 측정 방식은 비접촉식 측정 방식에서 가장 정밀한 측정 방법 중 하나입니다. 측정 원리 상으로 유도체 εr 값의 변화가 영향을 미치는 청결한 환경을 필요로 합니다.

 

 

독보적인 센서 설계

완전 삼축 센서 설계는 capaNCDT 만의 독자 기술로 측정 전극뿐만 아니라 가드 링 전극과 그라운드가 센서 앞단에 위치해 있습니다. 이는 capaNCDT 센서가 전도성 소재와 완전히 쉴드된 상황에서 설치된 것을 의미합니다. 멀티 채널 측정 시 채널 간 상호 접촉되더라도 문제 없습니다. 센서의 삼축 설계가 간섭을 안정적으로 막아줍니다.

 

 

액티브 가드 삼축 케이블

Micro-Epsilon의 정전용량 측정 시스템은 액티브 가드 링 콘덴서와 함께, 독보적이고 능동적이며 노이즈가 적은 케이블을 사용합니다. 더블 쉴딩된 필드로 고품질의 신호를 얻을 수 있습니다. 시스템은 외부물체를 완벽히 차단하는 전기쉴드를 활용하여 정확한 측정을 할 수 있습니다. 또한, 가드 링 전극이 보호되고, 완전히 균일한 측정 필드를 제공하여, 극도의 안정성과 간섭없는 정확한 측정 결과를 만듭니다.

 

 

캘리브레이션이 필요 없는 센서 및 컨트롤러 교체

Micro-Epsilon이 전문적으로 개발한 정전용량 측정 원리는 빠른 시간 내에 센서교환을 가능하게 합니다. 다른 검출 거리를 가진 센서로의 교체와 다른 capaNCDT 컨트롤러 사용도 어떤 캘리브레이션 없이도 쉽게 적용할 수 있습니다. 다른 일반적인 시스템이 캘리브레이션, 선형화 작업 등으로 오랜 시간이 소요되는 것에 비해, capaNCDT 시스템은 센서 교체 시 5초 밖에 소요되지 않습니다.

 

 

비접촉 대상체 그라운딩

기존 시스템과는 다르게 두 개의 capaNCDT 기기를 동기화하여 사용할 경우 대상체를 접지할 필요가 없습니다.
하지만, 최상의 신호 품질을 위해서는 측정 대상체가 올바르게 접지되는 것을 권장합니다.

 

 

소비자 맞춤형 센서 및 OEM

특수한 작업의 경우, 측정 시스템은 소비자의 개별적인 요건에 따라 개조가 가능합니다. 변경 사항에는 설계 변경, 대상체 전용 캘리브레이션, 설치 옵션, 케이블 길이, 측정 범위 변경, 컨트롤러 내장형 센서 등이 있습니다

 

 

타의 추종을 불허하는 정밀도

· 0.0375nm부터의 분해능
· 0.1μm의 직선성
· 0.0003% FSO에서 반복 정도

 

 

높은 안정성

· 온도 안정성 5ppm
(온도 범위 -270℃ ~ +200℃
요청 시 더 높은 온도 가능)
·장기 안정성:
±0.002% FSO / 월

 

 

센서의 통합 포트폴리오

·0.05mm에서 10mm의 측정 범위를
갖춘 25개의 표준 센서
·웹 브라우저로 운영되는 컨트롤러,
계산 기능, 아날로그 인터페이스,
Ethernet 및 EtherCAT

 

사양 (원주형 센서)
원주형 센서 (암커넥터)

센서 타입

CS005

CS02

CS05

CSE05

CS08

제품 번호

6610083

6610051

6610053

6610102

6610080

측정 범위

감소

0.025mm

0.1mm

0.25mm

0.25mm

0.4mm

표준

0.05mm

0.2mm

0.5mm

0.5mm

0.8mm

확장

0.1mm

0.4mm

1mm

1mm

1.6mm

직선성 ※1

0.15μm

0.4μm

0.15μm

0.15μm

0.4μm

0.3%FSO

0.2%FSO

0.03%FSO

0.03%FSO

0.2%FSO

분해능 ※1 (static, 2Hz)

0.0375nm

0.15nm

0.375nm

0.375nm

0.6nm

분해능 ※1 (dynamic, 8.5kHz)

1nm

4nm

10nm

10nm

16nm

온도 안정성 제로 ※4

-60nm/℃

-60nm/℃

-60nm/℃

-60nm/℃

-60nm/℃

온도 안정성 감도

-0.5nm/℃

-2nm/℃

-5nm/℃

-5nm/℃

-8nm/℃

온도 범위 (작동)

-50 ~ +200℃

-50 ~ +200℃

-50 ~ +200℃

-50 ~ +200℃

-50 ~ +200℃

온도 범위 (보관)

-50~ +200℃

-50 ~ +200℃

-50 ~ +200℃

-50 ~ +200℃

-50 ~ +200℃

습도 ※2

0 ~ 95%r.H.

0 ~ 95%r.H.

0 ~ 95%r.H.

0 ~ 95%r.H.

0 ~ 95%r.H.

센서 치수

Ø6×12 mm

Ø6×12 mm

Ø8×12 mm

Ø6×12 mm

Ø10×15mm

활성 측정 구단

Ø1.3mm

Ø2.3mm

Ø3.9mm

Ø3.9mm

Ø4.9mm

가드 링 폭

0.8mm

1mm

1.4mm

0.8mm

1.6mm

최소 대상체 직경

Ø3mm

Ø5mm

Ø7mm

Ø6mm

Ø9mm

중량

2g

2g

4g

2g

7g

소재 (하우징)

NiFe※3 (magn.)

NiFe(magn.)

NiFe(magn.)

NiFe(magn.)

NiFe(magn.)

커넥터 타입

타입 C

타입 C

타입 C

타입 C

타입 C

마운팅

앵글형 클램프

앵글형 클램프

앵글형 클램프

앵글형 클램프

앵글형 클램프

FSO = Full Scale Output

※1 측정 범위에 대해서 컨트롤러 레퍼런스 참고

※2 응결 없을 것

※3 티타늄 버전 사용 가능

※4 클램핑 구단 중앙에 센서 설치

원주형 센서 (암커넥터)

센서 타입

CS1

CS1HP

CSE1

CS2

CSE2

제품 번호

6610054

6610074

6610103

6610052

6610104

측정 범위

감소

0.5mm

0.5mm

0.5mm

1mm

1mm

표준

1mm

1mm

1mm

2mm

2mm

확장

2mm

2mm

2mm

4mm

4mm

직선성 ※1

1.5μm

1.5μm

2μm

1μm

2.6μm

0.15%FSO

0.15%FSO

0.2%FSO

0.05%FSO

0.13%FSO

분해능 ※1 (static, 2Hz)

0.75nm

0.75nm

0.75nm

1.5nm

1.5nm

분해능 ※1 (dynamic, 8.5kHz)

20nm

20nm

20nm

40nm

40nm

온도 안정성 제로 ※4

-170nm/℃

-60nm/℃

-60nm/℃

-170nm/℃

-170nm/℃

온도 안정성 감도

-32nm/℃

-10nm/℃

-10nm/℃

-64nm/℃

-64nm/℃

온도 범위 (작동)

-50 ~ +200℃

-50 ~ +200℃

-50 ~ +200℃

-50 ~ +200℃

-50 ~ +200℃

온도 범위 (보관)

-50 ~ +200℃

-50 ~ +200℃

-50 ~ +200℃

-50 ~ +200℃

-50 ~ +200℃

습도 ※2

0 ~ 95%r.H.

0 ~ 95%r.H.

0 ~ 95%r.H.

0 ~ 95%r.H.

0 ~ 95%r.H.

센서 치수

Ø10 × 21mm

Ø10 × 20mm

Ø8 × 12mm

Ø20 × 24mm

Ø14 × 22mm

활성 측정 구단

Ø5.7mm

Ø5.7mm

Ø5.7mm

Ø7.9mm

Ø8.0mm

가드 링 폭

1.5mm

1.5mm

0.9mm

4.4mm

2.7mm

최소 대상체 직경

Ø9mm

Ø9mm

Ø8mm

Ø17mm

Ø14mm

중량

8g

8g

3.5g

50g

20g

소재 (하우징)

1.4404 ※3

(non-magn.)

NiFe (magn.)

NiFe (magn.)

1.4404 ※3

(non-magn.)

1.4404

(non-magn.)

커넥터 타입

타입 B

타입 B

타입 C

타입 B

타입 B

마운팅

앵글형 클램프

앵글형 클램프

앵글형 클램프

앵글형 클램프

앵글형 클램프

FSO = Full Scale Output

※1 측정 범위에 대해서 컨트롤러 레퍼런스 참고

※2 응결 없을 것

※3 티타늄 버전 사용 가능

※4 클램핑 구단 중앙에 센서 설치

원주형 센서 (암커넥터)

센서 타입

CS3

CS5

CS10

제품 번호

6610055

6610056

6610057

측정 범위

감소

1.5mm

2.5mm

5mm

표준

3mm

5mm

10mm

확장

6mm

10mm

20mm

직선성 ※1

0.9μm

2.5μm

15μm

0.03%FSO

0.05%FSO

0.15%FSO

분해능 ※1 (static, 2Hz)

2.25nm

3.75nm

7.5nm

분해능 ※1 (dynamic, 8.5kHz)

60nm

100nm

200nm

온도 안정성 제로 ※4

-170nm/℃

-170nm/℃

-170nm/℃

온도 안정성 감도

-96nm/℃

-160nm/℃

-320nm/℃

온도 범위 (작동)

-50 ~ +200℃

-50 ~ +200℃

-50 ~ +200℃

온도 범위 (보관)

-50 ~ +200℃

-50 ~ +200℃

-50 ~ +200℃

습도 ※2

0 ~ 95%r.H.

0 ~ 95%r.H.

0 ~ 95%r.H.

센서 치수

Ø30 × 24mm

Ø40 × 24mm

Ø60 × 24mm

활성 측정 구간

Ø9.8mm

Ø12.6mm

Ø17.8mm

가드 링 폭

8mm

11.6mm

19mm

최소 대상체 직경

Ø27mm

Ø37mm

Ø57mm

중량

70g

95g

180g

소재 (하우징)

1.4404 (non-magn.)

1.4404 ※3 (non-magn.)

1.4404 ※3 (non-magn.)

커넥터 타입

타입 B

타입 B

타입 B

마운팅

앵글형 클램프

앵글형 클램프

앵글형 클램프

FSO = Full Scale Output

※1 측정 범위에 대해서 컨트롤러 레퍼런스 참고

※2 응결 없을 것

※3 티타늄 버전 사용 가능

※4 클램핑 구단 중앙에 센서 설치

원주형 센서 (케이블 내장)

센서 타입

CSH02-CAm1,4

CSH05-CAm1,4

CSH1-

CAm1,4

CSH1,2-CAm1,4

CSH2-

CAm1,4

제품

6610086

6610087

6610088

6610089

6610107

측정 범위

축소

0.1mm

0.25mm

0.5mm

0.6mm

1mm

표준

0.2mm

0.5mm

1mm

1.2mm

2mm

확장

0.4mm

1mm

2mm

2.4mm

4mm

직선성 ※1

0.054μm

0.13μm

0.13μm

0.84μm

0.5μm

0.027%FSO

0.026%FSO

0.013%FSO

0.07%FSO

0.025%FSO

분해능 ※1 (static, 2Hz)

0.15nm

0.38nm

0.75nm

0.9nm

1.5nm

분해능 ※1 (dynamic. 8.5kHz)

4nm

10nm

20nm

24nm

40nm

온도 안정성 제로 ※4

-19 nm/℃

온도 안정성 감도

-2.4nm/℃

-6nm/℃

-12nm/℃

-14.4nm/℃

-24nm/℃

동작 온도

-50 ~ +200℃

보관 온도

습도 ※2

0 ~ 95%r.H.

센서 치수 ※3

Ø8 × 14mm

Ø12 × 14mm

Ø20 × 14mm

활성 측정 구단

Ø2.6mm

Ø4.1mm

Ø5.7mm

Ø6.3mm

Ø8.1mm

가드 링 폭

Ø1.9mm

Ø1.2mm

Ø2.4mm

Ø2.1mm

Ø4.4mm

최소 대상체 직경

Ø7mm

Ø11mm

Ø17mm

중량(케이블과 커넥터 포함)

30g

33g

38g

소재 (하우징)

1.4104 (magn.)

내장 케이블

Ø2.1mm×1.4m 축

마운팅

앵글형 클램프

FSO = Full Scale Output

CSH 센서는 표준 케이블 길이 컨트롤러에 일치
※1 측정 범위에 대해서 컨트롤러 레퍼런스 참고

※2 응결 없을 것

※3 케이블, 보호 장치, 클림프 제외 기준

※4 2mm 마운팅 센서가 전면 뒤에 부착될 경우

원주형 센서 (스레드와 소켓)

센서 타입

CSE05/M8

CSE1,25/M12

CSE2/M16

CSE3/M24

제품 번호

6610172

6610160

6610167

6610171

측정 범위

감소

0.25mm

0.625mm

1mm

1.5mm

표준

0.5mm

1.25mm

2mm

3mm

확장

1mm

2.5mm

4mm

6mm

직선성※1

≤ ±0.15㎛

≤ ±1.25㎛

≤ ±2㎛

≤ ±3㎛

≤ 0.03%FSO

≤ ±0.1 % FSO

분해능※1 (static, 2Hz)

약 0.375㎚

약 0.95㎚

약 1.5㎚

약 2.25㎚

분해능※1 (dynamic. 8.5kHz)

약 10㎚

약 25㎚

약 40㎚

약 60㎚

온도 안정성※2

제로※3

-10㎚/℃

-65㎚/℃

-75㎚/℃

감도

-5㎚/℃

-50㎚/℃

-80㎚/℃

-85㎚/℃

온도 범위 (작동/보관/습도)

-50 ~ +200℃

공기 습도※4

0 ~ 95% r.H

센서 치수

Ø8×17㎜

Ø12×22㎜

Ø16×22㎜

Ø24×30㎜

활성 측정 영역

Ø3.9㎜

Ø6.3㎜

Ø8.0㎜

Ø9.8㎜

가드 링 폭

0.8㎜

1.6㎜

2.7㎜

4.6㎜

최소 대상체 직경

Ø6㎜

Ø10㎜

Ø14㎜

Ø20㎜

중량

3.5g

11.5g

35g

80g

재질 (하우징)

NiFe (magn.)

1.4404 (non-magn.)

커넥터 타입

타입 C

타입 B

마운팅

0.5x 스레드 M8

1x 스레드 M12

1x 스레드 M16

1.5x 스레드 M24

권장 마운팅 옵션을 위한

대상체 표면으로부터의 거리

3㎜

3.5㎜

4.5㎜

FSO = Full Scale Output
※1 측정 범위에 대해서 컨트롤러 레퍼런스 참고

※2 +140℃ 이상 : 비선형 신호 드리프트

※3 권장 설치 옵션

※4 응결 없을것

사양 (박형 센서)
박형 센서 (커넥터)

센서 타입

CSG0,50-CAm2,0

CSG1,00-CAm2,0

제품 번호

6610112

6610111

측정 범위

표준

0.5mm

1mm

간격 폭 ※1

0.9 ~ 1.9mm

0.9 ~ 2.9mm

직선성 ※2

0.5μm

1μm

분해능 ※2 (static, 2Hz)

4nm

8nm

분해능 ※2 (dynamic, 8,5kHz)

90nm

180nm

온도 안정성 제로

-50nm/℃

-50nm/℃

온도 안정성 감도

-20nm/℃

-40nm/℃

온도 범위(작동)

-50 ~ +100℃

-50 ~ +100℃

온도 범위(보관)

-50 ~ +100℃

-50 ~ +100℃

습도 ※3

0 ~ 95%

0 ~ 95%

센서 치수

200 x 15 x 0.9mm

200 x 15 x 0.9mm

활성 측정 구간

3 x 4.3mm

4.2 x 5.1mm

가드 링 폭

2.7mm

2.2mm

최소 대상체 직경

약 7 x 8mm

약 8 x 9mm

중량

77g

77g

소재 (하우징)

1.4301

1.4301

소재 (센서)

FR4

FR4

내장 케이블

2m

2m

※1 센서 양쪽의 폭+측정 범위

※2 컨트롤러 DT6530

※3 응결 없을 것

박형 센서 (케이블 내장)

센서 타입

CSH02FL-CRm1,4

CSH05FL-CRm1,4

CSH1FL-CRm1,4

CSH1,-

2FL-CRm1,4

CSH2FL-CRm1,4

제품 번호

6610075

6610085

6610072

6610077

6610094

측정 범위

감소

0.1mm

0.25mm

0.5mm

0.6mm

1mm

표준

0.2mm

0.5mm

1mm

1.2mm

2mm

확장

0.4mm

1mm

2mm

2.4mm

4mm

직선성 ※1

0.05μm

0.09μm

0.2μm

0.84μm

0.32μm

0.025%FSO

0.018%FSO

0.02%FSO

0.07%FSO

0.016%FSO

분해능 ※1 (static, 2Hz)

0.15nm

0.38nm

0.75nm

0.9nm

1.5nm

분해능 ※1 (dynamic. 8.5kHz)

4nm

10nm

20nm

24nm

40nm

온도 안정성 제로 ※4

-37.6 또는 2.4nm/℃

-47 또는 4nm/℃

온도 안정성 감도

-2.4nm/℃

-6nm/℃

-12nm/℃

-14.4nm/℃

-24nm/℃

온도 범위 (작동/보관 ※2)

-50 ~ +200℃

습도 ※3

0 ~ 95%r.H.

센서 치수

10.5×8×4mm

17×12×4mm

20×20×5mm

활성 측정구간

Ø2.6mm

Ø4.1mm

Ø5.7mm

Ø6.3mm

Ø8.1mm

가드 링 폭

Ø1.9mm

Ø1.2mm

Ø2.4mm

Ø2.1mm

Ø4.4mm

최소 대상체 직경

Ø7mm

Ø11mm

Ø17mm

중량 (케이블, 커넥터 포함)

28g

30g

36g

소재 (하우징)

1.4104 (magn.)

마운팅

2x 스레드 M2

2x 나사 M2 DIN 84A

내장 케이블

원형 Ø2.1mm×1.4m 원주형

FSO = Full Scale Output

CSH 센서는 표준 케이블 길이 컨트롤러에 일치
※1 측정 범위에 대해서 컨트롤러 레퍼런스 참고

※2 응결 없을 것

※3 케이블, 보호 장치, 클림프 제외 기준

※4 센서가 상단 혹은 하단에 마운팅 될 경우